一种溶铜罐性能检测装置的制作方法

本发明涉及溶铜罐性能检测，具体提出了一种溶铜罐性能检测装置。

背景技术：

1、电解铜箔溶铜罐是半导体工业中用于制造高质量铜箔的重要设备，主要用于通过电解铜溶解的方法，在铜箔上制造出要求精准的图案，电解铜箔溶铜罐通常由钛合金等材料制成，内部经过精密的加工和表面处理，使其具有高耐蚀性和高导电性，由于电解铜箔溶铜罐在半导体工业中的主要作用是进行铜箔制造的工艺过程，因此其耐腐蚀性能非常重要，电解铜溶液会引起电解铜箔溶铜罐内部的腐蚀问题，如果不及时处理，会导致设备损坏并可能对产品的质量产生负面影响，因此，电解铜箔溶铜罐通常需要进行适当的耐腐蚀性能检测，进而确定其腐蚀抗性是否满足工艺要求，并且需要定期维护和保养以确保其长期的稳定性和可靠性。

2、目前在对溶铜罐进行检测的过程中还存在以下问题：1、在对溶铜罐进行检测时，传统的一般是先对溶铜罐利用检测溶液进行浸泡，当浸泡完成并将检测溶液排出之后，再利用其他装置进行检测溶铜罐内壁是否存在凹陷、坑洞或者鼓泡等异常情况，在此期间一般只能保持一种工作进行运行，浪费了时间的同时还使得溶铜罐的检测效率大大降低，且由于无法及时对浸泡过的溶铜罐进行检测，进一步降低了溶铜罐的检测效率。

3、2、在对溶铜罐进行检测时，传统的一般是直接将检测溶液放置到溶铜罐内进而对溶铜罐进行浸泡，这种方式需要用到较多的检测溶液，进而增加了成本，且在浸泡完成后，无法及时的对溶铜罐内的检测溶液进行排出，进而会对溶铜罐的检测效果造成一定的影响。

4、所以为了避免影响溶铜罐的检测效率和检测效果，本发明提供了一种溶铜罐性能检测装置。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种溶铜罐性能检测装置，旨在解决现有技术影响溶铜罐的检测效率和检测效果的问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案来实现：一种溶铜罐性能检测装置，包括固定台，固定台的顶部设置有用于固定溶铜罐的固定机构，固定台的顶部左右两侧对称固定安装有竖直立板，两个竖直立板的相对面开设有移动槽，两个移动槽内通过驱动件共同滑动连接有固定板，固定板上由左至右依次设置有移动机构和用于对溶铜罐进行检测的检测机构。

3、所述移动机构包括在固定板上的左侧固定安装的呈圆形结构的第一盖板，第一盖板的内侧壁直径由上至下从第一盖板的中心处至边缘处逐渐增大，且第一盖板的内侧壁固定安装有第一密封垫，第一盖板的底部中心位置固定安装有呈开口向上的圆形桶体，圆形桶体的内侧壁靠近右侧的位置固定安装有将圆形桶体分隔两个部分的分隔板，分隔板上靠近上方的位置有控制检测溶液进入的进水组件，圆形桶体内位于右侧区域的位置固定安装有圆形管，圆形管穿过圆形桶体的底部向下延伸，第一盖板的顶部靠近右侧的位置固定安装有泵体，泵体的进水口和圆形管的顶部固定连接，泵体的出水口和进水组件相接触，圆形桶体的左侧区域设置有排水组件，第一盖板上靠近左侧的位置设置有控制排水组件进行排水的驱动组件。

4、所述检测机构包括在固定板上的右侧固定安装的呈圆形结构的第二盖板，第二盖板和第一盖板上的结构相同，且第二盖板的顶部中心位置通过电机座固定安装有电动机，电动机的输出轴底部固定安装有圆形杆，圆形杆的底部沿周向均匀固定安装有呈l形结构的连接板，左右两个连接板上沿l形结构均匀设置有多个一号检测组件，且左侧连接板上的一号检测组件和右侧连接板上的一号检测组件呈交错分布，前后两个连接板上沿l形结构均匀设置有多个二号检测组件，且后侧连接板上的二号检测组件和前侧连接板上的二号检测组件呈交错分布，圆形杆上设置有移动组件。

5、根据本发明的一个实施例，所述固定机构包括在固定台的顶部中心位置通过间歇电机固定安装的承接板，承接板的顶部左右两侧对称固定安装有环形板，环形板内通过三爪卡盘的卡爪均匀固定安装有对溶铜罐进行夹紧固定的弧形板，弧形板的内侧壁固定安装有弧形橡胶层。

6、根据本发明的一个实施例，所述进水组件包括在分隔板的顶部中心位置开设的方形槽，分隔板的左侧壁开设有和方形槽相连通的矩形通槽，矩形通槽的内端面上侧通过销轴铰接有闭合板块，闭合板块和矩形通槽内端面上侧之间的位置通过拉伸弹簧相连接，矩形通槽的内端面下侧且位于闭合板块的右侧固定安装有对闭合板块进行限位的限位挡板。

7、根据本发明的一个实施例，所述排水组件包括在圆形桶体的左侧区域前后对称位置开设的位移槽，位移槽内通过滑动设置的滑块共同固定安装有挤压板，且圆形桶体的底部靠近左侧的位置开设有圆形通孔，圆形通孔内靠近上方的位置固定安装有小口径端向上的空心圆台块，圆形通孔内位于空心圆台块的下方固定安装有漏孔板，漏孔板的上侧通过多个一号弹簧杆共同固定安装有和空心圆台块的空心处相配合的锥形块。

8、根据本发明的一个实施例，所述驱动组件包括在第一盖板的顶部固定安装的正反转电机，正反转电机的输出轴固定安装有主动齿轮，挤压板的顶部固定安装有螺纹杆，螺纹杆的顶部穿过第一盖板后向上延伸，螺纹杆上通过螺纹连接有和主动齿轮啮合传动的从动齿轮，从动齿轮的底部开设有环形槽，第一盖板的顶部固定安装有滑动设置在环形槽内的顶杆。

9、根据本发明的一个实施例，所述一号检测组件包括多个滑动设置在左右连接板的竖直段和固定安装在连接板水平段的锥形空心管，锥形空心管远离连接板的一端开设有一号圆形孔，锥形空心管内固定安装有圆形板，圆形板上滑动连接有和一号圆形孔处相配合的一号标记笔，锥形空心管内位于圆形板的左侧固定安装有和一号标记笔滑动连接的固定块，一号标记笔上位于固定块和圆形板之间固定安装有移动弹簧，锥形空心管的一号圆形孔内开设有阶梯槽，一号标记笔远离连接板的一侧固定套接有与阶梯槽相配合的密封圈。

10、根据本发明的一个实施例，所述二号检测组件包括在多个滑动设置在前后连接板的竖直段和固定安装在连接板水平段的圆形套筒，左右连接板竖直段上的多个锥形空心管和前后连接板竖直段上的多个圆形套筒之间均通过稳固板固定连接，圆形套筒远离连接板的一端滑动连接有锥形套筒，锥形套筒远离连接板的一端开设有二号圆形孔，圆形套筒内固定安装有环形块，环形块和锥形套筒之间通过多个二号弹簧杆固定连接，圆形套筒内通过滑动连接的呈圆形结构的安装块固定安装有和二号圆形孔相配合的二号标记笔。

11、根据本发明的一个实施例，所述移动组件包括在圆形杆的顶部开设的沉槽，圆形杆的侧壁沿周向均匀滑动连接有多个伸出杆，伸出杆和稳固板固定连接，稳固板和连接板之间通过多个复位弹簧固定连接，伸出杆位于沉槽内的一端固定安装有楔形块，沉槽内通过电动伸缩杆固定安装有和楔形块的斜面相接触的固定顶块。

12、本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：

13、根据本发明第一方面实施例提供的移动机构和检测机构的配合，在对溶铜罐进行检测的过程中，能够同时对溶铜罐完成浸泡检测溶液的工作和检测内壁的工作，节约了时间的同时还大大提高了溶铜罐的检测效率，在保证对溶铜罐进行浸泡检测溶液的同时还能够方便对浸泡过检测溶液的溶铜罐进行检测，进而使得检测工作能够持续正常运行检测，大大提高了设备的检测效果。

14、进一步地，根据本发明第二方面实施例提供的移动机构，在对溶铜罐进行检测时，直接将移动机构移动到待检测的溶铜罐内，放置之后利用设置的驱动组件使得检测溶液经过排水组件进入到需要检测的溶铜罐内，这种方式无需用到较多的检测溶液，进而降低了成本，且在浸泡完成后，启动泵体即可对溶铜罐内的检测溶液进行抽出，进而不会影响对溶铜罐的检测效果。

15、进一步地，根据本发明第三方面实施例提供的一号检测组件和二号检测组件，能够对溶铜罐内壁检测不合格的地方进行标记进而便于后期的快速观察。

16、进一步地，根据本发明第四方面实施例提供的进水组件，能够将溶铜罐内的检测溶液通过抽出并排入到圆形桶体内左侧的区域内，进而实现检测溶液的重复利用。

17、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。