冷却板及测试设备的制作方法

本技术涉及半导体测试，特别是涉及一种冷却板及测试设备。

背景技术：

1、芯片在出货前，需要经过设计、制造及测试等多个环节。在对芯片进行测试时，常通过测试设备完成。测试设备包括电路板及冷却板，芯片与电路板电连接，冷却板与电路板贴合以控制电路板的温度，通过电路板来测试芯片的性能。

2、而在不同的测试设备中，其所采用的冷却板对冷却液所产生的流动阻力(流阻)不同。如一些老机型中，冷却板的流阻较大，而一些新机型中，冷却板的流阻较小，一种冷却板不能满足适配不同机型的需求，造成使用范围受限。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对传统的冷却板的使用范围受限的问题，提供一种扩大冷却板的使用范围的冷却板及测试设备。

2、一种冷却板，所述冷却板包括冷却主体和增阻结构，所述冷却主体内设有供冷却液流动的冷却流道，所述冷却流道具有形成于所述冷却主体上的入口端和出口端；所述增阻结构包括至少一个增阻件；

3、所述入口端可拆卸地连接有所述增阻件，以使得冷却液经所述增阻结构流向所述冷却流道；和/或所述出口端可拆卸地连接有所述增阻件，以使得冷却液经所述增阻结构流出所述冷却流道；

4、所述增阻件在与所述入口端和/或所述出口端连接时能够增大所述冷却板的流阻。

5、在其中一个实施例中，所述增阻结构包括两个所述增阻件，两个所述增阻件分别与所述入口端及所述出口端连通。

6、在其中一个实施例中，所述增阻件具有增阻流道，所述增阻流道的横截面积小于所述冷却流道的横截面积。

7、在其中一个实施例中，所述增阻件具有与所述增阻流道连通的过渡流道，所述过渡流道设于所述增阻流道的至少一端；

8、所述过渡流道的横截面积自靠近所述增阻流道的一端到远离所述增阻流道的另一端逐渐增大。

9、在其中一个实施例中，所述增阻件的一端具有第一螺纹部，所述第一螺纹部与所述冷却主体螺纹连接。

10、在其中一个实施例中，所述冷却流道包括第一流道、多条第二流道及第三流道；

11、所述第一流道的一端形成所述入口端，多条所述第二流道相互并联且一端均与所述第一流道远离所述入口端的另一端连通；所述第三流道形成所述出口端，多条所述第二流道的另一端与所述第三流道远离所述出口端的另一端连通；每条所述第二流道内设有换热件。

12、在其中一个实施例中，每条所述第二流道内沿其延伸方向间隔设有多个所述换热件，每个所述换热件沿所述第二流道的宽度方向上形成多条子流道，每相邻所述换热件的所述子流道在所述第二流道的延伸方向上错位。

13、在其中一个实施例中，所述换热件包括多块换热板，每相邻两块所述换热板之间形成一条所述子流道或者所述换热板与所述冷却流道的流道壁之间形成一条所述子流道。

14、在其中一个实施例中，所述冷却主体包括基体及盖板，所述盖板盖设于所述基体上，并与所述基体共同形成所述冷却流道。

15、一种测试设备，包括电路板和如上述的冷却板，所述冷却板用于冷却所述电路板。

16、上述冷却板及测试设备，在一些机型中需要冷却板具有较大流阻时，在入口端和/或出口端连接增阻件即可实现，而在一些机型中需要冷却板具有较小流阻时，则将增阻件拆离冷却主体即可实现，使得冷却板能够满足适配不同机型的需求，扩大了冷却板的使用范围。

技术特征：

1.一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括冷却主体(10)和增阻结构，所述冷却主体(10)内设有供冷却液流动的冷却流道(11)，所述冷却流道(11)具有形成于所述冷却主体(10)上的入口端(111)和出口端(112)；所述增阻结构包括至少一个增阻件(20)；

2.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述增阻结构包括两个所述增阻件(20)，两个所述增阻件(20)分别与所述入口端(111)及所述出口端(112)连通。

3.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述增阻件(20)具有增阻流道(21)，所述增阻流道(21)的横截面积小于所述冷却流道(11)的横截面积。

4.根据权利要求3所述的冷却板，其特征在于，所述增阻件(20)具有与所述增阻流道(21)连通的过渡流道(22)，所述过渡流道(22)设于所述增阻流道(21)的至少一端；

5.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述增阻件(20)的一端具有第一螺纹部(23)，所述第一螺纹部(23)与所述冷却主体(10)螺纹连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的冷却板，其特征在于，所述冷却流道(11)包括第一流道(113)、多条第二流道(114)及第三流道(115)；

7.根据权利要求6所述的冷却板，其特征在于，每条所述第二流道(114)内沿其延伸方向间隔设有多个所述换热件(15)，每个所述换热件(15)沿所述第二流道(114)的宽度方向上形成多条子流道(151)，每相邻所述换热件(15)的所述子流道(151)在所述第二流道(114)的延伸方向上错位。

8.根据权利要求7所述的冷却板，其特征在于，所述换热件(15)包括多块换热板(152)，每相邻两块所述换热板(152)之间形成一条所述子流道(151)或者所述换热板(152)与所述冷却流道(11)的流道壁之间形成一条所述子流道(151)。

9.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述冷却主体(10)包括基体(12)及盖板(13)，所述盖板(13)盖设于所述基体(12)上，并与所述基体(12)共同形成所述冷却流道(11)。

10.一种测试设备，其特征在于，包括电路板(200)和如权利要求1-9任一项所述的冷却板，所述冷却板用于冷却所述电路板(200)。

技术总结
本技术涉及一种冷却板及测试设备，冷却板包括冷却主体和增阻结构，冷却主体内设有供冷却液流动的冷却流道，冷却流道具有形成于冷却主体上的入口端和出口端；增阻结构包括至少一个增阻件；入口端可拆卸地连接有增阻件，以使得冷却液经增阻结构流向冷却流道；和/或出口端可拆卸地连接有增阻件，以使得冷却液经增阻结构流出冷却流道；增阻件在与入口端和/或出口端连接时能够增大冷却板的流阻。在一些机型中需要冷却板具有较大流阻时，在入口端和/或出口端连接增阻件即可实现，而在一些机型中需要冷却板具有较小流阻时，则将增阻件拆离冷却主体即可实现，扩大了冷却板的使用范围，使得冷却板能够满足适配不同机型的需求。

技术研发人员：周聪聪,陈杰,童仲尧,邱国志
受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司
技术研发日：20230327
技术公布日：2024/1/13