光电检测系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明关于一种光电检测系统。
【背景技术】
[0002] 随着薄膜太阳能电池、触控面板和软性显示器等产业日益兴盛，在产品制作过程 中，皆需经过检测W确保其产品质量。过去是利用探针接触式电性检测设备，W抽检的方式 作为品管机制；但随着产品制作尺寸越来越大，制程速度越来越快，制程的线宽越来越小的 需求，高速的影像式检测设备需求也越来越被重视。
[0003] 上述产品制造过程中，其中一道制程是透明的导电图案的激光蚀刻制程，如果蚀 刻不完全，像素会形成坏点，造成合格率下降。在激光蚀刻制程中，透明的导电图案亦可能 产生线路的短/断路、刮伤与杂质等缺陷问题。由于导电图案为透明，已知的光电检测系统 并无法得透明导电膜图案（如IT0或AZ0)的蚀刻状况。已知的非接触式光电检测系统仅 适用于单张（Sheet by化eet)的制程检测，并不适用于卷式（Roll to Roll)的制程检测。 如何直接经由外观做缺陷检测，并提供卷式制程更佳精密快速正确的量测质量，该将是光 电检测系统未来需要解决的问题。
【发明内容】
[0004] 因此，有鉴于上述问题，本发明提供一种光电检测方法，适用于卷式制程的透明导 电图案的缺陷检测。
[0005] 本发明提供一种光电检测系统，包括：电路旋转连接器和光电检测滚轮。电路旋转 连接器包括一外固定部和一内旋转部，并通过外固定部由一外部电源供应电源。内旋转部 与外固定部透过一旋转轴承相连接，并且内旋转部随着光电检测滚轮转动而转动，内旋转 部具有一第一端子和一第二端子。光电感测滚轮包括一滚轴、一光电层W及至少一导电环。 滚轴的外侧包覆着与第一端子电性连接的一金属层。光电层包覆于金属层的外侧，且光电 层与金属层接触的一侧是通过金属层被施加一第一电压。导电环设置于光电感测滚轮的轴 向外侧，并且与具有一第二电压的第二端子电性连接。第一电压与第二电压具有一既定电 压差，并且当一待测膜片贴合在光电感测滚轮上时，导电环将第二电压施加至待测膜片上 的一导电图案，使得光电层根据导电图案与金属层间的电压差，控制光电层对应于导电图 案的部分的透光性。
【附图说明】
[0006] 本发明的实施例现在将参照所附示意附图来更详细叙述，其中：
[0007] 图1A和图1B说明本发明光电检测系统的检测原理；
[000引图2A是本发明光电检测系统的实施例的示意图；
[0009] 图2B是本发明光电检测系统的另一实施例的示意图；
[0010] 图3A为本发明光电检测系统的实施例的y轴方向视图；
[0011] 图3B为本发明光电检测系统的实施例的X轴方向视图（a-a'连线）；
[0012] 图3C为本发明光电检测系统的实施例的X轴方向视图（C-C'连线）；
[0013] 图3D为本发明光电检测系统的实施例的X轴方向视图化-b'连线）；
[0014] 图3E为本发明光电检测系统的实施例的Z轴方向视图；
[0015] 图3F为本发明光电检测系统的实施例的X轴方向视图化-b'连线）；
[0016] 图3G为本发明光电检测系统的实施例的Z轴方向视图；
[0017] 图4为本发明光电检测系统的另一实施例的示意图。
[0018] 【符号说明】
[0019] 1光电檢测系统； 2电齡旋驗选接器； 3光电怜测演轮； 4外部电源； 5膜片； 6甘电罔萊； 7如I)电极； 8引线; 9FTO电據； 10 .相机； U电-JHI-巧器； 12光源； BS分光器； 2!外岡化部； 22內旋转郁； 31滾轴； 32黑色金屁鞭技； 32'金威反射层； 巧光电层；
[0020] 34透明覆盖面； 35导电环； %绝錄环。
【具体实施方式】
[0021] 本发明将搭配所附【附图说明】如下。
[0022] 当相关技术的详细描述能避免非必要地混淆本发明的主题事项时，其描述将被省 略。此外，下列术语，其定义考虑本发明的功能，该取决于使用者的意图或司法判例时，术语 可能会被改变。因此，基于本说明书的全部公开内容，每个术语的含义应当被解释。
[0023] 图1A和图1B说明本发明光电检测系统的检测原理。图2A是本发明光电检测系 统的实施例的示意图。图2B是本发明光电检测系统的另一实施例的示意图。图3A至图3E 分别为本发明光电检测系统的实施例的H视图。图4为本发明光电检测系统的另一实施例 的示意图。
[0024] 参考图1A，膜层构造表示部分的光电感测滚轮，膜层构造由下而上分别为黑色金 属锻层32、光电层33、透明覆盖面34, W及透明的IT0电极9,其中IT0电极9不连续的部 分为断路部分。透明覆盖面34位于黑色金属锻层32的对侧并用于保护光电层33。本发明 光电层 33 为聚合物分散液晶（polymer dispersed liquid c;rystal，PDLC)。当 PDLC 两侧 被施加电压时，PDLC和惨杂其中的高分子材料，两者折射率相近，因此PDLC呈现透明。当 PDLC两侧并未施加电压（或低于驱动电压）时，PDLC因为其中液晶分子散射光线而呈现乳 白色。
[0025] 在本实施例中，吾人假设IT0电极9被施加正电压，而黑色金属锻层32被施加负 电压。由于介于黑色金属层32与口0电极9之间的光电层33其两侧被施加电压，所W光 电层33呈现透明而能让入射光穿透。当入射光穿过透明的光电层33后，黑色金属锻层32 完全吸收入射光，所W没有反射光。当IT0电极9具有断路时，由于IT0电极9断路部分下 方的光电层并未被施加正电压，所W光电层33呈现乳白色并部分反射入射光。因为自光电 层33反射回来的反射光（亮部），其轮廓与IT0电极9的断路部分的轮廓相同。此外，没有 反射光的部分（暗部），其轮廓亦与IT0电极9的轮廓相同。换言之，不论是IT0电极9或 其断路部分，其反射光的轮廓均与IT0电极9相同，其差异仅在于暗部表示IT0电极9,而亮 部表示IT0电极9的断路部分。所W在膜层上方设置相机（即一成相模块）和电子计算器 分别接收并记录自光电层33反射回来的反射光，即可得到IT0电极9的轮廓影像。此外， 根据IT0电极9的轮廓影像的亮暗，可W判断IT0电极9是否具有断路部分。在本实施例 中，暗部代表具有IT0电极9的部分，亮部代表不具有IT0电极9的部分（即断路部分）。 换言之，当光电层33呈现透明时，黑色金属锻层32会完全吸收入射光，所W此时反射率为 第一反射率（例如为零）。当光电层33呈现乳白色时，光电层33会反射部分的入射光，故 此时反射率为高于第一反射率的一第二反射率。
[0026] 参考图1B，膜层构造表示部分的光电感测滚轮，膜层构造由下而上分别为金属反 射层32'、光电层33、透明覆盖面34, W及透明的IT0电极9,其中IT0电极9不连续的部 分为断路部分。透明覆盖面34位于金属反射层32'的对侧并用于保护光电层33。如上所 述，光电层33为PDLC。
[0027] 在本实施例中，吾人假设IT0电极9被施加正电压，而金属反射层32'被施加负电 压。由于介于金属反射层32'与口0电极9之间的光电层33其两侧被施加电压，所W光 电层33呈现透明而能让入射光穿透。当入射光穿过透明的光电层33后，金属反射层32' 完全反