微机电系统器件的制作方法

本发明涉及一种微机电系统(mems)器件。

背景技术：

1、以往普及了一种使用mems(micro electro mechanical systems：微机电系统)技术制造的器件。该器件例如通过在具有元件的下侧基板接合上侧基板而形成。

2、例如在专利文献1中公开了一种这样的加速度传感器：在底部基板和盖部基板之间具有以旋转轴为中心旋转的可动部，由装备于盖部基板的左上部电极和装备于可动部的左可动电极构成左电容器，由装备于盖部基板的右上部电极和装备于可动部的右可动电极构成右电容器。在该加速度传感器中，在输入了铅垂方向的振动加速度的情况下，左可动电极和右可动电极在旋转移位方向上振动。因此，左可动电极和左上部电极之间的电容器的静电电容与右可动电极和右上部电极之间的电容器的静电电容以彼此相反的相位振动。另外，加速度传感器基于根据这些电容器的静电电容的电容差计算出的输出来检测铅垂方向的加速度振动，从而检测加速度。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2017/183082号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1的加速度传感器中，左上部电极和右上部电极形成于盖部基板，左上部电极对于左可动电极而言起到作为固定电极的作用，右上部电极对于右可动电极而言起到作为固定电极的作用。

3、另一方面，由于对盖部基板例如在封装时施加模具压力或者在安装于基板时施加由热膨胀差引起的压力，因此盖部基板有时会变形。

4、形成于盖部基板的固定电极容易受到盖部基板的变形的影响，有可能因盖部基板的变形而使固定电极和可动电极之间的静电电容发生变化，从而导致静电电容值的检测精度下降。

5、本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的之一在于提供一种能够抑制静电电容值的检测精度下降的mems器件。

6、用于解决问题的方案

7、本发明的一个方面的mems器件包括：第1基板，其包含静电电容部、保持部以及弹性部，所述静电电容部具有第1可动电极和第2可动电极，该静电电容部构成为静电电容与第1可动电极和第2可动电极之间的距离相应地变化，所述保持部构成为保持静电电容部，所述弹性部将静电电容部和保持部连接，该弹性部构成为将第1可动电极和第2可动电极分别支承为能够相对于保持部移位；以及第2基板，其与第1基板接合。

8、发明的效果

9、根据本发明，能够抑制静电电容值的检测精度的下降。

技术特征：

1.一种微机电系统器件，其中，

2.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，

3.根据权利要求2所述的微机电系统器件，其中，

4.根据权利要求3所述的微机电系统器件，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的微机电系统器件，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的微机电系统器件，其中，

技术总结
抑制静电电容值的检测精度的下降。惯性传感器(1)包括：MEMS基板(50)，其包含静电电容部(110)、保持部(130)以及弹簧部(150)，静电电容部(110)具有第1可动电极(111)和第2可动电极(115)，构成为静电电容与第1可动电极(111)和第2可动电极(115)之间的距离相应地变化，保持部(130)构成为保持静电电容部(110)，弹簧部(150)将静电电容部(110)和保持部(130)连接，该弹簧部(150)构成为将第1可动电极(111)和第2可动电极(115)分别支承为能够相对于保持部(130)移位；以及上盖(30)，其与MEMS基板(50)接合。

技术研发人员：福光政和,安西·布洛姆奎斯特,阿尔蒂·托尔凯利,维莱·卡亚卡里
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/4/24