平窗TO的光电流自动测试装置的制作方法

平窗to的光电流自动测试装置
技术领域
1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种平窗to的光电流自动测试装置。


背景技术：

2.随着激光雷达等应用场景需求的增加，平窗to(transistor outline)封装也随之增长；光电流是接收端to的关键参数，必须通过测试才能确保产品性能正常；
3.目前常规透镜封装to是使用常规标准单模光纤来对准透镜进行光电流测试，有手动也有自动，参阅图2和图3，常规透镜管帽to自动测试使用的光纤光斑在平窗to场景会出现常规标准单模光纤光斑发散情况，光斑发散很容易打到光敏面以外，只有光斑打在光敏面上才能测得准确光电流；因此，出现光斑发散会导致耦合效率低，光电流小的问题，无法准确测得平窗to响应电流，无法满足平窗to光电流测试要求。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了提供一种平窗to的光电流自动测试装置，确保生产效率、测试准确度以及产品质量。
5.为解决以上技术问题，本发明的技术方案为：平窗to的光电流自动测试装置，包括：
6.光源、光纤、准直器、数字源表和上位机；光纤输入端连接于光源，光纤输出端连接于准直器，准直器输出端对应于平窗to的光敏面；平窗to信号输出端信号连接于数字源表，数字源表和光源信号连接于上位机；
7.光源的光通过光纤和准直器发射至平窗to的光敏面，平窗to的光敏面耦合找光，通过数字源表得到最大光电流后上传至上位机，完成平窗to光电流自动测试。
8.进一步地，找光方式采用的是爬坡法或回字型法耦合找光。
9.进一步地，测试装置还包括夹具，夹具用于夹持准直器。
10.进一步地，准直器采用的是大工作距离和与待测产品匹配的光斑直径的准直器。
11.进一步地，所述夹具为至少三轴夹具。
12.进一步地，所述测试装置还包括测试板，测试板用于安装平窗to。
13.进一步地，所述测试装置还包括：光衰和光开关；光源输出端通过光纤经光衰和光开关后连接于准直器。
14.本发明具有如下有益效果：
15.本发明通过替换常规标准单模光纤，设置准直器，在一定范围内使光斑基本不发散，很容易打在平窗to的光敏面上,达到光电流最大的目的；本发明填补了目前的技术空白，提升测试效率、一致性、准确性以及质量保证，有助批量生产。
附图说明
16.图1为本发明实施例一测试装置的结构示意图；
17.图2为现有技术中标准单模光纤光斑发散的示意图；
18.图3为现有技术中标准单模光纤光斑与平窗to光敏面对准的示意图；
19.图4为本发明中设置准直器的单模光纤光斑发散的示意图；
20.图5为实施例一中测试装置的另一种安装示意图；
21.图6为实施例一中测试板的结构示意图；
22.图7为本发明实施例二测试装置的结构示意图。
23.附图说明：1、光源；2、光纤；3、准直器；4、数字源表；5、上位机；6、平窗to；601、光敏面；7、夹具；8、测试板；801、插槽；a、发散的光；9、光衰；10、光开关。
具体实施方式
24.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
25.实施例一：
26.请参考图1和图4，本发明为一种平窗to的光电流自动测试装置，其包括：光源1、光纤2、准直器3、数字源表4、上位机5、夹具7和测试板8；
27.光纤2输入端连接于光源1，光纤2输出端连接于准直器3，准直器3输出端对应于平窗to6的光敏面601；平窗to6信号输出端信号连接于数字源表4，数字源表4和光源1信号连接于上位机5；
28.光源1发散的光a通过光纤2和准直器3发射至平窗to6的光敏面601，参阅图4，准直器3输出光使光斑在一定范围内不发散的同时光斑可以比较均匀的分布在平窗to6中芯片光敏面601上。用爬坡法或“回”字型法来耦合找光，得到最大光电流，通过数字源表4得到最大光电流后上传至上位机5，这样就完成了平窗to6光电流的自动测试，测试过程自动完成操作方便，测试结果准确性和一致性都有保障。
29.参阅图1和图5，准直器3通过夹具7安装在平窗to6设备上方或左右一侧，平窗to6通过测试板8安装在准直器3下半部分或左右的另一侧。夹具7用于夹持准直器3，夹具7为至少三轴夹具，也可选择六轴夹具，夹具7为现有技术，在此不做赘述。准直器3采用的是大工作距离和与待测产品匹配的光斑直径的准直器3，选择大工作距离的准直器3也可以给夹具7和平窗to6之间预留足够安全空间，避免夹具7碰到to导致损坏。其中，工作距离具体需要匹配测试需求，目前使用频率比较大的是2mm工作距离，10um光斑，具体可根据使用场景选择，如下是一些常见组合：
[0030][0031]
测试板8采用的是印制板，测试板8可安装一个平窗to6，也可安装多个平窗to6。参阅图6，测试板8有多组用于连接平窗to6信号线的插槽801，每组插槽801用于连接一个平窗to6，一组插槽不少于两个引脚，分别连接平窗to6的信号线。图6中所示的两种引脚分别对应连接数字源表4，当测试连接于第一组插槽801的平窗to6时，夹具7带动准直器3将光打在第一个平窗to6上，数字源表4获取第一个平窗to6的光电流数据，同理，再进行下一平窗to6测试。电流一般通过数字源表4测得电流值，然后上位机5通信获取并保存测试值。
[0032]
实施例二：
[0033]
本实施例与实施例一的区别在于：在实施例一的基础上，本实施例测试装置还包括：光衰和光开关。
[0034]
请参考图7，本实施例提供一种平窗to的光电流自动测试装置，其包括：光源1、光纤2、光衰9、光开关10、准直器3、数字源表4、上位机5、夹具7和测试板8；
[0035]
光纤2一端连接于光源1输出端，光纤2另一端依次光衰9、光开关10后连接于准直器3，准直器3输出端对应于平窗to6的光敏面601；平窗to6信号输出端信号连接于数字源表4，数字源表4、光源1、光衰9和光开关10信号连接于上位机5；
[0036]
光源1的光通过光纤2、光衰9、光开关10和准直器3发射至平窗to6的光敏面601，平窗to6的光敏面601耦合找光，通过数字源表4得到最大光电流后上传至上位机5，完成平窗to6光电流自动测试。
[0037]
本实施例中，光衰9产品为现有技术，主要功能是根据不同场景自主选择需要准直器3输出的光功率，可以使整个测试设备适用性更广使用更方便，光衰常见规格为工作波长、衰减范围和衰减精度等，常见厂商有普赛斯、伽蓝特等。光开关10为现有技术，主要功能是切断或打开测试系统光路，当不需要测试光电流时，将光开关打开，需要测试光电流时则关闭光开关，可以让测试设备更灵活，常见规格参数为波长、插入损耗、回损等，常见厂商有普赛斯、伽蓝特等。
[0038]
本发明未涉及部分均与现有技术相同或采用现有技术加以实现。
[0039]
以上内容是结合具体的实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。