一种基于MEMS定向加速度传感器的制作方法

一种基于mems定向加速度传感器
技术领域
1.本实用新型涉及加速度传感器技术领域，具体为一种基于mems定向加速度传感器。


背景技术：

2.加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。由于工艺及技术等因素，传统压阻式加速度传感器价格较高，气体压力传感器的价格普遍较低，但检测响应慢，为此我们提出一种基于mems定向加速度传感器。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种基于mems定向加速度传感器，解决了传统压阻式加速度传感器价格较高，气体压力传感器的价格普遍较低，但检测响应慢的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于mems定向加速度传感器，包括传感器外壳、偏动器、mems一、mems二、传感器底座、气腔一、气腔二，所述传感器底座上设置有传感器外壳，所述传感器底座上设置有mems一，所述传感器底座上设置有mems二，所述传感器底座上开设有气腔一，所述传感器底座上开设有气腔二。
5.优选的，所述传感器外壳的形状为长方体，通过传感器外壳的设计，可对传感器内部部件起保护作用。
6.优选的，所述mems一和mems二在传感器底座上呈对称分布，通过mems一和mems二的设计，可分别采集气腔一和气腔二内的气压变化。
7.优选的，所述气腔一与气腔二连通，可使偏动器改变其内部气压的变化。
8.优选的，所述气腔一和气腔二内设置有偏动器，通过偏动器的设计，可配合mems一和mems二对气腔一和气腔二内的气压进行检测。
9.优选的，所述偏动器的形状为圆柱形，所述偏动器与气腔一和气腔二形状吻合，使偏动器更加适用于气腔一和气腔二。
10.本实用新型的有益效果如下：
11.本实用新型通过采用气体压力mems芯片，成本低，且采用双mems结构，测量精度高，响应快，通过采用压缩氮气，产品量程大，且不会出现超量程损坏，且采用氮气填充气腔,产品稳定性高，解决了传统压阻式加速度传感器价格较高，气体压力传感器的价格普遍较低，但检测响应慢的问题。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构立体图；
13.图2为本实用新型的图1中的偏动器的立体图；
14.图3为本实用新型的图1中的传感器外壳的立体图；
15.图4为本实用新型的图1中的传感器底座的立体图。
16.图中：1、传感器外壳；2、偏动器；3、mems一；4、mems二；5、传感器底座；6、气腔一；7、气腔二。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1-4，一种基于mems定向加速度传感器，包括传感器外壳1、偏动器2、mems一3、mems二4、传感器底座5、气腔一6、气腔二7，传感器底座5上设置有传感器外壳1，传感器外壳1的形状为长方体，通过传感器外壳1的设计，可对传感器内部部件起保护作用。
19.请参阅图1-4，传感器底座5上设置有mems一3，传感器底座5上设置有mems二4，mems一3和mems二4在传感器底座5上呈对称分布，通过mems一3和mems二4的设计，可分别采集气腔一6和气腔二7内的气压变化，传感器底座5上开设有气腔一6，传感器底座5上开设有气腔二7，气腔一6与气腔二7连通，可使偏动器2改变其内部气压的变化。
20.请参阅图1-4，气腔一6和气腔二7内设置有偏动器2，通过偏动器2的设计，可配合mems一3和mems二4对气腔一6和气腔二7内的气压进行检测，偏动器2的形状为圆柱形，偏动器2与气腔一6和气腔二7形状吻合，使偏动器2更加适用于气腔一6和气腔二7。
21.本实用新型具体实施过程如下：使用时，在加压密封氮气的容器内固定传感器底座5，安装偏动器2，填充固定压力的氮气，安装传感器外壳1，当该传感器在运动初始状态，偏动器2由于惯性会产生偏动，造成气腔一6和气腔二7的压力变化，通过mems一3和mems二4采集气腔一6和气腔二7的气压变化，可以计算出加速度。
22.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种基于mems定向加速度传感器，包括传感器外壳(1)、偏动器(2)、mems一(3)、mems二(4)、传感器底座(5)、气腔一(6)、气腔二(7)，其特征在于：所述传感器底座(5)上设置有传感器外壳(1)，所述传感器底座(5)上设置有mems一(3)，所述传感器底座(5)上设置有mems二(4)，所述传感器底座(5)上开设有气腔一(6)，所述传感器底座(5)上开设有气腔二(7)。2.根据权利要求1所述的一种基于mems定向加速度传感器，其特征在于：所述传感器外壳(1)的形状为长方体。3.根据权利要求1所述的一种基于mems定向加速度传感器，其特征在于：所述mems一(3)和mems二(4)在传感器底座(5)上呈对称分布。4.根据权利要求1所述的一种基于mems定向加速度传感器，其特征在于：所述气腔一(6)与气腔二(7)连通。5.根据权利要求1所述的一种基于mems定向加速度传感器，其特征在于：所述气腔一(6)和气腔二(7)内设置有偏动器(2)。6.根据权利要求1所述的一种基于mems定向加速度传感器，其特征在于：所述偏动器(2)的形状为圆柱形，所述偏动器(2)与气腔一(6)和气腔二(7)形状吻合。

技术总结
本实用新型属于加速度传感器技术领域，具体涉及一种基于MEMS定向加速度传感器，包括传感器外壳、偏动器、MEMS一、MEMS二、传感器底座、气腔一、气腔二，所述传感器底座上设置有传感器外壳，所述传感器底座上设置有MEMS一，所述传感器底座上设置有MEMS二，所述传感器底座上开设有气腔一，所述传感器底座上开设有气腔二。本实用新型通过采用气体压力MEMS芯片，成本低，且采用双MEMS结构，测量精度高，响应快，通过采用压缩氮气，产品量程大，且不会出现超量程损坏，且采用氮气填充气腔,产品稳定性高，解决了传统压阻式加速度传感器价格较高，气体压力传感器的价格普遍较低，且检测响应慢的问题。题。题。


技术研发人员：唐焕新 马晓辉 刘皞 杨杰 王建鲁
受保护的技术使用者：明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
技术研发日：2022.12.16
技术公布日：2023/3/16