具有改进的工作电压范围的半导体光电倍增器的制作方法

文档序号:37931845发布日期:2024-05-11 00:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体光电倍增器(100),包括:

2.根据权利要求1所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第二类型的微单元(225)位于所述阵列的第二位置处,所述第二位置是所述阵列的外周边的拐角位置,并且所述第一类型的微单元(125)位于所述阵列的第一位置处,所述第一位置不位于所述阵列的所述外周边的拐角位置处。

3.根据权利要求1所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第一几何形状和所述第二几何形状中的至少一个限定弓形形状。

4.根据权利要求3所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第二几何形状限定弓形形状,所述第一几何形状以小于所述第二几何形状的半径限定弓形形状或非弓形形状。

5.根据权利要求3所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第一几何形状和所述第二几何形状两者限定弓形形状。

6.根据权利要求3所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第一几何形状和所述第二几何形状限定不同半径的弓形形状。

7.根据权利要求1所述的半导体光电倍增器(100),其中与位于所述阵列的、在其中具有电场低于预定电平的区域的位置处的所述微单元相比,位于所述阵列的、在其中具有所述电场高于预定电平的区域的位置处的所述微单元具有更低的击穿。

8.根据权利要求7所述的半导体光电倍增器(100),其中所述预定电平在20伏至60伏的范围内。

9.根据权利要求1所述的半导体光电倍增器(100),其中所述第一结区的面积和所述第二结区的面积不同。

10.根据权利要求1所述的半导体光电倍增器(100),其中与覆盖所述第二类型的微单元的一层或多层材料相关联的透射率低于与覆盖所述第一类型的微单元的一层或多层材料相关联的透射率。


技术总结
本公开涉及一种半导体光电倍增器(100),其包括互连微单元的阵列;其中所述阵列至少包括:具有第一几何形状的第一结区的第一类型的微单元(125);以及具有第二几何形状的第二结区的第二类型的微单元(225)。

技术研发人员:P·M·戴利,J·C·杰克逊
受保护的技术使用者:森斯尔科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/10
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