一种用于检测自身回光对激光器影响的方法及检测设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光学技术领域，特别是涉及一种用于检测自身回光对激光器影响的方 法及检测设备。
【背景技术】
[0002] 半导体激光器是以半导体材料作为工作物质的激光器，其具有体积小、效率高、结 构简单、寿命较长、易于调制以及价格较低等优点，广泛应用在电子领域。
[0003] 但是半导体激光器在工作时，其自身发射出的部分激光会沿原路再返回到激光器 芯片内部时，造成半导体激光器的激光功率下降，影响半导体激光器的激光光束质量，严重 时会烧坏激光器的芯片，导致激光器报废。而半导体激光器的不同芯片以及不同封装模式， 其回光对激光光束的影响均不相同，如何检测回光对激光光束的影响是人们急需解决的问 题。
【发明内容】
[0004] 本发明主要解决的技术问题是提供一种用于检测自身回光对激光器影响的方法 及检测设备，检测回光的功率与激光器的输入光的功率之间的对应关系。
[0005] 为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种于检测自身回光 对激光器影响的方法，包括：接收激光器输入的输入光；将所述输入光分割成第一检测光 和第二检测光，并分别向第一光功率计和可调反射镜输出所述第一检测光和第二检测光， 其中，所述第一检测光的功率与输入光的功率满足第一预定关系；接收所述可调反射镜所 反射的部分第二检测光，并将所述可调反射镜所反射的部分第二检测光分割成第一回光和 第二回光，并分别向所述激光器和第一光功率计回传所述第一回光和第二回光，其中，所述 第二回光的功率与第一回光的功率满足第二预定关系；通过所述第一光功率计检测第一检 测光的功率，通过所述第二光功率计检测第二回光的功率；根据所述第一检测光的功率计 算激光器的输入光的功率，根据所述第二回光的功率计算第一回光的功率，建立并输出所 述第一回光的功率与激光器的输入光的功率之间的功率对应关系；转动N-I次所述可调反 射镜，使所述可调反射镜位于N个不同的反射角反射部分第一检测光，以输出N对所述功率 对应关系，其中，N为大于或等于2的自然数。
[0006] 其中，所述第一检测光的功率与输入光的功率满足的第一预定关系，具体为：
[0007]
[0008] 所述为第一检测光的功率，所述ΡΛ为输入光的功率；
[0009] 所述第二回光的功率与可调反射镜所反射的部分第一检测光的功率满足的第二 预定关系，具体为：
[0010]
[0011] 所述P'为第一回光的功率，所述P0"为第二回光的功率，所述Ps为可调反射 镜所反射的部分第一检测光的功率。
[0012] 其中，所述方法还包括：判断所述第一回光的功率大于或等于功率阈值；若大于 或等于所述功率阈值，则发出告警。
[0013] 其中，在向所述可调反射镜输出第二检测光的步骤具体为：通过准直镜对所述第 二检测光进行准直，并且在所述第二检测光准直后输出至可调反射镜；所述接收所述可调 反射镜所反射的部分第二检测光的步骤具体为：通过所述准直镜接收所述可调反射镜所反 射的部分第二检测光。
[0014] 其中，所述方法包括：根据所述N对所述功率对应关系，并结合预设数学模型建立 所述第一回光的功率与激光器的输入光的功率之间的数学关系。
[0015] 为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种检测设备，包括双 通道光耦合器、第一光功率计、第二光功率计、可调反射镜和处理器，其中，所述双通道光耦 合器设置有第一左端口、第二左端口、第一右端口和第二右端口，所述第一左端口用于与激 光器连接，所述第一光功率计与所述第一右端口连接，所述可调反射镜位于所述第二右端 口的前方，所述第二光功率计与第二左端口连接，所述处理器分别与第一光功率计、第二光 功率计和可调反射镜连接；所述双通道光耦合器用于通过第一左端口接收激光器输出的输 入光，并将所述输入光分割成第一检测光和第二检测光，以及通过第一右端口向第一光功 率计输出所述第一检测光，通过所述第二右端口向可调反射镜输出第二检测光，其中，所述 第一检测光的功率与输入光的功率满足第一预定关系；所述可调反射镜向第二右端口反射 部分第二检测光；所述双通道光耦合器还用于通过第二右端口接收所述可调反射镜所反射 的部分第二检测光，并将所述可调反射镜所反射的部分第二检测光分割成第一回光和第二 回光，以及通过所述第一左端口向激光器回传第一回光，通过所述第二端口向第一光功率 计发送第二回光，其中，所述第二回光的功率与可调反射镜所反射的部分第一检测光的功 率满足第二预定关系；通过所述第一光功率计检测第一检测光的功率，通过所述第二光功 率计检测第二回光的功率；所述处理器用于根据所述第一检测光的功率计算激光器的输入 光的功率，根据所述第二回光的功率计算第一回光的功率，建立并输出所述第一回光的功 率与激光器的输入光的功率之间的功率对应关系；所述处理器还用于控制所述可调反射镜 转动N-I次，以使所述可调反射镜位于N个不同的反射角反射部分第一检测光，以输出N对 所述功率对应关系，其中，N为大于或等于2的自然数。
[0016] 其中，所述第一检测光的功率与输入光的功率满足第一预定关系，具体为：
[0017]
[0018] 所述为第一检测光的功率，所述ΡΛ为输入光的功率；
[0019] 所述第二回光的功率与可调反射镜所反射的部分第一检测光的功率满足第二预 定关系，具体为：
[0020]
[0021] 所述P0 '为第二光的功率，所述Ps为可调反射镜所反射的部分第一检测光的功 率。
[0022] 其中，所述检测设备还包括告警装置，所述告警装置与所述处理器连接；处理器还 用于判断所述第一回光的功率大于或等于功率阈值，若大于或等于所述功率阈值，则控制 所述告警装置发出告警。
[0023] 其中，所述检测设备还包括准直镜；所述准直镜设置于所述第二左端口与所述可 调反射镜之间，所述准直镜用于第二检测光进行准直后输出至可调反射镜，并且所述可调 反射镜所反射的部分第二检测光经过准直镜后入射至第二左端口。
[0024] 所述处理器还用于根据所述N对所述功率对应关系，并结合预设数学模型建立所 述第一回光的功率与激光器的输入光功率之间的数学关系。
[0025] 本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明通过将激光器的输入光分 割成第一检测光和第二检测光，第一检测光入射至第一光功率计，第二检测光入射至可调 反射镜，通过可调反射镜反射部分第一检测光，可调反射镜所反射的部分第二检测光被分 割成第一回光和第二回光，第一回光作为激光器的自身回光回传至激光器，第二回光入射 至第二光功率计，其中，第一检测光的功率与输入光的功率满足第一预定关系，第二回光的 功率与第一回光的功率满足第二预定关系，因此，可通过第一检测光的功率计算输入光的 功率，通过第二回光的功率计算第一回光的功率，从而建立激光器自身的回光的功率与自 射输入光的功率之间的对应关系。
【附图说明】
[0026] 图1是本发明用于检测自身回光对激光器影响的方法实施方式的流程图；
[0027] 图2是本发明检测设备实施方式的示意图。
【具体实施方式】
[0028] 下面结合附图和实施方式对本发明进行详细说明。
[0029] 请参阅图1，用于检测自身回光对激光器影响的方法包括：
[0030] 步骤S201 :接收激光器输入的输入光。
[0031] 在本实施例中，激光器是指激光器核心栗源部分不包含其他光学器件，如激光器 芯片。
[0032] 步骤S202 :将输入光分割成第一检测光和第二检测光，并分别向第一光功率计和 可调反射镜输出第一检测光和第二检测光，其中，第一检测光的功率与输入光的功率满足 第一预定关系。
[0033] 将输入光分割成第一检测光和第二检测光是按预定要求进行分割，因此，除了第 一检测光的功率与输入光的功率满足第一预定关系之外，第二检测光的功率与输入光的功 率之间也满足一定关系，在本发明实施方式中，激光器的输入光5 :5分割成第一检测光和 第二检测光，即：将激光器的输入光等分成两份，第一检测光的功率与第二检测光的功率相