电性能测试方法、装置、测试机及存储介质与流程

本申请涉及集成电路测试，具体而言，本申请涉及一种电性能测试方法、装置、测试机及存储介质。

背景技术：

1、集成电路在完成晶圆制造后需要进行晶圆可接受性测试，即利用测试机对晶圆上特定的测试结构进行电性能测试，以便于对晶圆的生产工艺、质量的评估给予数据支持。

2、目前，在进行电性能测试的过程中存在以下现象：激励信号建立阶段激励信号容易遭受不可预知的冲击、激励信号长时间输出时会出现信号偏移、电源内部补偿的不准确会导致的激励信号过载等，这些现象易导致激励信号在测试过程中发生波动，影响了测试过程中激励信号的稳定输出，可能产生瞬态高压损坏晶圆。

3、由上可知，如何提高电性能测试中激励信号可靠性成为测试过程中亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本申请各提供了一种电性能测试方法、装置、测试机及存储介质，可以解决相关技术中存在的激励信号可靠性不足的问题。所述技术方案如下：

2、根据本申请的一个方面，一种电性能测试方法，应用于测试机，所述测试机包括源测量输出单元，所述方法包括：进行与测试场景匹配的初始参数配置，使得所述源测量输出单元按照所述初始参数包含的期望激励值输出激励信号，所述激励信号的输出过程包括激励信号建立阶段和激励信号执行阶段；在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功；若检测到所述激励信号建立成功，则进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试。

3、在一示例性实施例中，所述在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功，包括：对所述源测量输出单元的测量端进行采样，获得测量信号，所述测量端用于回读所述源测量输出单元输出的所述激励信号；检测所述测量信号的工作状态，确定所述测量信号的工作状态是处于稳定收敛状态还是发散状态；若所述测量信号的工作状态处于趋于发散状态，则对所述激励信号进行信号调幅，直至所述测量信号的工作状态处于稳定收敛状态。

4、在一示例性实施例中，所述检测所述测量信号的工作状态，确定所述测量信号的工作状态是处于稳定收敛状态还是发散状态，包括：基于所述测量信号确定测量序列，所述测量序列包括多个测量值，不同测量值反映了所述测量信号在不同采样时刻的信号强度；计算所述测量序列中两两相邻测量值之间的第一差值，得到包含多个第一差值的第一差值序列；计算所述第一差值序列中两两相邻第一差值之间的第二差值，得到多个第二差值；若多个所述第二差值呈逐渐变大趋势，则判定所述测量信号的工作状态处于趋于发散状态。

5、在一示例性实施例中，所述初始参数包括数值小于所述期望激励值的暂态激励值；所述对所述激励信号进行信号调幅，直至所述测量信号的工作状态处于稳定收敛状态，包括：对所述源测量输出单元按照所述暂态激励值输出的激励信号进行信号调幅，并利用所述测量端回读所述源测量输出单元输出经信号调幅后的所述激励信号，获得所述测量信号；若所述测量信号的工作状态处于趋于发散状态，则启动钳位控制保护，通过所述钳位控制保护将所述激励信号的幅值限定在激励限定值；若所述测量信号的工作状态处于稳定收敛状态，则恢复所述源测量输出单元按照所述期望激励值输出所述激励信号。

6、在一示例性实施例中，所述进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试，包括：在所述激励信号执行阶段，对所述激励信号进行特征提取，得到所述激励信号在不同采样时刻的特征量；基于所述特征量对所述激励信号的变化趋势进行估计，得到所述激励信号在后一个采样时刻的估计值；若所述估计值大于所述期望激励值，则对所述激励信号进行幅值降低。

7、在一示例性实施例中，所述基于所述特征量对所述激励信号的变化趋势进行估计，得到所述激励信号在后一个采样时刻的估计值，包括：基于所述激励信号在不同采样时刻的特征量，对所述激励信号进行线性拟合，得到所述激励信号的信号拟合曲线；根据所述信号拟合曲线对所述激励信号在后一个采样时刻的估计值进行预测，得到所述估计值。

8、在一示例性实施例中，所述初始参数还包括激励限定值；所述基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试之后，所述方法还包括：对所述激励信号进行监控；若监控到所述激励信号超出所述激励限定值时，则开启输出保护，通过所述输出保护对所述激励信号进行的幅值降低，使得所述激励信号低于所述激励限定值。

9、根据本申请实施例的一个方面，一种电性能测试装置，包括：

10、参数配置模块，用于进行与测试场景匹配的初始参数配置，使得所述源测量输出单元按照所述初始参数包含的期望激励值输出激励信号；信号建立模块，用于在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功；信号执行模块，用于若检测到所述激励信号建立成功，则进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试。

11、根据本申请实施例的一个方面，一种测试机，其特征在于，包括：至少一个处理器、至少一个存储器、以及至少一条通信总线，其中，所述存储器上存储有计算机程序，所述处理器通过所述通信总线读取所述存储器中的所述计算机程序；所述计算机程序被所述处理器执行时实现如上所述的电性能测试方法。

12、根据本申请实施例的一个方面，一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述中的电性能测试方法。

13、根据本申请的一个方面，一种计算机程序产品，计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序存储在存储介质中，计算机设备的处理器从存储介质读取计算机程序，处理器执行计算机程序，使得计算机设备执行时实现如上所述的电性能测试方法。

14、本申请提供的技术方案带来的有益效果是：

15、在上述技术方案中，进行与测试场景匹配的初始参数配置，使得源测量输出单元按照所述初始参数包含的期望激励值输出激励信号；在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功；若检测到所述激励信号建立成功，则进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试，由此可见，本申请可以在电性能测试过程中对激励信号进行稳定性调节，从而有效解决现有技术中激励信号可靠性不足的问题，避免在电性能测试过程中损害被测对象。

技术特征：

1.一种电性能测试方法，其特征在于，应用于测试机，所述测试机包括源测量输出单元，所述方法包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功，包括：

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述检测所述测量信号的工作状态，确定所述测量信号的工作状态是处于稳定收敛状态还是发散状态，包括：

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述初始参数包括数值小于所述期望激励值的暂态激励值；

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试，包括：

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述特征量对所述激励信号的变化趋势进行估计，得到所述激励信号在后一个采样时刻的估计值，包括：

7.如权利要求1至6任一项所述的方法，其特征在于，所述初始参数还包括激励限定值；

8.一种电性能测试装置，其特征在于，应用于测试机，所述测试机包括源测量输出单元，所述装置包括：

9.一种测试机，其特征在于，包括：至少一个处理器、至少一个存储器、以及至少一条通信总线，其中，

10.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的电性能测试方法。

技术总结
本申请提供了一种电性能测试方法、装置、测试机及存储介质，涉及集成电路测试技术领域。其中，该方法包括：进行与测试场景匹配的初始参数配置，使得所述源测量输出单元按照所述初始参数包含的期望激励值输出激励信号，所述激励信号的输出过程包括激励信号建立阶段和激励信号执行阶段；在所述激励信号建立阶段，控制所述源测量输出单元对输出的所述激励信号进行稳定性调节，直至所述激励信号建立成功；若检测到所述激励信号建立成功，则进入所述激励信号执行阶段，基于所述源测量输出单元输出的所述激励信号，对被测对象进行与所述测试场景相关的电性能测试。本申请解决了相关技术中电性能测试中激励信号可靠性不足的问题。

技术研发人员：王林旺,鲁志兵,谭湘
受保护的技术使用者：深圳市辰卓科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13