蚀刻装置及蚀刻系统的制作方法

本申请涉及半导体制造，具体而言涉及一种蚀刻装置及蚀刻系统。

背景技术：

1、在蚀刻装置(例如溅射蚀刻装置)中，每片晶圆(wafer)进出腔体时，阴极组件会承载晶圆上下运动，阴极组件通过波纹管与腔体连接，通过阴极升降组件推动而运动。由于波纹管存在一定阻力或者由于阴极升降组件本身的原因，阴极组件在运动过程中可能会出现抖动现象，阴极组件的抖动可能会引发蚀刻装置宕机，严重时甚至会导致晶圆碎片。

2、目前，针对该问题通常采用的预防措施是每次pm(preventive maintenance，预防保养)前人为去触摸感受振动的大小和上升速度并每次记录。由于是人为判断，所以会导致判断标准不一致，且每个人对振动的大小没有一个量化标准，会出现判断失误的可能。

3、因此需要进行改进，以至少部分地解决上述问题。

技术实现思路

1、在
技术实现要素：
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本实用新型的实用新型内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

2、为了至少部分地解决上述问题，根据本实用新型的第一方面，提供了一种蚀刻装置，所述蚀刻装置包括腔室、阴极组件、支撑杆、第一波纹管、阴极升降组件、第一振动传感器；

3、所述阴极组件位于所述腔室内且通过所述第一波纹管与所述腔室的底部连接，所述支撑杆与所述阴极组件连接且穿过所述第一波纹管伸出至所述腔室外部，所述阴极升降组件位于腔室外部且与所述支撑杆连接，用于通过所述支撑杆带动所述阴极组件在所述腔室内升降；

4、所述第一振动传感器设置于所述阴极升降组件上，用于检测所述阴极升降组件的振动。

5、示例性地，所述阴极升降组件包括第一气缸、第二气缸和第一连接架，所述第一气缸和所述第二气缸与所述第一连接架固定连接，所述第一连接架与所述支撑杆固定连接，所述第一气缸的输出轴杆和所述第二气缸的输出轴杆均与所述腔室的底部固定连接；

6、所述第一振动传感器设置于所述第一气缸、所述第二气缸和所述第一连接架中的一者或多者上。

7、示例性地，所述振动传感器粘接固定于所述第一气缸、所述第二气缸和所述第一连接架中的一者或多者上。

8、示例性地，所述第一振动传感器为压电式振动传感器、电涡流式振动传感器、电感式振动传感器、电容式振动传感器、电阻式振动传感器或光电式振动传感器。

9、示例性地，所述蚀刻装置还包括升降销、第二连接架、第二波纹管和第三气缸，所述阴极组件上设置有与所述升降销匹配的通孔，所述升降销插接于所述通孔中且与所述第二连接架连接，所述第二连接架通过所述第二波纹管与所述腔室的底部连接，所述第三气缸的输出轴杆穿过所述第二波纹管与所述第二连接架连接。

10、示例性地，所述蚀刻装置还包括第二振动传感器，所述第二振动传感器设置于所述第三气缸上，用于检测所述第三气缸的振动。

11、示例性地，所述第二振动传感器粘接固定于所述第三气缸上。

12、示例性地，所述第二振动传感器为压电式振动传感器、电涡流式振动传感器、电感式振动传感器、电容式振动传感器、电阻式振动传感器或光电式振动传感器。

13、示例性地，所述蚀刻装置还包括显示器件和/或报警器件；

14、所述显示器件与所述第一振动传感器和/或所述第二振动传感器连接，用于对所述第一振动传感器和/或所述第二振动传感器的检测结果进行显示；

15、所述报警器件与所述第一振动传感器和/或所述第二振动传感器连接，用于在所述第一振动传感器的检测结果超出第一预设范围时和/或所述第二振动传感器的检测结果超出第二预设范围时发出报警信息。

16、示例性地，所述显示器件包括：第一接口板、第一控制信号板、第二接口板、第二控制信号板和模拟信号板；

17、所述第一接口板用于连接所述第一振动传感器和所述第一控制信号板；

18、所述第一控制信号板用于通过所述第一接口板接收所述第一振动传感器的第一输出信号；

19、所述第二接口板用于连接所述第二振动传感器和所述第二控制信号板；

20、所述第二控制信号板用于通过所述第二接口板接收所述第二振动传感器的第二输出信号；

21、所述模拟信号板与所述第一控制信号板和所述第二控制信号板连接，且所述模拟信号板包括显示屏幕，所述模拟信号板用于通过所述显示屏幕对所述第一输出信号和所述第二输出信号进行显示。

22、示例性地，所述报警器件包括控制器和与所述控制器连接的报警单元，所述报警单元包括扬声器和/或指示灯。

23、根据本实用新型的第二方面，提供了一种蚀刻系统，其包括：

24、如上所述的蚀刻装置、设备自动化系统和故障检测与分类系统；

25、所述设备自动化系统与所述蚀刻装置和所述故障检测与分类系统连接，用于获取所述第一振动传感器的检测结果并发送至所述故障检测与分类系统；

26、所述故障检测与分类系统用于对所述第一振动传感器的检测结果进行显示。

27、根据本实用新型的蚀刻装置及蚀刻系统，通过在晶圆升降组件上设置振动传感器，能够准确地检测阴极升降组件的振动情况，从而能够对其振动情况进行更精确地分析，以便在振动过大时及时处理，保障晶圆的安全和装置的稳定运行。

技术特征：

1.一种蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置包括腔室、阴极组件、支撑杆、第一波纹管、阴极升降组件、第一振动传感器；

2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，

5.根据权利要求1-4中任一项所述的蚀刻装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，

9.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的蚀刻装置，其特征在于，

11.根据权利要求9所述的蚀刻装置，其特征在于，

12.一种蚀刻系统，其特征在于，包括：

技术总结
本申请公开了一种蚀刻装置及蚀刻系统，蚀刻装置包括腔室、阴极组件、支撑杆、第一波纹管、阴极升降组件、第一振动传感器和显示器件，阴极组件位于腔室内且通过第一波纹管与腔室的底部连接，支撑杆与阴极组件连接且穿过第一波纹管伸出至腔室外部，阴极升降组件位于腔室外部且与支撑杆连接，用于通过支撑杆带动阴极组件在腔室内升降；第一振动传感器设置于阴极升降组件上，用于检测阴极升降组件的振动。根据本申请的蚀刻装置及蚀刻系统能够准确检测阴极升降组件的振动情况，以便工作人员在振动过大时及时进行处理。

技术研发人员：刘志伟,李健鹏,吴侃
受保护的技术使用者：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
技术研发日：20221124
技术公布日：2024/1/13