一种软X射线能谱仪的制作方法

本技术涉及x射线探测，尤其是涉及一种软x射线能谱仪。

背景技术：

1、软x射线能谱探测是icf实验中重要的一部分，通过对入射软x射线的能谱进行分析，得到产生软x射线的相关物质信息，包括x射线总通量，辐射温度，转换效率等等；通常软x射线探测仪包括入射光阑孔、分光系统及探测部件等构成，如专利cn109164120a公开的一种高时间分辨软x射线能谱仪，但是该能谱仪的软x射线在传输过程中，可能会受到空气介质的阻挡，导致软x射线产生衰弱，影响探测结果的准确性。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种软x射线能谱仪，以解决上述现有技术存在的问题，减少软x射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软x射线的探测。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

3、本实用新型提供一种软x射线能谱仪，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，所述壳体具有探测腔，且所述壳体一端具有能够连通所述探测腔的开口，所述开口处用于通入至少两路软x射线，且所述开口能够连接用于对所述探测腔抽真空的真空设备；所述探测部件和各所述分光部件设置于所述探测腔内，且所述探测部件沿所述软x射线传输方向位于所述分光部件的后方，各所述分光部件分别用于接收并分解一路的所述软x射线，以反射出特定波长的所述软x射线至所述探测部件，所述探测部件用于对接收的所述软x射线进行能谱探测，各所述分光部件反射出的所述软x射线具有不同波长。

4、优选地，各所述分光部件通过转动部件转动连接于所述探测腔内壁，所述分光部件能够通过所述转动部件调节相对于所述探测腔内壁的角度以调节与所述软x射线的入射角度和反射角度，且所述转动部件与所述探测腔的相对位置能够固定。

5、优选地，还包括滤光组件，所述滤光组件设置于所述探测腔内，且所述滤光组件位于所述分光部件和所述探测部件之间，所述滤光组件用于对各所述分光部件和所述探测部件之间的所述软x射线进行杂散光过滤。

6、优选地，所述滤光组件包括遮光板，所述遮光板与所述探测腔内壁固定连接，且所述遮光板上具有多个尺寸不同的通光孔，不同的所述通光孔用于使不同的所述分光部件反射后的所述软x射线通过，且通过所述通光孔后的所述软x射线均能够照射至所述探测部件上。

7、优选地，各所述通光孔内均用于能够拆卸地连接有滤光片，各所述滤光片均用于过滤所述软x射线中的杂散光。

8、优选地，所述滤光组件还包括滤光镜，所述滤光镜位于所述遮光板和所述探测部件之间，所述滤光镜与所述探测腔内壁固定连接；所述滤光镜用于对所述遮光板和所述探测部件之间的所述软x射线进行杂散光过滤。

9、优选地，所述壳体沿所述软x射线传输方向包括依次连接且连通的锥形筒体和柱形筒体，所述锥形筒体的小径端为所述开口，各所述分光部件沿所述壳体的周向分布，且所述开口处设置有法兰，所述法兰用于连接所述真空设备。

10、优选地，各所述分光部件设置为晶体单色器或多层膜单色器；所述探测部件采用si光电二极管，且所述探测部件设置于所述壳体背离所述开口的一端，所述探测部件通过固定且伸出于所述壳体端面的电缆接头与处理组件通信连接。

11、优选地，所述壳体上设置有能够连通所述探测腔的阀门。

12、优选地，所述壳体的轴向尺寸不超过400mm，直径尺寸不超过60mm，且所述壳体采用遮光材质。

13、本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

14、本实用新型提供的软x射线能谱仪，通过真空设备对探测腔抽真空，减少射入探测腔内的软x射线在传输过程中的衰弱；当分光部件接收软x射线后对软x射线分解，以将特定波长的软x射线反射至探测部件对特定波长的软x射线进行能谱探测，由于设置有至少两个分光部件，且不同分光部件分解反射出的软x射线具有不同波长，因此能够同时进行至少两个波长的软x射线的能谱探测。

技术特征：

1.一种软x射线能谱仪，其特征在于：包括壳体(10)、探测部件(20)以及至少两个分光部件(30)，所述壳体(10)具有探测腔(11)，且所述壳体(10)一端具有能够连通所述探测腔(11)的开口(12)，所述开口(12)处用于通入至少两路软x射线(2)，且所述开口(12)能够连接用于对所述探测腔(11)抽真空的真空设备；所述探测部件(20)和各所述分光部件(30)设置于所述探测腔(11)内，且所述探测部件(20)沿所述软x射线(2)传输方向位于所述分光部件(30)的后方，各所述分光部件(30)分别用于接收并分解一路的所述软x射线(2)，以反射出特定波长的所述软x射线(2)至所述探测部件(20)，所述探测部件(20)用于对接收的所述软x射线(2)进行能谱探测，各所述分光部件(30)反射出的所述软x射线(2)具有不同波长。

2.根据权利要求1所述的软x射线能谱仪，其特征在于：各所述分光部件(30)通过转动部件(40)转动连接于所述探测腔(11)内壁，所述分光部件(30)能够通过所述转动部件(40)调节相对于所述探测腔(11)内壁的角度以调节与所述软x射线(2)的入射角度和反射角度，且所述转动部件(40)与所述探测腔(11)的相对位置能够固定。

3.根据权利要求2所述的软x射线能谱仪，其特征在于：还包括滤光组件(50)，所述滤光组件(50)设置于所述探测腔(11)内，且所述滤光组件(50)位于所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间，所述滤光组件(50)用于对各所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间的所述软x射线(2)进行杂散光过滤。

4.根据权利要求3所述的软x射线能谱仪，其特征在于：所述滤光组件(50)包括遮光板(51)，所述遮光板(51)与所述探测腔(11)内壁固定连接，且所述遮光板(51)上具有多个尺寸不同的通光孔(511)，不同的所述通光孔(511)用于使不同的所述分光部件(30)反射后的所述软x射线(2)通过，且通过所述通光孔(511)后的所述软x射线(2)均能够照射至所述探测部件(20)上。

5.根据权利要求4所述的软x射线能谱仪，其特征在于：各所述通光孔(511)内均用于能够拆卸地连接有滤光片，各所述滤光片均用于过滤所述软x射线(2)中的杂散光。

6.根据权利要求4所述的软x射线能谱仪，其特征在于：所述滤光组件(50)还包括滤光镜(52)，所述滤光镜(52)位于所述遮光板(51)和所述探测部件(20)之间，所述滤光镜(52)与所述探测腔(11)内壁固定连接；所述滤光镜(52)用于对所述遮光板(51)和所述探测部件(20)之间的所述软x射线(2)进行杂散光过滤。

7.根据权利要求1所述的软x射线能谱仪，其特征在于：所述壳体(10)沿所述软x射线(2)传输方向包括依次连接且连通的锥形筒体(13)和柱形筒体(14)，所述锥形筒体(13)的小径端为所述开口(12)，各所述分光部件(30)沿所述壳体(10)的周向分布，且所述开口(12)处设置有法兰(15)，所述法兰(15)用于连接所述真空设备。

8.根据权利要求1所述的软x射线能谱仪，其特征在于：各所述分光部件(30)设置为晶体单色器或多层膜单色器；所述探测部件(20)采用si光电二极管，且所述探测部件(20)设置于所述壳体(10)背离所述开口(12)的一端，所述探测部件(20)通过固定且伸出于所述壳体(10)端面的电缆接头(21)与处理组件通信连接。

9.根据权利要求1所述的软x射线能谱仪，其特征在于：所述壳体(10)上设置有能够连通所述探测腔(11)的阀门。

10.根据权利要求7所述的软x射线能谱仪，其特征在于：所述壳体(10)的轴向尺寸不超过400mm，直径尺寸不超过60mm，且所述壳体(10)采用遮光材质。

技术总结
本技术公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件和各分光部件设置于探测腔内，且探测部件沿软X射线传输方向位于分光部件的后方，各分光部件分别用于接收并分解一路的软X射线，以反射出特定波长的软X射线至探测部件，探测部件用于对接收的软X射线进行能谱探测，各分光部件反射出的软X射线具有不同波长。本技术提供的软X射线能谱仪，能够减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。

技术研发人员：张秀霞,何月静,白宏博
受保护的技术使用者：苏州闻道电子科技有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/13