分时间段的数量。在本实施例中该数量η被预先的定义，并被设定于上层软件预设信 息中。
[0074] 在步骤602中，电机旋转频率修正模块根据所获得实测电机时间间隔Τ，获得分 别对应于各个所述电机旋转频率f (f = A，f2, . . .，fx)的修正电机旋转频率f'（f = f/， f2'，. . .，fx'），所述修正电机旋转频率为
[0075]
[0076] 在步骤603中，第二实施模块把所述修正电机旋转频率f'作为所述电机的旋转频 率以替代原有的电机旋转频率f。即通过采用补偿电机频率的方式使探测器和运动电机的 时钟同步。因此，在运行过程中，电机将不会按原有的旋转频率f进行旋转，而是按修正后 的旋转频率f'来进行旋转。
[0077] 对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在 不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论 如何来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的。此外，明显的，"包括"一词不 排除其他元素和步骤，并且措辞"一个"不排除复数。装置权利要求中陈述的多个元件也可 以由一个元件来实现。第一，第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。
【主权项】
1. 一种在旋转器件型光谱椭偏仪中的同步触发定标方法，其中，包括步骤：1. 设定上层软件预设信息，所述预设信息包括电机旋转频率序列，所述电机旋转频率 序列中含有多个不同的电机旋转频率f; II. 采用预先补偿延迟角度的方式，修正电机预设触发角度值Ai; III. 采用修正电机旋转频率的方式，修正电机与探测器的计时时钟偏差。2. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述预先补偿延迟角度的方式包括： i. 确定在各个所述电机旋转频率f?下的延迟角度值At; ii. 根据所获得的所述延迟角度值At，修正所述电机预设触发角度值Ai，从而为各个 所述电机旋转频率f，确定相对应的修正电机预设触发角度值Ai' ； iii. 把所述修正电机预设触发角度值Ai'作为所述电机的触发角度。3. 根据权利要求2所述的方法，其中，在步骤i中：根据所述电机向所述探测器发送触 发信号和所述探测器接收到该触发信号后采集光强信号的时间差，来确定所述延迟角度值 At〇4. 根据权利要求3或2所述的方法，其中，在步骤ii中：所述修正电机预设触发角度 值Ai'是在原有的所述电机预设触发角度值Ai的基础上提前延迟角度值At后获得的。5. 根据权利要求4所述的方法，其中，各个所述电机旋转频率f和与之相对应的所述延 迟角度值At之间利用最小二乘法拟合后，获得如下的线性关系： At=a氺f+b 其中，a、b为系数。6. 根据权利要求5所述的方法，其中，所述预设信息还包括所述电机预设触发角度值 Ai〇7. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述采用修正电机旋转频率的方式包括： iv. 确定在各个所述电机旋转频率f?下，至少一个探测器积分时间段t所对应的实测电 机时间间隔T; v. 根据所获得实测电机时间间隔T，获得分别对应于各个所述电机旋转频率f的修正 电机旋转频率f' ； vi. 把所述修正电机旋转频率f'作为所述电机的旋转频率。8. 根据权利要求7所述的方法，其中，在步骤iv中，所述实测的电机时间间隔T表示 为：其中，（AOTd_Ategin)表示在所述至少一个探测器积分时间段t内电机捕获到的开始角度Ategin和结束角度AOTd的角度差，f为所述电机的当前旋转频率。9. 根据权利要求8所述的方法，其中，当所述电机时间间隔T仅对应一个探测器积分时 间段t时，被设置为不同时间长度的探测器积分时间段t和与之对应的电机时间间隔平均 值T'之间利用最小二乘法拟合后，获得如下的线性关系： =c氺t+d 其中，c、d为系数，T'表示与t相对应的并且在所述不同电机旋转频率f下获得的电 机时间间隔T的平均值。10. 根据权利要求8所述的方法，其中，当所述电机时间间隔T对应多个探测器积分时 间段t时，所述多个探测器积分时间段t和与之对应的电机时间间隔平均值Tn'之间利用 最小二乘法拟合后，获得如下的线性关系： Tn' =e氺n氺t+g 其中，e、g为系数，Tn'为在所述n个探测器积分时间段t内，在各个所述电机旋转频率f下所实测的电机时间间隔Tn的平均值，n为积分时间段的数量。11. 根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述修正电机旋转频率为12. 根据权利要求11所述的方法，其中，所述预设信息还包括所述积分时间段的数量 n〇13. -种在旋转器件型光谱椭偏仪中，实施同步触发定标的装置，其特征在于包括： 信息预设单元，其用于预设电机旋转频率序列，所述电机旋转频率序列中含有多个不 同的电机旋转频率f; 触发延迟修正单元，其用于通过预先补偿延迟角度的方式，修正电机预设触发角度值Ai； 计时时钟修正单元，其用于通过补偿电机旋转频率的方式，修正电机与探测器的计时 时钟偏差。14. 根据权利要求13所述的装置，其特征在于，所述触发延迟修正单元包括： 延迟角度测定模块，其用于确定在各个所述电机旋转频率f?下的延迟角度值At; 触发角度修正模块，其用于根据所获得的所述延迟角度值At，修正所述电机预设触发 角度值Ai，从而为各个所述电机旋转频率f，确定各自相对应的修正电机预设触发角度值Ai，； 第一实施模块，其用于把所述修正电机预设触发角度值Ai'作为所述电机的触发角度。15. 根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述修正电机预设触发角度值Ai'是在 原有的所述电机预设触发角度值Ai的基础上提前延迟角度值At后获得的。16. 根据权利要求13所述的装置，其特征在于，所述计时时钟修正单元包括： 电机时间间隔测定模块，其用于确定在各个所述电机旋转频率f?下，至少一个探测器 积分时间段t所对应的实测电机时间间隔T; 电机旋转频率修正模块，其用于根据所获得实测电机时间间隔T，获得分别对应于各个 所述电机旋转频率f的修正电机旋转频率f' ； 第二实施模块，其用于把所述修正电机旋转频率f'作为所述电机的旋转频率。17. 根据权利要求16所述的装置，其特征在于，所述实测的电机时间间隔T表示为：其中，（AOTd_Ategin)表示在所述至少一个探测器积分时间段t内电机的开始角度Ategin和 结束角度AOTd的角度差。18.根据权利要求17所述的装置，其特征在于，所述修正电机旋转频率为
【专利摘要】本发明公开了一种在旋转器件型光谱椭偏仪中的同步触发定标方法，其中，包括步骤：I.设定上层软件预设信息，所述预设信息包括电机旋转频率序列，所述电机旋转频率序列中含有多个不同的电机旋转频率f；II.采用预先补偿延迟角度的方式，修正电机预设触发角度值Ai；III.采用修正电机旋转频率的方式，修正电机与探测器的计时时钟偏差。本发明还公开了一种在旋转器件型光谱椭偏仪中实施同步触发定标的装置。通过本发明所公开的技术方案解决了旋转器件型光谱椭偏仪中的触发延时和计时时钟偏差的问题，提高了测量精度和准确性。
【IPC分类】G01J3/02, G01J3/447
【公开号】CN105092036
【申请号】CN201410182879
【发明人】党江涛, 许静仙
【申请人】睿励科学仪器（上海）有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年5月4日