环境光感测器的制作方法

本公开实施例涉及一种环境光感测器，特别涉及环境光感测器的超颖表面(metasurface)。

背景技术：

1、电子装置，如笔记本电脑、手机、以及其他产品，有时配备有光感测器。举例来说，可在装置中纳入环境光感测器以提供对环境光状况所需的信息。环境光感测器的光学读数可用来控制装置设定。举例来说，若检测到很亮的日光状况，电子装置可增加显示亮度作为补偿。在一些配置中，执行环境光感测器以收集环境光的颜色信息(如光谱)。可基于环境光的颜色调整所显示影像的颜色。

2、为了收集不同颜色的光学读数，环境光感测器可包括多光谱带通滤波器(multi-spectral bandpass filter)。每个多光谱带通滤波器可传输环境光的特定波长(或颜色)，而其他不想要的颜色(包括来自阳光的红外线)可被多光谱带通滤波器吸收或反射远离，从而提高颜色识别的能力。由于多光谱带通滤波器彼此不同，需要被分开图案化。取决于所设计的多光谱带通滤波器的数量，可能有很多道图案化工艺循环，其导致更长的周期时间和更高的制造成本。因此，需要通过环境光感测器的设计和制造来解决这些相关问题。

技术实现思路

1、在一实施例中，一种环境光感测器，包括：基底；设置于基底上的超颖表面(metasurface)；以及设置于基底上的光孔(aperture)层。超颖表面包括多个纳米结构、以及横向地围绕纳米结构的填充层。光孔层横向地将超颖表面分隔成多个次超颖组。

1.一种环境光感测器，包括：

2.如权利要求1所述的环境光感测器，其中该光孔层包括黑光阻、介电材料、或金属，其中该光孔层水平地设置于所述多个次超颖组之间，或该光孔层设置于该超颖表面之上。

3.如权利要求1所述的环境光感测器，还包括多个感测部，埋入于该基底内，其中所述多个次超颖组分别设置为对应于所述多个感测部。

4.如权利要求1所述的环境光感测器，其中从上视图来看，每个纳米结构具有圆形、矩形、或六角形，其中该填充层的厚度等于所述多个纳米结构的厚度，或该填充层的厚度高于所述多个纳米结构的厚度。

5.如权利要求1所述的环境光感测器，其中所述多个纳米结构的折射率小于1.4，其中该填充层的折射率小于所述多个纳米结构的折射率，其中该填充层为空气。

6.如权利要求1所述的环境光感测器，其中一第一透明导电膜设置于该基底与该超颖表面之间，其中该第一透明导电膜为一透明导电氧化物，该透明导电氧化物包括氧化铟锡、氟掺杂氧化锡、氧化锌、或铝掺杂氧化锌。

7.如权利要求1所述的环境光感测器，还包括：

8.如权利要求7所述的环境光感测器，其中该扩散结构包括：

9.如权利要求7所述的环境光感测器，其中该扩散结构包括：

10.如权利要求9所述的环境光感测器，还包括：