一种真空紫外谱仪调试方法及系统与流程

本发明属于光学准直，特别涉及一种真空紫外谱仪调试方法及系统。

背景技术：

1、“真空紫外光谱仪”就是对进入“真空紫外”段的光谱，在真空条件下完成测量的系统。由于国内市场尚无产品，进口同类产品又十分昂贵；因此，具有真空紫外段光谱的电光源器件的开发、研制受到限制；而极具应用价值、市场急需的高可靠、长寿命、新的电光源器件迟迟不能问世，其应用的领域不能拓展。

2、对于光学准直，对整体精度要求极高，特别是对光栅扫描型谱仪系统，整个系统准直精度要求更高。目前对于此类型真空紫外谱仪准直方案无明确说明。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中至少一个问题，本发明提出一种真空紫外谱仪调试方法及系统。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种真空紫外谱仪调试方法，包括以下步骤：

4、搭建水准仪，将调试基板调整水平并固定；

5、在调试基板上作辅助线；

6、基于辅助线安装经纬仪；

7、基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件。

8、优选地，在调试基板上做辅助线，包括以下步骤：

9、设定矩形的调试基板的左下角为原点，建立平面坐标系；

10、以坐标x1，y1为起点作第一辅助线，所述第一辅助线为直线；

11、以坐标x2，y2为起点作第二辅助线，所述第二辅助线为直线，所述第二辅助线与第一辅助线相交；

12、以坐标x3，y3为起点作第三辅助线，所述第三辅助线为直线；

13、以坐标x4，y4为起点作第四辅助线，所述第四辅助线为直线；

14、以坐标x5，y5为起点作第五辅助线，所述第五辅助线为直线。

15、优选地，所述x1的取值为0.5l～0.6l，y1的取值为0，l为调试基板的长度；

16、x2的取值为0.1l～0.2l，y2取值为h，h为调试基板的宽度；

17、x3的取值为l，y3的取值为0.5h～0.8h；

18、x4的取值为0.3l～0.5l，y4的取值为0；

19、x5的取值为l，y5的取值为0.4h～0.7h。

20、优选地，x1的取值为0.600l，x2的取值为0.105l，y3的取值为0.688h，x4的取值为0.368l，y5的取值为0.629h。

21、优选地，所述第一辅助线与水平方向的夹角为0～150°；

22、所述第二辅助线与水平方向夹角为60°～70°；

23、所述第三辅助线与水平方向平行；

24、所述第四辅助线与水平方向垂直；

25、所述第五辅助线与水平方向平行。

26、优选地，所述第一辅助线与水平方向夹角为147.56°；

27、所述第二辅助线与水平方向夹角为63.66°。

28、优选地，基于辅助线安装经纬仪，包括以下步骤：

29、在第一辅助线起点处安装第一经纬仪；

30、在第二辅助线起点处安装第二经纬仪；

31、在第三辅助线起点处安装第三经纬仪；

32、在第四辅助线起点处安装第四经纬仪；

33、在第五辅助线起点处安装第五经纬仪。

34、优选地，基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件，包括以下步骤：

35、第一经纬仪沿第一辅助线方向发出第一模拟光，调整模拟光且高度与水准仪确定的高度一致；

36、在第一辅助线和第二辅助线相交处安装前置镜，并调整前置镜，使第一经纬仪发出的第一模拟光照到前置镜中心，且前置镜反射出的第一模拟光与第二经纬仪在垂直于调试基板的方向一致，与水准仪高度一致；

37、沿第二辅助线方向安装入射狭缝；

38、第三经纬仪沿第三辅助线方向发出第三模拟光，在所述第三模拟光与第一模拟光的交点处安装光栅旋转台，所述光栅旋转台用于安装光栅；

39、在第三辅助线与第四辅助线相交处安装第一准直镜，调节第一准直镜的位置，使光栅的第一模拟光照射到第一准直镜的中心，且第一准直镜反射的第一模拟光与第四经纬仪在垂直于调试基板的方向一致，且与水准仪确定的高度一致；

40、沿第三辅助线方向安装出射狭缝；

41、在第四辅助线与第五辅助线相交处安装第二准直镜，调节第二准直镜位置，使第一准直镜反射的第一模拟光照射到第二准直镜中心，且第二准直镜反射的第一模拟光与第五经纬仪在垂直于调试基板的方向一致，且与水准仪确定的高度一致；

42、沿第五辅助线方向依次安装斩波器和样品，使第二准直镜反射的模拟光照射到样品中心，同时转动样品，使样品旋转任意角度，样品反射的第一模拟光高度与水准仪确定的高度一直一致。

43、优选地，所述斩波器与第二准直镜反射的第一模拟光的夹角为45°。

44、一种真空紫外谱仪调试系统，包括：

45、搭建单元，用于搭建水准仪，将调试基板调整水平并固定；

46、辅助线单元，用于在调试基板上作辅助线；

47、模拟光单元，用于基于辅助线安装经纬仪；

48、装配单元，用于基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件。

49、本发明的有益效果：

50、本发明在光学准直的过程中，在调试基板上作出多个辅助线，利用辅助线对经纬仪进行定位，然后通过经纬仪的模拟光进行设备定位，从而提高了整个系统的精度。

51、本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，在调试基板(1)上做辅助线，包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，所述x1的取值为0.5l～0.6l，y1的取值为0，l为调试基板(1)的长度；

4.根据权利要求3所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，x1的取值为0.600l，x2的取值为0.105l，y3的取值为0.688h，x4的取值为0.368l，y5的取值为0.629h。

5.根据权利要求2-4任一项所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，所述第一辅助线(11)与水平方向的夹角为0～150°；

6.根据权利要求5所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，所述第一辅助线(11)与水平方向夹角为147.56°；

7.根据权利要求2所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，基于辅助线安装经纬仪，包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件，包括以下步骤：

9.根据权利要求8所述的一种真空紫外谱仪调试方法，其特征在于，所述斩波器(9)与第二准直镜(8)反射的第一模拟光的夹角为45°。

10.一种真空紫外谱仪调试系统，其特征在于，包括：

技术总结
本发明属于光学准直技术领域，提供了一种真空紫外谱仪调试方法及系统，其中方法包括：搭建水准仪，将调试基板调整水平并固定；在调试基板上作辅助线，各辅助线之间或平行或相交，然后基于多个辅助线的交点位置安装多个经纬仪；基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件，零部件包括光源、前置镜和准直镜等。本发明在光学准直的过程中，在调试基板上作出多个辅助线，利用辅助线对经纬仪进行定位，然后通过经纬仪的模拟光进行设备定位，从而提高了整个系统的精度。

技术研发人员：耿继宝,张志杰,李长松,习建博,李朝阳
受保护的技术使用者：安徽创谱仪器科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25