一种防水效果好的传感器的制作方法

文档序号:33529213发布日期:2023-03-22 07:40阅读:85来源:国知局
一种防水效果好的传感器的制作方法

1.本实用新型涉及传感器技术领域,特别是一种防水效果好的传感器。


背景技术:

2.防水型气压传感器是一种用来测量环境气压的器件,通过气压值来计算海拔高度,因此广泛应用在消费电子终端中。
3.目前防水气压传感器通常采用在产品内部灌注硅凝胶或在产品外部粘贴eptfe防水透气膜来实现防水。其中,由于粘贴防水透气膜相比灌胶工艺更加简单方便,因此粘贴防水透气膜是后续防水型产品的一种主流形态。
4.但是,现有技术中采用的防水透气膜,由于蒸汽中含有离子,其穿过防水透气膜进入产品内部后,离子会再次凝结形成杂质,造成产品内部芯片的污染,存在影响产品性能的风险。
5.现有技术cn202210612968.4一种复合防水膜、防水气压传感器提出了相同的现有技术问题,而本技术采用一种更加优异的技术手段来解决此问题。


技术实现要素:

6.本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。
7.为此,本实用新型的一个目的在于提出一种防水效果好的传感器,以解决背景技术中所提到的问题,克服现有技术中存在的不足。
8.为了实现上述目的,本实用新型一方面的实施例提供一种防水效果好的传感器,包括底板,所述底板的顶部涂抹有一圈导电胶,所述导电胶的顶部粘贴有气压传感器外壳;
9.所述底板的顶部安装有asic芯片,所述asic芯片的顶部粘接有mems芯片;
10.所述asic芯片和mems芯片均位于气压传感器外壳的内部;
11.所述气压传感器外壳的顶部开设有凹槽,所述气压传感器外壳的顶部开设有导气槽;
12.所述导气槽连通气压传感器外壳的内部与凹槽;
13.所述凹槽的顶部通过胶层固定连接有防水透气膜;
14.所述导气槽的内侧固定连接有离子吸附层,所述离子吸附层具体为活性炭层。
15.由上述任一方案优选的是,所述气压传感器外壳罩在asic芯片和mems芯片的上方。
16.采用上述技术方案:本气压传感器的原理是,asic芯片和mems芯片配合气压传感器本身,透过导气槽能够接触外界空气,气压传感器内部有一个对压强敏感的薄膜,连接一个柔性电阻器,当被测气体的压强降低或升高时,这个薄膜变形,该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5v的信号电压,经过a/d转换由数据采集器接收,得到一个气压数据。
17.由上述任一方案优选的是,所述asic芯片和mems芯片堆叠设置,所述mems芯片通
过连接线与asic芯片连接。
18.由上述任一方案优选的是,所述凹槽的深度为6-8毫米,所述导气槽的数量为两个。
19.由上述任一方案优选的是,两个所述导气槽位于凹槽的下方,两个所述导气槽斜向设置。
20.由上述任一方案优选的是,所述两个所述导气槽的内侧均固定连接有两个上下分布的离子吸附层,所述防水透气膜具体为eptfe膜。
21.采用上述技术方案:透过防水透气膜本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜能够防止空气中的水分子透过,但在现有技术中,防水透气膜并不能隔绝蒸汽或水汽中的离子,离子透过防水透气膜后进入导气槽中,导气槽中的两层离子吸附层产生作用,离子吸附层具体为活性炭层,有效吸附进入导气槽中的离子,防止其进入气压传感器外壳,防止其产生杂质污染芯片,解决了现有技术中的问题。同时离子吸附层为蜂窝多孔结构,能够保证空气的通入,保证气压传感器的性能。
22.由上述任一方案优选的是,所述离子吸附层为蜂窝多孔结构。
23.与现有技术相比,本实用新型所具有的优点和有益效果为:
24.1、该防水效果好的传感器,通过凹槽、导气槽、防水透气膜和离子吸附层的配合设置,透过防水透气膜本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜能够防止空气中的水分子透过,但在现有技术中,防水透气膜并不能隔绝蒸汽或水汽中的离子,离子透过防水透气膜后进入导气槽中,导气槽中的两层离子吸附层产生作用,离子吸附层具体为活性炭层,有效吸附进入导气槽中的离子,防止其进入气压传感器外壳,防止其产生杂质污染芯片,解决了现有技术中的问题。同时离子吸附层为蜂窝多孔结构,能够保证空气的通入,保证气压传感器的性能。
25.2、该防水效果好的传感器,防水透气膜具体为eptfe膜,防水透气膜通过胶层粘贴在凹槽处,透过防水透气膜本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜能够防止空气中的水分子透过,较好的对气压传感器进行防水保护,从而本气压传感器的防水性能好。
26.本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
27.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
28.图1为本实用新型的结构示意图;
29.图2为本实用新型凹槽处的结构示意图;
30.图3为本实用新型的内部结构示意图。
31.图中:1-底板,2-导电胶,3-气压传感器外壳,4-asic芯片,5-mems芯片,6-凹槽,7-导气槽,8-防水透气膜,9-离子吸附层。
具体实施方式
32.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
33.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.如图1-3所示,本防水效果好的传感器,包括底板1,底板1的顶部涂抹有一圈导电胶2,导电胶2的顶部粘贴有气压传感器外壳3;
35.底板1的顶部安装有asic芯片4,asic芯片4的顶部粘接有mems芯片5;
36.asic芯片4和mems芯片5均位于气压传感器外壳3的内部;
37.气压传感器外壳3的顶部开设有凹槽6,气压传感器外壳3的顶部开设有导气槽7;
38.导气槽7连通气压传感器外壳3的内部与凹槽6;
39.凹槽6的顶部通过胶层固定连接有防水透气膜8;
40.导气槽7的内侧固定连接有离子吸附层9,离子吸附层9具体为活性炭层。
41.实施例1:气压传感器外壳3罩在asic芯片4和mems芯片5的上方。本气压传感器的原理是,asic芯片4和mems芯片5配合气压传感器本身,透过导气槽7能够接触外界空气,气压传感器内部有一个对压强敏感的薄膜,连接一个柔性电阻器,当被测气体的压强降低或升高时,这个薄膜变形,该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5v的信号电压,经过a/d转换由数据采集器接收,得到一个气压数据。
42.实施例2:asic芯片4和mems芯片5堆叠设置,mems芯片5通过连接线与asic芯片4连接。凹槽6的深度为6-8毫米,导气槽7的数量为两个。两个导气槽7位于凹槽6的下方,两个导气槽7斜向设置。
43.实施例3:两个导气槽7的内侧均固定连接有两个上下分布的离子吸附层9,防水透气膜8具体为eptfe膜。透过防水透气膜8本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜8能够防止空气中的水分子透过,但在现有技术中,防水透气膜8并不能隔绝蒸汽或水汽中的离子,离子透过防水透气膜8后进入导气槽7中,导气槽7中的两层离子吸附层9产生作用,离子吸附层9具体为活性炭层,有效吸附进入导气槽7中的离子,防止其进入气压传感器外壳3,防止其产生杂质污染芯片,解决了现有技术中的问题。同时离子吸附层9为蜂窝多孔结构,能够保证空气的通入,保证气压传感器的性能。离子吸附层9为蜂窝多孔结构。
44.本实用新型的工作原理如下:
45.s1、本气压传感器的原理是,asic芯片4和mems芯片5配合气压传感器本身,透过导气槽7能够接触外界空气,气压传感器内部有一个对压强敏感的薄膜,连接一个柔性电阻器,当被测气体的压强降低或升高时,这个薄膜变形,该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5v的信号电压,经过a/d转换由数据采集器接收,得到一个气压数据;
46.s2、本气压传感器透过防水透气膜8本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜8能够防止空气中的水分子透过,从而防水透气膜8对气压传感器进行防水保护。
47.与现有技术相比,本实用新型相对于现有技术具有以下有益效果:
48.1、该防水效果好的传感器,通过凹槽6、导气槽7、防水透气膜8和离子吸附层9的配合设置,透过防水透气膜8本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜8能够防止空气中的水分子透过,但在现有技术中,防水透气膜8并不能隔绝蒸汽或水汽中的离子,离子透过防水透气膜8后进入导气槽7中,导气槽7中的两层离子吸附层9产生作用,离子吸附层9具体为活性炭层,有效吸附进入导气槽7中的离子,防止其进入气压传感器外壳3,防止其产生杂质污染芯片,解决了现有技术中的问题。同时离子吸附层9为蜂窝多孔结构,能够保证空气的通入,保证气压传感器的性能。
49.2、该防水效果好的传感器,防水透气膜8具体为eptfe膜,防水透气膜8通过胶层粘贴在凹槽6处,透过防水透气膜8本气压传感器能够感知外界空气气压,同时本防水透气膜8能够防止空气中的水分子透过,较好的对气压传感器进行防水保护,从而本气压传感器的防水性能好。
50.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
51.本领域技术人员不难理解,本实用新型包括上述说明书的实用新型内容和具体实施方式部分以及附图所示出的各部分的任意组合,限于篇幅并为使说明书简明而没有将这些组合构成的各方案一一描述。凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
52.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本实用新型的限制,本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本实用新型的范围由所附权利要求及其等同限定。
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