一种光学检测设备位置矫正系统及其方法与流程

本发明是关于光学检测，特别是关于一种光学检测设备位置矫正系统及其方法。

背景技术：

1、目前，在面板、晶圆等元件的自动光学检测设备中，由于客户需求的多样化，需要配备多种镜头，目前通常使用标准片来进行镜头位置一致性的校准，但受限于传送标准片的机械臂的位置精度，以及标准片在机械臂卡夹中的位置不确定性，故存在一定的动态偏差，标准片的位置容易存在的偏移，导致光学检测设备的镜头校准出偏差，降低镜头在扫描定位缺陷位置的准确性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光学检测设备位置矫正系统及其方法，其能够避免标准片的位置容易产生偏差，从而避免光学检测设备的镜头校准出偏差，降低镜头在扫描定位缺陷位置的准确性的情况。

2、为实现上述目的，本发明提供了一种光学检测设备位置矫正系统，所述光学检测设备包括成像装置和机台，所述成像装置位于机台的上端，所述成像装置用于生成的数字图像，光学检测设备位置矫正系统包括成像模块、校准工件和运动组件，所述成像模块用于上传数字图像，并将数字图像和系统图像进行比对，所述成像模块包括指令生成模块，所述指令生成模块根据成像模块比对的结果生成指令，所述校准工件安装在机台的一侧，所述校准工件的上端面设置有校准区，所述校准工件用于校准镜头，所述运动组件设置在校准工件的下端，所述运动组件依据指令生成模块的指令带动校准工件运动。

3、在一个或多个实施方式中，所述校准区包括第一标记面和第二标记面，所述第一标记面和第二标记面相邻设置，所述第一标记面上设置有多个标记组，单个标记组形成覆盖区，多个标记组形成的覆盖区自外向内依次缩小。

4、在一个或多个实施方式中，所述标记组包括第一标记组、第二标记组和第三标记组，所述第二标记组设置在第一标记组和第三标记组之间。

5、在一个或多个实施方式中，所述标记组的数量为2～5组。

6、在一个或多个实施方式中，所述标记组由四个标记组成，四个所述标记形成矩形覆盖区。

7、在一个或多个实施方式中，所述标记为十字形标记。

8、在一个或多个实施方式中，多个所述标记组的十字形标记大小均不相同。

9、在一个或多个实施方式中，多个所述标记组的十字形标记大小与标记组所形成的覆盖区等比例缩放。

10、为实现上述目的，本发明提供了一种光学检测设备位置矫正方法，包括以下步骤：

11、s1、获取系统图像；

12、s2、成像装置拍摄标记组并获得数字图像，将数字图像与系统图像进行对比，获得偏差值，根据偏差值调整成像装置的位置；

13、s3、计算出校准工件的中心位置并获取中间标记图像，如果中心标记图案与系统图像完全匹配，完成系统校准，如果中心标记图案与系统图像不匹配，则重复步骤s2；

14、s4、通过转塔转动各个镜头使其对准校准工件，并重复获取校准工件的中心图案；

15、s5、将逆时针获取的中心标记图案与顺时针获取的中心标记图案对比，如果逆时针获取的中心标记图案与顺时针获取的中心标记图案完全匹配，则表示通过系统校准，并将镜头物理偏离角度应用到系统，反之则重复步骤s4。

16、在一个或多个实施方式中，重复所述步骤s2时，所述成像装置拍摄的标记组所形成的覆盖区的面积由大依次变小。

17、与现有技术相比，根据本发明的一种光学检测设备位置矫正系统及其方法能够避免标准片的位置容易产生偏差，从而避免光学检测设备的镜头校准出偏差，降低镜头在扫描定位缺陷位置的准确性的情况。

技术特征：

1.一种光学检测设备位置矫正系统，所述光学检测设备包括成像装置和机台，所述成像装置位于机台的上端，所述成像装置用于生成的数字图像，其特征在于，光学检测设备位置矫正系统包括：

2.如权利要求1所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，所述校准区包括第一标记面和第二标记面，所述第一标记面和第二标记面相邻设置，所述第一标记面上设置有多个标记组，单个标记组形成覆盖区，多个标记组形成的覆盖区自外向内依次缩小。

3.如权利要求2所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，所述标记组包括第一标记组、第二标记组和第三标记组，所述第二标记组设置在第一标记组和第三标记组之间。

4.如权利要求2所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，所述标记组的数量为2～5组。

5.如权利要求2或3所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，所述标记组由四个标记组成，四个所述标记形成矩形覆盖区。

6.如权利要求4所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，所述标记为十字形标记。

7.如权利要求6所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，多个所述标记组的十字形标记大小均不相同。

8.如权利要求7所述的一种光学检测设备位置矫正系统，其特征在于，多个所述标记组的十字形标记大小与标记组所形成的覆盖区等比例缩放。

9.一种光学检测设备位置矫正方法，其特征在于，包括以下步骤：

10.如权利要求9所述的一种光学检测设备位置矫正方法，其特征在于，重复所述步骤s2时，所述成像装置拍摄的标记组所形成的覆盖区的面积由大依次变小。

技术总结
本发明公开了一种光学检测设备位置矫正系统及其方法，光学检测设备包括成像装置和机台，成像装置位于机台的上端，成像装置用于生成的数字图像，光学检测设备位置矫正系统包括成像模块、校准工件和运动组件，成像模块用于上传数字图像，并将数字图像和系统图像进行比对，成像模块包括指令生成模块，指令生成模块根据成像模块比对的结果生成指令，校准工件安装在机台的一侧，校准工件的上端面设置有校准区，运动组件设置在校准工件的下端。与现有技术相比，根据本发明的一种光学检测设备位置矫正系统及其方法能够避免标准片的位置容易产生偏差，从而避免光学检测设备的镜头校准出偏差，降低镜头在扫描定位缺陷位置的准确性的情况。

技术研发人员：顾振鹏,凌栋
受保护的技术使用者：苏州康钛检测科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15