一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压力传感器设备部件的相关改进技术领域，具体的说是一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置。
【背景技术】
[0002]汽车用压力传感器是汽车电子控制系统的信息源，是汽车电子控制系统的关键部件，也是汽车电子技术领域研究的核心内容之一。汽车压力传感器对压力的信息进行及时准确的测量与控制，是衡量汽车电子控制系统技术与科学水平的重要表现之一。
[0003]现有的压力传感器中，压力芯片底面与壳体内部之间设有密封装置，当拧紧压力芯片时，密封圈受到压缩力的作用，密封效果就收到影响，从而使传感器检测数据的准确性和可靠性降低，使用寿命缩短。
[0004]为了很好的解决上述问题，本发明提供一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置。
【发明内容】
[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，其特征在于:所述腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，所述高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，所述硅杯上部覆盖有硅膜片。
[0006]所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于:所述硅杯为采用异性腐蚀技术制作而成的四方锥形斜面体。
[0007]所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于:所述硅膜片上设有氧化层，所述硅膜片为原平的结构，其两面覆盖有二氧化硅和氮化硅成分。
[0008]本发明有益效果是:
1)本发明结构简单，操作方便，易于加工；
2)采用带有氧化层的硅膜片与连接有引线的硅杯作为压力芯片的密封与传导装置，既提高了压力传感器的密封效果，也有助于提高甘差un其检测数据的准确性和可靠性，有助于提高压力传感器的使用寿命。
[0009]【附图说明】:
图1为本发明结构示意图；
图中:1、低压腔；2、高压腔；3、硅杯；4、引线；5、硅膜片。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图，对本发明做以下详细说明:
如图1所示，一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，属于压力传感器设备部件的相关改进技术领域，包括腔体体和引线，所述腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，所述高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯为采用异性腐蚀技术制作而成的四方锥形斜面体，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，所述硅杯上部覆盖有硅膜片，所述硅膜片上设有氧化层，所述硅膜片为原平的结构，其两面覆盖有二氧化硅和氮化硅成分，与现有技术相比，本发明设计合理，结构简单，采用带有氧化层的硅膜片与连接有引线的硅杯作为压力芯片的密封与传导装置，既提高了压力传感器的密封效果，也有助于提高甘差un其检测数据的准确性和可靠性，有助于提高压力传感器的使用寿命。
【主权项】
1.一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，其特征在于:所述腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，所述高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，所述硅杯上部覆盖有硅膜片。
2.根据权利要求1所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于:所述硅杯为采用异性腐蚀技术制作而成的四方锥形斜面体。
3.根据权利要求2所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于:所述硅膜片上设有氧化层，所述硅膜片为原平的结构，其两面覆盖有二氧化硅和氮化娃成分。
【专利摘要】本发明公开了一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，硅杯上部覆盖有硅膜片。与现有技术相比，本发明设计合理，结构简单，采用带有氧化层的硅膜片与连接有引线的硅杯作为压力芯片的密封与传导装置，既提高了压力传感器的密封效果，也有助于提高甘差un其检测数据的准确性和可靠性，有助于提高压力传感器的使用寿命。
【IPC分类】G01L9-00, G01L19-06
【公开号】CN104729783
【申请号】CN201310708963
【发明人】任勇
【申请人】西安瑞驰信息技术有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月20日