一种基板面型测量方法以及系统与流程

本发明属于光学精密测量，具体涉及一种基板面型测量方法以及系统。

背景技术：

1、目前，在ar衍射光波导的制备过程中，随着纳米压印及光刻技术的不断发展，对玻璃基板的规格要求也越来越严苛。以玻璃基板的面型为例，玻璃基板的面型指标需要满足ar衍射光波导的衍射波面的设定要求，因此，在ar衍射光波导的生产制程检验中，保证玻璃基板的面型指标的测量准确性尤为关键。

2、现有一般采用夹具夹持水平放置的玻璃基板，采用激光干涉仪对玻璃基板的面型进行测量，一方面，在将玻璃基板水平放置夹具的过程中，容易划伤玻璃基板，另一方面，夹具对玻璃基板夹持过程中会导致玻璃基板产生机械应力引起玻璃基板发生形变，从而干扰激光干涉仪对玻璃基板面型测量数据的准确性。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的缺陷，本发明提供一种基板面型测量方法以及系统。

2、本发明通过如下技术方案实现：

3、本发明提供一种基板面型测量方法，包括如下步骤：

4、采用夹具组件夹持基板，在夹具组件夹持基板过程中，实时测量并显示基板的应力值；

5、调整夹具组件与激光干涉仪的相对位置，使得夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求；

6、基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力；

7、采用所述激光干涉仪对调整应力的基板测量基板面型，输出基板面型数据。

8、进一步的，所述采用夹具组件夹持基板，在夹具组件夹持基板过程中，实时测量并显示基板的应力值，包括如下步骤：

9、在夹具组件上设置应力传感单元；

10、采用位置调整机构沿靠近基板方向移动夹具组件，以使得夹具组件夹持基板；

11、在夹具组件夹持基板的过程中，所述应力传感单元实时感应基板的应力值，并将实时感应的所述应力值发送给处理单元；

12、所述处理单元对所述应力值进行实时显示。

13、进一步的，所述夹具组件包括夹持底板和夹持盖板；

14、所述夹持底板和夹持盖板之间夹持基板；

15、所述夹持盖板与基板接触位置设置所述应力传感单元。

16、进一步的，所述夹持盖板与基板接触位置在多个设定位置设置所述应力传感单元。

17、进一步的，所述采用位置调整机构沿靠近基板方向移动夹具组件夹持基板，包括如下步骤：

18、在位置调整机构的一端固定竖向放置的夹持底板，在位置调整机构的另一端固定竖向放置的夹持盖板；

19、将基板竖向放置并与夹持底板靠近夹持盖板一侧接触；

20、驱动位置调整机构带动夹持盖板沿靠近基板方向移动，直至夹持盖板与夹持底板对基板实现夹持为止。

21、进一步的，还包括：

22、在所述处理单元设置应力阈值；

23、当所述处理单元显示的应力值大于所述应力阈值时，所述处理单元向所述位置调整机构发送停止移动控制信号，所述位置调整机构接收所述停止移动控制信号后，位置调整机构停止带动夹持盖板沿靠近基板方向移动。

24、进一步的，所述调整夹具组件与激光干涉仪的相对位置，使得夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求，包括如下步骤：

25、将激光干涉仪置于设定位置；

26、启动激光干涉仪处于对点模式功能窗口；

27、激光干涉仪向基板发射第一点光源，第一点光源显示于所述对点模式功能窗口中十字线的交叉中心位置；

28、基板接收所述第一点光源后向激光干涉仪反射第二点光源，第二点光源能够出现于所述对点模式功能窗口内；

29、驱动所述位置调整机构的角度调整部件运作，使得位置调整机构带动夹具组件移动实现所述夹具组件与激光干涉仪的相对位置调整，当第一点光源与第二点光源重合时，夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求。

30、进一步的，基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力，包括如下步骤：

31、启动激光干涉仪处于条纹模式功能窗口；

32、向处理单元输入第一控制指令，所述处理单元根据所述第一控制指令向位置调整机构发送反向移动控制信号，所述位置调整机构根据所述反向移动控制信号沿远离基板方向移动夹持盖板；

33、当处理单元显示的应力值接近于0，且激光干涉仪中的显示条纹状态不再变化，则向处理单元输入第二控制指令，所述处理单元根据所述第二控制指令向位置调整机构发送停止移动控制信号，所述位置调整机构根据所述停止移动控制信号停止移动夹持盖板。

34、进一步的，所述夹持盖板的边缘设置应力调整部件；

35、在夹持盖板与夹持底板对基板进行夹持操作时，夹持盖板的边缘通过应力调整部件与夹持底板的边缘抵接；

36、当应力调整部件沿远离夹持底板方向移动时，能够释放基板应力。

37、进一步的，所述基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力，还包括如下步骤：

38、当处理单元显示的应力值接近于0，且激光干涉仪中的显示条纹状态还处于变化状态，则向处理单元输入第三控制指令；

39、所述处理单元根据所述第三控制指令向位置调整机构发送停止移动控制信号；

40、所述位置调整机构根据所述停止移动控制信号停止移动夹持盖板；

41、基于所述处理单元显示的应力值，调节夹持盖板上的所述应力调整部件向远离夹持底板方向移动，直至激光干涉仪中的显示条纹状态不再变化。

42、对应的，本发明还提供一种基板面型测量系统，包括夹具组件、应力测量显示组件以及激光干涉仪；

43、所述夹具组件用于夹持基板；

44、所述应力测量显示组件在夹具组件夹持基板过程中，实时测量并显示基板的应力值；

45、通过调整夹具组件与激光干涉仪的相对位置，使得夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求；

46、基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力；

47、所述激光干涉仪对调整应力的基板测量基板面型，输出基板面型数据。

48、进一步的，还包括位置调整机构，所述位置调整机构沿靠近基板方向移动夹具组件，以使得夹具组件夹持基板；

49、所述应力测量显示组件包括应力传感单元以及处理单元；

50、所述应力传感单元的输入端设置在所述夹具组件上，所述应力传感单元的输出端与所述处理单元的输入端连接；

51、在夹具组件夹持基板的过程中，所述应力传感单元实时感应基板的应力值，并将实时感应的所述应力值发送给处理单元，所述处理单元对所述应力值进行实时显示。

52、进一步的，所述夹具组件包括夹持底板和夹持盖板；

53、所述夹持底板和夹持盖板之间夹持基板；

54、所述夹持盖板与基板接触位置设置所述应力传感单元。

55、进一步的，所述夹持盖板与基板接触位置在多个设定位置设置所述应力传感单元。

56、进一步的，

57、所述位置调整机构的一端固定竖向放置的夹持底板，所述位置调整机构的另一端固定竖向放置的夹持盖板；

58、在对基板进行夹持操作时，基板竖向放置并与夹持底板靠近夹持盖板一侧接触，驱动位置调整机构带动夹持盖板沿靠近基板方向移动，直至夹持盖板与夹持底板对基板实现夹持为止。

59、进一步的，

60、所述处理单元的输出端与所述位置调整机构通信连接；

61、所述处理单元设置应力阈值；

62、当所述处理单元显示的应力值大于所述应力阈值时，所述处理单元向所述位置调整机构发送停止移动控制信号，所述位置调整机构接收所述停止移动控制信号后，位置调整机构停止带动夹持盖板沿靠近基板方向移动。

63、进一步的，通过调整夹具组件与激光干涉仪的相对位置，使得夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求，包括如下步骤：

64、将激光干涉仪置于设定位置；

65、启动激光干涉仪处于对点模式功能窗口；

66、激光干涉仪向基板发射第一点光源，第一点光源显示于所述对点模式功能窗口中十字线的交叉中心位置；

67、基板接收所述第一点光源后向激光干涉仪反射第二点光源，第二点光源能够出现于所述对点模式功能窗口内；

68、驱动所述位置调整机构的角度调整部件运作，使得位置调整机构带动夹具组件移动实现所述夹具组件与激光干涉仪的相对位置调整，当第一点光源与第二点光源重合时，夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求。

69、进一步的，所述基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力，包括如下步骤：

70、启动激光干涉仪处于条纹模式功能窗口；

71、向处理单元输入第一控制指令，所述处理单元根据所述第一控制指令向位置调整机构发送反向移动控制信号，所述位置调整机构根据所述反向移动控制信号沿远离基板方向移动夹持盖板；

72、当处理单元显示的应力值接近于0，且激光干涉仪中的显示条纹状态不再变化，则向处理单元输入第二控制指令，所述处理单元根据所述第二控制指令向位置调整机构发送停止移动控制信号，所述位置调整机构根据所述停止移动控制信号停止移动夹持盖板。

73、进一步的，所述夹持盖板的边缘设置应力调整部件；

74、在夹持盖板与夹持底板对基板进行夹持操作时，夹持盖板的边缘通过应力调整部件与夹持底板的边缘抵接；

75、当应力调整部件沿远离夹持底板方向移动时，能够释放基板应力。

76、进一步的，所述基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力，还包括如下步骤：

77、当处理单元显示的应力值接近于0，且激光干涉仪中的显示条纹状态还处于变化状态，则向处理单元输入第三控制指令；

78、所述处理单元根据所述第三控制指令向位置调整机构发送停止移动控制信号；

79、所述位置调整机构根据所述停止移动控制信号停止移动夹持盖板；

80、基于所述处理单元显示的应力值，调节夹持盖板上的所述应力调整部件向远离夹持底板方向移动，直至激光干涉仪中的显示条纹状态不再变化。

81、和现有技术比，本发明的技术方案具有如下有益效果：

82、本发明提供一种基板面型测量方法，首先，采用夹具组件夹持基板，在夹具组件夹持基板过程中，实时测量并显示基板的应力值；其次，调整夹具组件与激光干涉仪的相对位置，使得夹具组件与激光干涉仪的位置关系满足激光干涉仪对基板面型的测量需求；再者，基于显示的应力值，通过改变夹具组件对基板的夹持力调整基板产生的应力；然后，采用激光干涉仪对调整应力的基板测量基板面型，输出基板面型数据。本发明的基板面型测量方法，在夹具组件夹持基板过程中将基板产生的应力进行调整释放，使得激光干涉仪对调整应力的基板测量基板面型，输出基板面型数据，避免因基板应力引发的基板形变而影响激光干涉仪对基板面型测量数据的准确性，提高激光干涉仪对基板面型测量数据的精准度。