老化测试支撑板及老化测试设备的制作方法

本技术涉及芯片测试领域，特别涉及一种老化测试支撑板及老化测试设备。

背景技术：

1、随着智能化普及及半导体市场的持续增长，芯片已经被广泛应用于智能穿戴、手机、车载电子、台式电脑等电子产品中。而电子产品的迷你化，芯片随着摩尔定律自身的集成度越来越高，芯片封装中追求更小的封装面积比，即在单位面积内能够放置更多的芯片。

2、但是，紧密相连的芯片在高密度的封装下，会产生更大的热功耗，导致电子产品的温度急剧上升，而高温会极大降低电子元器件的可靠性，从而引起电子产品失效。

3、为保证芯片的可靠性，芯片从设计到生产的过程中，通常需要采用老化测试板对芯片进行老化测试以保证芯片的可靠性。目前，在芯片的老化测试过程中，通常采用支撑板支撑老化测试板以进行老化测试。在进行老化测试时，老化测试板会经受高频率的机械臂按压，然而，由于支撑板的支撑强度不够，长时间的按压会导致老化测试板产生形变以缩短其使用寿命；并且，芯片及老化测试板产生大量的热量不能及时散出，并不断堆积，导致老化测试板过热而坏损。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种老化测试支撑板，旨在解决目前老化测试板使用寿命短且散热效果不好易坏损的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种老化测试支撑板，包括：

3、基板，用于支撑老化测试板，所述基板的支撑面设置有多个互相间隔的凹腔，每一所述凹腔内均设有加强筋，所述加强筋与所述凹腔的腔壁连接，所述基板背离其支撑面的另一面设置有多个散热孔，每一所述散热孔贯穿所述支撑面且至少与一个所述凹腔连通。

4、在一些实施例中，所述基板的支撑面上构造有多个并列间隔设置第一支撑条和多个并排间隔设置的第二支撑条，所述第一支撑条的延伸方向与所述第二支撑条的延伸方向不同，多个所述第一支撑条与多个所述第二支撑条相互交叉以围合形成多个所述凹腔。

5、在一些实施例中，所述加强筋为多个；

6、其中，多个所述加强筋交叉设置；或者，多个所述加强筋平行设置。

7、在一些实施例中，还包括：

8、两限位件，两所述限位件分别位于所述基板的相对两侧且与所述基板可拆卸连接，两所述限位件分别沿所述基板的长度方向延伸设置，用于对所述老化测试板进行限位。

9、在一些实施例中，两所述限位件上均设有多个卡槽，多个所述第一支撑条的一端与其中一所述限位件的多个所述卡槽一一对应插装配合，多个所述第一支撑条的另一端与其中另一所述限位件的多个所述卡槽一一对应插装配合。

10、在一些实施例中，两所述限位件上均具有沿其长度方向延伸设置的插槽，用于供老化测试板的两侧对应插入。

11、在一些实施例中，所述基板为散热金属板。

12、在一些实施例中，所述基板上还设有拉手。

13、本实用新型还提出一种老化测试设备，包括：

14、老化测试板，所述老化测试板设有多个芯片测试座，所述芯片测试座用于安装待测芯片；以及，

15、如前述所记载的老化测试支撑板，所述老化测试板放置于所述老化测试支撑板上。

16、在一些实施例中，所述老化测试设备还包括：

17、机械手，用于按压所述芯片测试座。

18、本实用新型的老化测试支撑板，用于支撑老化测试板，通过在基板的支撑面设置多个互相间隔的凹腔，每一凹腔内均设有加强筋，能够增强老化测试支撑板的强度与刚度，进而增强对于老化测试板的支撑强度，以减小老化测试板受机械手的按压产生的机械变形，从而延长老化测试板的使用寿命；并且，在基板背离其支撑面的另一面设置多个散热孔，每一散热孔至少与一个凹腔连通，使测试温箱的空气通过散热孔进入老化测试支撑板，进而与老化测试板底部充分接触，增强老化测试板的对流散热，以带走老化测试板上的热量，从而提高老化测试板的散热能力。

技术特征：

1.一种老化测试支撑板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的老化测试支撑板，其特征在于，所述基板的支撑面上构造有多个并列间隔设置第一支撑条和多个并排间隔设置的第二支撑条，所述第一支撑条的延伸方向与所述第二支撑条的延伸方向不同，多个所述第一支撑条与多个所述第二支撑条相互交叉以围合形成多个所述凹腔。

3.根据权利要求1或2所述的老化测试支撑板，其特征在于，所述加强筋为多个；

4.根据权利要求2所述的老化测试支撑板，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的老化测试支撑板，其特征在于，两所述限位件上均设有多个卡槽，多个所述第一支撑条的一端与其中一所述限位件的多个所述卡槽一一对应插装配合，多个所述第一支撑条的另一端与其中另一所述限位件的多个所述卡槽一一对应插装配合。

6.根据权利要求4所述的老化测试支撑板，其特征在于，两所述限位件上均具有沿其长度方向延伸设置的插槽，用于供老化测试板的两侧对应插入。

7.根据权利要求1所述的老化测试支撑板，其特征在于，所述基板为散热金属板。

8.根据权利要求1所述的老化测试支撑板，其特征在于，所述基板上设有拉手。

9.一种老化测试设备，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的老化测试设备，其特征在于，还包括：

技术总结
本技术公开一种老化测试支撑板及老化测试设备，该老化测试支撑板包括：基板，用于支撑老化测试板，基板的支撑面设置有多个互相间隔的凹腔，每一凹腔内均设有加强筋，加强筋与凹腔的腔壁连接，基板背离其支撑面的另一面设置有多个散热孔，每一散热孔贯穿支撑面且至少与一个凹腔连通。本技术的老化测试支撑板，通过在基板的支撑面设置多个互相间隔的凹腔，每一凹腔内均设有加强筋，能够增强老化测试支撑板的强度与刚度，进而增强对于老化测试板的支撑强度，以减小老化测试板受机械手的按压产生的机械变形，从而延长老化测试板的使用寿命；并且，在基板背离其支撑面的另一面设置多个散热孔，每一散热孔至少与一个凹腔连通，从而提高老化测试板的散热能力。

技术研发人员：张鑫,徐永刚,孙成思,何瀚,王灿
受保护的技术使用者：成都态坦测试科技有限公司
技术研发日：20230705
技术公布日：2024/2/29