多功能高精度的超声扫描显微镜的制作方法

文档序号:41355758发布日期:2025-03-21 15:00阅读:44来源:国知局

本发明涉及超声扫描显微镜,尤其涉及多功能高精度的超声扫描显微镜。


背景技术:

1、超声扫描显微镜是一种用于检测半导体芯片内部缺陷的装置,使用超声扫描显微镜的时候,把需要检测的芯片设置到操作台的顶部,然后通过电机带动螺纹杆转动,进而在限位杆的作用下带动移动块在螺纹杆的表面移动,进而通过气缸挤压滑动块在滑槽的内部滑动,这样可以把移动块底部设置的超声波发生器设置在芯片的顶部,通过显示屏可以很好的把超声波照射出来的图像显示出来,进而便于通过显示屏观察到半导体芯片内部的缺陷,因为操作台的顶部比较大,也可以把稍微比较大的工件设置在操作台的顶部,这样便于对比较大的工件进行检测,这样可以对不同装置进行多功能的高精度检测。

2、发明人在日常工作中发现超声扫描显微镜仍至少存在以下问题:使用超声扫描显微镜的时候,把需要检测的芯片设置到操作台的顶部,然后通过电机带动螺纹杆转动,进而在限位杆的作用下带动移动块在螺纹杆的表面移动,进而通过气缸挤压滑动块在滑槽的内部滑动,这样可以把移动块底部设置的超声波发生器设置在芯片的顶部,通过显示屏可以很好的把超声波照射出来的图像显示出来,进而便于通过显示屏观察到半导体芯片内部的缺陷,但是在实际的使用过程中,因为操作台设置在支撑箱的内部,并且半导体芯片的体积比较小,这样不能很好的把芯片设置在操作台的顶部。


技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的多功能高精度的超声扫描显微镜。

2、为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:多功能高精度的超声扫描显微镜,包括连接箱,所述连接箱的顶部设置有支撑箱,所述支撑箱的内壁开设有滑槽,所述支撑箱的内部设置有操作台,所述滑槽的内壁滑动连接有滑动块,所述滑动块的一侧固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆远离电机的一端转动插设在另一滑动块的一侧,所述第一螺纹杆的表面螺纹套设有移动块,所述滑动块的一侧固定连接有限位杆,所述限位杆滑动贯穿插设在移动块的一侧,所述移动块的底部设置有超声波发生器,所述滑槽的一侧设置有气缸,所述气缸远离支撑箱的一端和滑动块的一侧固定连接,所述连接箱的一侧设置有支撑台,所述支撑台的顶部设置有显示屏,所述显示屏的一侧设置有连接线,所述连接线远离显示屏的一端设置在连接箱的一侧,所述支撑台的底部均匀设置有移动轮,所述操作台的一侧设置有移动装置,所述连接箱的一侧设置有限位装置,所述移动装置包括滑动杆,所述操作台的一侧均匀开设有圆槽,所述滑动杆与圆槽的内壁滑动连接,所述滑动杆远离圆槽的一端和支撑箱内壁的一侧固定连接,所述操作台的顶部开设有连接槽,所述连接槽的内壁转动插设有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆表面的螺纹方向从中间往两边的方向相反,所述第二螺纹杆表面的螺纹套设有移动板,所述移动板与连接槽的内壁滑动连接。

3、上述部件所达到的效果为:使用移动装置的时候,手动通过操作台在滑动杆的表面滑动,进而使得操作台可以很好的把远离支撑箱的内部,然后控制第二螺纹杆转动,因为第二螺纹杆表面的螺纹方向从中间往两边相反,进而使得螺纹套设在第二螺纹杆表面的移动板同时向操作台的内部移动,进而可以很好的把检测的芯片限制在操作台的顶部,这样可以很方便的把芯片设置在操作台的顶部。

4、优选的,所述操作台的底部开设有收纳槽,所述收纳槽的内壁滑动连接有矩形板,所述收纳槽的顶部固定连接第五阻尼杆,所述第五阻尼杆的底部和矩形板的顶部固定连接,所述第五阻尼杆的表面套设有第五弹簧,所述第五弹簧的一端和收纳槽的顶部固定连接,所述第五弹簧靠近第五阻尼杆的一端和矩形板的顶部固定连接,所述矩形板底部的内壁固定连接有转动杆,所述转动杆的表面转动套设有滚筒,所述支撑箱的一侧固定连接有第一阻尼杆,所述第一阻尼杆远离支撑箱的一端固定连接有l型板,所述l型板远离第一阻尼杆的一端设置在操作台远离支撑箱的一侧,所述第一阻尼杆的表面套设有第一弹簧,所述第一弹簧的一端和支撑箱的一侧固定连接,所述第一弹簧靠近第一阻尼杆的一端和l型板的一侧固定连接。

5、上述部件所达到的效果为:当把操作台完全滑到支撑箱外面的时候,第五弹簧向远离收纳槽的方向挤压矩形板,进而把矩形板滑到收纳槽的内部,这样可以通过矩形板把操作台卡在支撑箱的外侧,并且当操作台在滑动杆表面移动的时候,滚筒被带动着在转动杆的表面移动,这样可以使得操作台很好的滑出支撑箱的内部,当把操作台滑到支撑箱内部之后,手动通过第一弹簧向靠近支撑箱的方向拉拽l型板的时候,很好的把l型板远离第一阻尼杆的一端限制在操作台远离支撑箱的一侧,这样可以很好的把操作台设置在支撑箱的内部。

6、优选的,所述移动板的一侧转动贯穿插设有圆杆,所述圆杆远离移动板的一端固定连接有圆板,所述圆板远离圆杆的一侧固定连接有第二阻尼杆,所述第二阻尼杆远离圆板的一端固定连接有挤压板,所述第二阻尼杆的表面套设有第二弹簧,所述第二弹簧的一端和圆板的一侧固定连接,所述第二弹簧远离第二阻尼杆的一端和挤压板的一侧固定连接,所述挤压板靠近第二阻尼杆的一侧均匀固定连接有橡胶杆,所述橡胶杆远离挤压板的一端设置在移动板的一侧。

7、上述部件所达到的效果为:当移动板挤压芯片的时候,圆杆靠近操作台中间的部分挤压芯片,当需要改变芯片角度的时候,手动控制圆杆转动,通过第二弹簧向靠近圆板的方向拉拽挤压板,进而使得橡胶杆挤压在移动板的一侧,这样可以很好的把圆杆固定在移动板的内部,进而便于把芯片固定在不同的角度。

8、优选的,所述操作台的顶部固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部转动贯穿插设有连接杆,所述连接杆的底部固定连接有第二锥齿轮,所述第二螺纹杆的一端固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮和第二锥齿轮相互啮合,所述支撑架的一侧螺纹贯穿插设有螺栓。

9、上述部件所达到的效果为:手动控制连接杆转动,通过连接杆带动第二锥齿轮转动,因为第一锥齿轮和第二锥齿轮相互啮合,这样可以很好的通过连接杆带动第二螺纹杆转动,当第二螺纹杆转动到合适位置的时候,手动控制螺栓挤压在连接杆的一侧,这样可以很好的把连接杆限制在支撑架的内部。

10、优选的,所述限位装置包括矩形杆,所述支撑台的一侧和矩形杆的一端固定连接,所述矩形杆远离支撑台的一端滑动连接有矩形框,所述矩形框和连接箱的一侧固定连接,所述矩形杆的一侧开设有固定槽,所述固定槽的内壁滑动连接有固定杆,所述固定杆远离固定槽的一端固定连接有连接板。

11、上述部件所达到的效果为:使用限位装置的时候,手动控制矩形杆滑到矩形框的内部,进而控制固定杆滑到固定槽的内部,这样可以很好的把矩形杆限制在矩形框的内部,这样可以很好的把支撑台设置在连接箱的一侧,这样能够在一定程度上避免不小心带动支撑台远离连接箱,进而避免连接线断裂,这样会在一定程度上影响超声扫描显微镜的使用。

12、优选的,所述矩形框的一侧均匀固定连接有第三阻尼杆,所述第三阻尼杆远离矩形框的一端和连接板靠近固定杆的一侧固定连接,所述第三阻尼杆的表面套设有第三弹簧,所述第三弹簧的一端和矩形框的一侧固定连接,所述第三弹簧靠近第三阻尼杆的一端和连接板的一侧固定连接。

13、上述部件所达到的效果为:通过第三弹簧向靠近矩形框的方向拉拽连接板,这样可以很好的把固定杆限制在固定槽的内部。

14、优选的,所述矩形杆的表面滑动套设有卡位块,所述卡位块的内壁滑动套设在矩形框的表面,所述卡位块的内壁开设有限位槽,所述限位槽的内壁设置有橡胶块,所述橡胶块的底部和矩形框的一侧固定连接。

15、上述部件所达到的效果为:手动控制卡位块在矩形杆的表面滑动,进而把卡位块的内壁滑动套设在矩形框的表面,进而把橡胶块挤压到限位槽的内部,这样可以很好的把连接板限制在矩形框的一侧。

16、优选的,所述矩形杆的表面固定连接有定位板,所述定位板远离支撑台的一端均匀固定连接有第四阻尼杆,所述第四阻尼杆远离定位板的一端和卡位块的一侧固定连接,所述第四阻尼杆的表面踏射有第四弹簧,所述第四弹簧的一端和定位板的一侧固定连接,所述第四弹簧靠近第四阻尼杆的一端和卡位块的一侧固定连接。

17、上述部件所达到的效果为:通过第四弹簧向远离定位板的方向挤压卡位块,这样可以很好的把卡位块限制在矩形框的表面。

18、本发明中,通过设置移动装置,使用移动装置的时候,手动通过操作台在滑动杆的表面滑动,进而使得操作台可以很好的把远离支撑箱的内部,然后控制第二螺纹杆转动,因为第二螺纹杆表面的螺纹方向从中间往两边相反,进而使得螺纹套设在第二螺纹杆表面的移动板同时向操作台的内部移动,进而可以很好的把检测的芯片限制在操作台的顶部,这样可以很方便的把芯片设置在操作台的顶部。

当前第1页1 2 
网友询问留言 留言:0条
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!