腔室以及泄漏测试器的制作方法

本发明涉及一种腔室以及泄漏测试器。

背景技术：

1、已知有在将工件容纳在腔室内的基础上，检查该工件有无气体泄漏的泄漏测试器。作为该腔室，提出了能够容纳不同尺寸的工件的腔室(参照专利文献1)。在专利文献1中，记载了将腔室的大小设为最大尺寸的工件能够进入的尺寸。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：(日本)特开2007-139456号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、本发明者们得知，当将不同尺寸的工件容纳在腔室内时，由于容纳工件的空间的工件外的容积变化，每单位时间的气体泄漏量变化，难以管理检查条件。

3、本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种能够容易地进行对不同尺寸的工件的检查条件的管理的腔室。

4、需要说明的是，在专利文献1中，记载有如下内容：以能够通过减少来自腔室内的多余的排气量来减少真空泵的容量的方式，与工件的大小相应地减小腔室内的空间的容积。但是，在专利文献1中，没有记载本公开的课题。另外，根据专利文献1所记载的结构，即使能够减小腔室内的多余的空间，对于不同尺寸的工件，也不容易将容纳工件的空间的工件外的容积控制为恒定。

5、用于解决问题的方案

6、(1)本公开的一个方式的腔室是泄漏测试器用腔室，其具备：主腔室，其容纳工件；副腔室，其与所述主腔室连通；容积变更机构，其变更所述副腔室的容积；所述容积变更机构对于不同尺寸的所述工件，以使所述主腔室和所述副腔室中的工件的外侧的空间的合计容积为恒定的方式，变更所述副腔室的容积。

7、(2)根据所述(1)，优选地，所述副腔室具有与泄漏检测器连通的开口。

8、(3)根据所述(1)或(2)，优选地，所述容积变更机构基于所述工件的尺寸数据来控制所述副腔室的容积。

9、(4)根据所述(1)至(3)中的任一个，优选地，所述容积变更机构具有在所述副腔室内进退的活塞。

10、(5)根据所述(4)，优选地，所述容积变更机构具有控制所述活塞的位置的数控致动器。

11、(6)根据所述(4)或(5)，优选地，所述副腔室具有筒状部分，所述活塞相对于所述筒状部分的内周面气密地配置，且在所述筒状部分的轴向上进退。

12、(7)根据所述(1)至(3)中的任一个，优选地，所述副腔室具有与所述主腔室连通的一个或多个室，所述容积变更机构具有能够阻断流体向所述室浸入的阀。

13、(8)根据所述(1)至(7)中的任一个，优选地，还具备将所述工件定位在所述主腔室内的定位机构。

14、(9)本公开的另一方式的泄漏测试器具备根据所述(1)至(8)中的任一个的腔室。

15、(10)本公开的再一方式的泄漏测试器具备所述(2)的腔室和与所述副腔室连通的泄漏检测器。

16、发明效果

17、本公开的一个方式的腔室具备容积变更用的副腔室，因此，通过所述容积变更机构，容易将所述主腔室和所述副腔室的工件的外侧的空间的合计容积控制为恒定。因此，通过使用该腔室，能够容易地进行对不同尺寸的工件的泄漏测试的检查条件的管理。

技术特征：

1.一种腔室，该腔室是泄漏测试器用腔室，所述腔室的特征在于，具备：

2.如权利要求1所述的腔室，其特征在于，

3.如权利要求1或2所述的腔室，其特征在于，

4.如权利要求1或2所述的腔室，其特征在于，

5.如权利要求4所述的腔室，其特征在于，

6.如权利要求4所述的腔室，其特征在于，

7.如权利要求1或2所述的腔室，其特征在于，

8.如权利要求1或2所述的腔室，其特征在于，

9.一种泄漏测试器，其特征在于，具备如权利要求1所述的腔室。

10.一种泄漏测试器，其特征在于，具备：如权利要求2所述的腔室；

技术总结
本公开的目的在于提供一种能够容易地对不同尺寸的工件进行泄漏测试的检查条件的管理的腔室。本公开的一个方式的腔室(10)是泄漏测试器用腔室，其具备：主腔室(20)，其容纳工件(100)；副腔室(30)，其与主腔室(20)连通；容积变更机构(40)，其变更副腔室(30)的容积；容积变更机构(40)对于不同尺寸的工件(100)，以使主腔室(20)和副腔室(30)中的工件(100)的外侧的空间的合计容积为恒定的方式，变更副腔室(30)的容积。

技术研发人员：石井彻,山本稔,本间大介,藤田幸正
受保护的技术使用者：雅马哈精密科技株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25