光散射测定装置的制作方法

本发明涉及光散射测定装置。

背景技术：

1、在光散射测定装置中，有时在试样池与检测部之间设有对使偏振方向等光学特性变化的光学元件进行保持的光学元件保持器。例如，在使用光散射测定装置来对测定试样的各向异性进行测定的情况下，在试样池与检测部之间设有偏振元件保持器。

2、在光学元件保持器保持有两种以上的光学元件的情况下，需要在这些光学元件之间进行相互切换。例如，在想要从来自测定试样的散射光分别提取纵向的直线偏振成分和横向的直线偏振成分来进行测定的情况下，需要在偏振轴为纵向的偏振元件与偏振轴为横向的偏振元件之间进行切换。

3、以往，研究了各种能进行多个光学元件间相互的切换的光学元件保持器。例如，在涉及可变偏振晶片检查的领域中，已知有通过使配置有多个偏振元件的板状的保持器沿横向滑动来切换偏振方向的技术(参照下述专利文献1的图3)。此外，在涉及双折射光纤的外观测定的领域中，已知有在具有与光的路径平行的旋转轴的圆盘状的保持器上配置多个偏振元件，通过使该保持器绕旋转轴旋转来切换偏振方向的技术(参照下述专利文献2的图3a)。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特表2015－516574号公报

7、专利文献2：日本特开2011－069805号公报

8、另一方面，就如上述专利文献中记载的现有类型的光学元件保持器而言，其设置需要宽阔的空间。这是因为在现有类型的光学元件保持器中，多个光学元件设于同一平面上。具体地进行说明，在现有类型的光学元件保持器中，在板状或圆盘状的基板上配置有多个光学元件。而且，这些光学元件全部朝向相同的方向，即朝向与光向光学元件保持器射入的路径相同的方向。在此，在光学元件保持器中，参与测定的、即放置于光的路径上的光学元件仅为多个光学元件中的一个。多个光学元件中的该一个光学元件以外的光学元件虽然不参与测定，但在光学元件保持器中的上述基板的宽度方向上占有一定的空间。作为结果，产生该一定的空间的量的死区(dead space)。

9、因此，当使用上述现有类型的光学元件保持器时，会导致光散射测定装置本身大型化的问题。特别是，在光散射测定装置具有两个以上的检测部的情况下，即在进行基于多角度光散射法的测定的情况下，光学元件保持器也需要两个以上。当在该情况下使用现有类型的光学元件保持器时，上述死区会增大，因此，测定装置的大型化会更加明显。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种具备有助于光散射测定装置的小型化的光学元件保持器的光散射测定装置。

2、(1)本发明的光散射测定装置具备：光源；试样池，容纳试样，供来自所述光源的光射入；检测部，检测从所述试样池射出的出射光；光学元件保持器，具有旋转轴，并且保持包括分别以朝向所述旋转轴的方式设于所述旋转轴的周围的第一光学元件和第二光学元件的多个光学元件，所述旋转轴与由所述出射光从所述试样池去往所述检测部的路径确定的平面正交；以及光学元件保持器支承部，将所述光学元件保持器支承为能绕所述旋转轴旋转，所述光学元件保持器至少能在所述第一光学元件位于所述路径上的第一姿势与所述第二光学元件位于所述路径上的第二姿势之间旋转。

3、(2)在(1)的光散射测定装置中，也可以是，所述光学元件保持器是具有主体并在所述主体的侧面保持所述多个光学元件的保持器，在所述主体的侧面设有包括开在所述第一光学元件的相反侧的第一开口和开在所述第二光学元件的相反侧的第二开口的多个开口。

4、(3)在(2)的光散射测定装置中，也可以是，所述旋转轴位于所述路径上，所述第一光学元件和所述第一开口隔着所述旋转轴，并且所述第二光学元件和所述第二开口隔着所述旋转轴。

5、(4)在(3)的光散射测定装置中，也可以是，所述多个光学元件和所述多个开口以等角度间隔配置于绕所述旋转轴的整周。

6、(5)在(1)至(4)中的任一个光散射测定装置中，也可以是，所述光学元件保持器在截面包括多边形的部分。

7、(6)在(2)至(5)中的任一个光散射测定装置中，也可以是，所述多个开口包括彼此相对的第三开口和第四开口。

8、(7)在(1)至(6)中的任一个光散射测定装置中，也可以是，第一光学元件和第二光学元件分别为偏振元件。

9、(8)在(1)至(7)中的任一个光散射测定装置中，也可以是，所述第一光学元件的偏振轴的方向与所述第二光学元件的偏振轴的方向彼此不同。

10、(9)在(1)至(8)中的任一个光散射测定装置也可以具备：多个所述检测部，包括第一检测部和与所述第一检测部相邻的第二检测部；以及多个所述光学元件保持器，包括与所述第一检测部对应的第一光学元件保持器和与所述第二检测部对应的第二光学元件保持器。

11、(10)在(1)至(9)中的任一个光散射测定装置也可以具备：第一齿轮；第二齿轮，与所述第一齿轮啮合，随着所述第一齿轮的旋转而旋转，并且能与所述第一光学元件保持器一体地旋转；以及第三齿轮，与所述第一齿轮啮合，随着所述第一齿轮的旋转而旋转，并且能与所述第二光学元件保持器一体地旋转。

技术特征：

1.一种光散射测定装置，具备：

2.根据权利要求1所述的光散射测定装置，其中，

3.根据权利要求2所述的光散射测定装置，其中，

4.根据权利要求3所述的光散射测定装置，其中，

5.根据权利要求4所述的光散射测定装置，其中，

6.根据权利要求2所述的光散射测定装置，其中，

7.根据权利要求1所述的光散射测定装置，其中，

8.根据权利要求7所述的光散射测定装置，其中，

9.根据权利要求1所述的光散射测定装置，具备：

10.根据权利要求9所述的光散射测定装置，具备：

技术总结
本发明提供一种具备有助于光散射测定装置的小型化的光学元件保持器的光散射测定装置。本发明提供一种光散射测定装置，其具备：光源；试样池，容纳试样，供来自光源的光射入；检测部，检测从试样池射出的出射光；光学元件保持器，具有旋转轴，并且保持包括分别以朝向旋转轴的方式设于旋转轴的周围的第一光学元件和第二光学元件的多个光学元件，该旋转轴与由出射光从试样池去往检测部的路径确定的平面正交；以及光学元件保持器支承部，将光学元件保持器支承为能绕旋转轴旋转，光学元件保持器至少能在第一光学元件位于路径上的第一姿势与第二光学元件位于路径上的第二姿势之间旋转。

技术研发人员：滨尾保,森泽且广,泉谷悠介,中串茂幸,若山育央,友松克之
受保护的技术使用者：大塚电子株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17