计算机系统、尺寸测量方法以及半导体装置制造系统与流程

技术特征：

1.一种计算机系统，提供从包含图案的图像数据提取用于测量该图案的所期望部位的尺寸的基点的坐标信息并使用该基点的坐标信息来测量所述尺寸的功能，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的计算机系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的计算机系统，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的计算机系统，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的计算机系统，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的计算机系统，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的计算机系统，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的计算机系统，其特征在于，

9.一种尺寸测量方法，由计算机系统提取用于测量图像数据的所期望部位的尺寸的基点的坐标信息并使用该基点的坐标信息来测量所述尺寸，

10.根据权利要求9所述的尺寸测量方法，其特征在于，

11.根据权利要求10所述的尺寸测量方法，其特征在于，

12.根据权利要求9所述的尺寸测量方法，其特征在于，

13.根据权利要求12所述的尺寸测量方法，其特征在于，

14.根据权利要求9所述的尺寸测量方法，其特征在于，

15.一种半导体装置制造系统，具备安装有如下应用程序的平台，该应用程序用于提取用于测量图像数据的所期望部位的尺寸的基点的坐标信息并使用该基点的坐标信息来测量所述尺寸，

技术总结
提供一种计算机系统，提供从图像数据提取用于测量该图像数据的图案的所期望部位的尺寸的基点的坐标信息并使用该基点的坐标信息来测量所述尺寸的功能，在该计算机系统中，具备：前处理部，即使在学习器中使用的学习数据集中混合存在记载了全部基点的坐标的样本和仅记载了一部分基点的坐标的样本的情况下，对于仅记载了一部分基点的坐标值的样本，将注释数据中不足的该基点设为不足测量部位，通过对图像数据遮蔽该不足测量部位，能够将全部样本合起来进行学习，所述前处理部具备所述学习器，所述学习器安装有输出至少2个所述基点的坐标信息作为学习结果的姿势推定模型，所述学习器使用以所述图像数据作为输入且以所述至少2个基点的坐标信息作为输出的学习数据预先实施学习，所述前处理部对于对所述学习器输入的新图像数据，提取所述至少2个基点的坐标信息以及所述尺寸。

技术研发人员：奥山裕,大森健史
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29