串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置的制作方法

本技术涉及vocs监测，具体涉及一种串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置。

背景技术：

1、离子迁移谱是一种主流技术，可以用于气体检测。其中的高场不对称波形离子迁移谱通过交变的高低电场作用形成一个离子过滤器，将干扰气体分子和目标分子有效地分开来，有效地提高了检测的选择性和信噪比，引起了环境检测领域的广泛的重视。但是实际测试中，高电场中离子迁移率会都到温度、湿度以及大气压的影响，进而影响待测物质的测量精度。

2、高场不对称波形离子迁移谱是90年代发展的一种全新检测技术，其工作原理是离子迁移率在高低电场下发生非线性变化实现离子分离识别，该技术具有结构简单易微型化、检测速度快等优点，被广泛使用于环境、反恐和公共安全等领域。近年来，随着此项技术在痕量物质检测领域的拓展，使用过程中对灵敏度的要求越来越高。在专利cn201810578381.x中介绍，在高场不对称波形例子迁移谱中，灵敏度主要受离子源离化效率和离子分离区损耗比例决定。2012年，美国专利usb8263930b2提出了一种利用流场和电场提高高场不对称性波形离子迁移谱的灵敏度，通过在分离区后端设置离子迁移电场和增加载气流量降低离子复合几率，但是会导致结构和制造的复杂。

3、实际的使用中，现场测量时的温度、湿度、大气压可能和实验室中仪器标定时的环境有差异，导致测量结果偏离实际目标物浓度，导致仪器失准，但是目前并没有相关专利对设备的环境适应性进行讨论。

技术实现思路

1、本实用新型提出的一种串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，能够提高探测技术对环境的适应能力和稳定性。

2、为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

3、一种串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，包括封闭设置的腔体单元结构，腔体单元结构由基板构成，腔体单元结构一端设置进气口，另一端设置出气口；

4、所述腔体结构沿进气口到出气口方向，依次设有含有离子化源的离子化区、第一分离电极、第二分离电极、弱电流检测电极、与弱电流检测电极相连接的弱电流探测器以及偏置电极；

5、其中，第一分离电极和第二分离电极上下对应设置，弱电流检测电极和偏置电极上下对应设置。

6、进一步的，包括两个腔体单元结构，相互串联。

7、进一步的，所述基板采用硼化玻璃制成。

8、进一步的，所述第一离子分离电极及第二离子分离电极采用磁控溅射金靶财制成。

9、由上述技术方案可知，本实用新型的串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，采用串联的方式，有效的减小了环境温度、湿度、大气压等自然条件的变化对检测电流的影响，提高了基于高场不对成波形离子迁移谱技术原理的仪器的环境适应能力和稳定性。

技术特征：

1.一种串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，包括封闭设置的腔体单元结构，腔体单元结构由基板构成，腔体单元结构一端设置进气口，另一端设置出气口，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，其特征在于：包括两个腔体单元结构，相互串联。

3.根据权利要求1所述的串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，其特征在于：所述基板采用硼化玻璃制成。

4.根据权利要求1所述的串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，其特征在于：所述第一分离电极及第二分离电极采用磁控溅射金靶财制成。

技术总结
本技术的一种串联式环境补偿型高场不对称波形离子迁移谱检测装置，包括封闭设置的腔体单元结构，腔体单元结构由基板构成，腔体单元结构一端设置进气口，另一端设置出气口，所述腔体结构沿进气口到出气口方向，依次设有含有离子化源的离子化区、第一分离电极、第二分离电极、弱电流检测电极、与弱电流检测电极相连接的弱电流探测器以及偏置电极；其中，第一分离电极和第二分离电极上下对应设置，弱电流检测电极和偏置电极上下对应设置。本技术采用串联的方式，有效的减小了环境温度、湿度、大气压等自然条件的变化对检测电流的影响，提高了基于高场不对成波形离子迁移谱技术原理的仪器的环境适应能力和稳定性。

技术研发人员：张猛,刘洋,盛训超,汤咏,连锋,王少武,袁少朴,陈玮剑
受保护的技术使用者：合肥中科环境监测技术国家工程实验室有限公司
技术研发日：20221115
技术公布日：2024/1/13