检测装置及划片机的制作方法

本申请涉及划片设备，具体而言，涉及一种检测装置及划片机。

背景技术：

1、划片机是集成电路生产后道不可或缺的设备，其主要功能是将芯片切割成一个个独立的单独元件。国内外划片机对划片质量的检查如崩碎、切偏等，一般采用两种方式：(1)操作人员根据经验识别；(2)设备自动刀痕检测。划片机自动刀痕检测功能，检测原理是ccd相机取得被划切产品和划切切痕图像，通过对图像进行灰度处理、二值化处理得到黑白二值图像，通过算法对获得切痕区域、产品区域和崩碎区域，对比预设值判断是否符合切割质量。

2、目前，自动检测过程受产品表面结构差异、光源强度和光照角度影响，使得ccd取得的图像差异大，影响检测的准确性。现有检测设备使用的光源大多为led环形光源，其光源照射角度与检测对象近乎垂直，光源也为单通道控制，对于多样性检测对象的并不友好。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种检测装置，通过在不变动软件算法的基础上，根据待测物的产品特性，从光源的照明元件在安装板上的安装角度方向、分布、以及相对待测物的高度等方面进行优化改进，有效地提高了刀痕检测准确性及对检测对象的兼容性，从而解决上述技术问题。

2、本申请实施例提供了一种检测装置，所述装置用于检测待测物；所述装置包括：光源、相机成像系统；所述光源包括：安装板和分布设置在所述安装板上的多组照明元件；所述相机成像系统设置在所述待测物的正上方；所述安装板设置在所述相机成像系统的光源接收端，并距离所述待测物预设高度；所述安装板上按照所述待测物对角线方向分布的多组照明元件照射所述待测物的方向与竖直方向呈预设角度；其中，所述光源用于照射所述待测物，以产生反射光；所述相机成像系统用于根据所述反射光成像并进行痕迹检测。

3、在上述实现过程中，通过对光源的照明元件在安装板上的安装角度方向、分布，以及相对待测物的高度等方面进行改进优化，有效地提高了痕迹检测准确性，以及对多种检测物的兼容性。

4、可选地，所述光源接收端包括：光线通道和光源支架；所述光源支架环绕于所述光线通道；所述安装板包括：环形安装板部分和空心圆部分；所述环形安装板包围于所述空心圆部分的外围区域；所述环形安装板按照所述待测物对角线方向固定安装在所述光源支架上；所述空心圆部分的外径适配于所述光线通道的外径。

5、在上述实现过程中，通过将安装板设置为环形，光源的照明元件位于环形安装板上，中间空心圆部分提供一个光线通道，实现光源的安装角度方向、分布的改进优化，有效地提高了痕迹检测准确性，以及对多种检测对象的兼容性。

6、可选地，所述环形安装板具有预设直径；所述预设直径与所述预设高度相关。

7、在上述实现过程中，通过优化光源的预设直径和预设高度，可以提高待测物表面痕迹检测的准确性和稳定性。

8、可选地，所述环形安装板包括：按照所述待测物对角线方向分布的多个照射区域，以及位于所述多个照射区域之间的多个间隔区域；所述多个照射区域对应设置相应数量的照明元件。

9、在上述实现过程中，按照对角线区域设置多个照明元件，可以改变或优化现有光源中照明元件的分布和高度，可以使待测物区域和痕迹区域图像界线分明，能够为后续检测提供良好的相机成像图像，提高了检测准确性。

10、可选地，所述照明元件包括多个照明单元；所述多个照明单元等间距设置。

11、在上述实现过程中，等间距设置的照明元件对待测物进行照射时，能够实现预设角度的均匀照射，能够为后续痕迹检测提供良好的相机成像图像，降低了成像的模糊度，提高了图像的亮度和检测准确性。

12、可选地，所述照明元件为led灯珠。

13、在上述实现过程中，通过设置led灯珠作为照明元件，成本低，亮度高，提高了检测装置的使用性和实用性。

14、可选地，所述照明元件的散射角度范围为15°至20°。

15、在上述实现过程中，光源的散射角度范围为15°至20°，具有高指向性，有利于照射待测物形成一定的预设角度，提高了检测装置的适用性。

16、可选地，所述预设角度的范围为30°至45°。

17、在上述实现过程中，这个范围的照射光线更容易根据成像图像的灰值度差异对待测物区域和痕迹区域进行区分，从而提高痕迹检测的准确性。

18、可选地，所述相机成像系统包括：ccd相机、放大镜、光线通道和光源支架；所述放大镜安装于所述ccd相机底部，所述放大镜下方安装所述光线通道的光源支架；所述光源按照所述待测物对角线方向固定安装在所述光源支架上。

19、在上述实现过程中，通过将光源按照待测物对角线方向固定安装在光源支架上进行照射以及使用ccd相机系统进行成像，为后续检测提供良好的ccd图像，提高了检测准确性。

20、第二方面，本申请提供了一种划片机，所述划片机包括：检测装置、刀具切割装置；所述检测装置与刀具切割装置电连接；所述检测装置用于提供待测物的图像痕迹检测信息；所述刀具切割装置用于根据所述图像痕迹检测信息对所述待测物进行切割。

21、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图，作更多说明如下。

技术特征：

1.一种检测装置，其特征在于，所述装置用于检测待测物；所述装置包括：光源、相机成像系统；所述光源包括：安装板和分布设置在所述安装板上的多组照明元件；

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源接收端包括：光线通道和光源支架；所述光源支架环绕于所述光线通道；

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，其中，所述环形安装板具有预设直径；所述预设直径与所述预设高度相关。

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述环形安装板包括：按照所述待测物对角线方向分布的多个照射区域，以及位于所述多个照射区域之间的多个间隔区域；

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述照明元件包括多个照明单元；所述多个照明单元等间距设置。

6.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，其中，所述照明元件为led灯珠。

7.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，其中，所述照明元件的散射角度范围为15°至20°。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，其中，所述预设角度的范围为30°至45°。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述相机成像系统包括：ccd相机、放大镜、光线通道和光源支架；

10.一种划片机，其特征在于，所述划片机包括：权利要求1-9任一所述的检测装置、刀具切割装置；

技术总结
本申请提供一种检测装置及划片机，该装置用于检测待测物，涉及划片设备技术领域。该装置包括：光源、相机成像系统；光源包括：安装板和分布设置在安装板上的多组照明元件；相机成像系统设置在待测物的正上方；安装板设置在相机成像系统的光源接收端，并距离待测物预设高度；安装板上按照待测物对角线方向分布的多组照明元件照射待测物的方向与竖直方向呈预设角度；其中，光源用于照射待测物，以产生反射光；相机成像系统用于根据反射光成像并进行痕迹检测。通过对光源的照明元件在安装板上的安装角度方向、分布，以及相对待测物的高度等方面进行改进优化，有效地提高了痕迹检测的准确性，以及对多种检测物的兼容性。

技术研发人员：汤开荣,惠施祥,孙瑜,吴昊,李克忠,万里兮
受保护的技术使用者：成都万应微电子有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/14