一种激光二极管面阵泵浦均匀性检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光技术领域，特别是涉及一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置。
【背景技术】
[0002]半导体抽运的固体激光器因具有热效应小、稳定性好、结构紧凑等优点获得了广泛应用。进人20世纪80年代，随着半导体激光技术的发展，单个激光二极管的性能得到很大提高，尤其是半导体列阵的迅速发展，使固体激光器呈现勃勃生机。
[0003]无论是对于传统的圆棒状激光工作介质，还是对于板条状的激光工作介质，要想获得大功率高光束质量的激光输出，一个大功率高性能的栗浦源就成了非常理想的抽运结构，而半导体阵列刚好满足了我们的需求。不仅如此，想要获得高光束质量的激光输出，我们不仅要克服温度梯度、热透镜、应力退片等热效应，也必需考虑让栗浦光更加均匀的进入工作介质，然而栗浦光均匀与否，是需要我们去进一步检验的。
[0004]在现有技术中，对栗浦光的均匀性进行检测大多为定性的观测，譬如说对受光面进行荧光分布检测，观察光斑；或者是利用软件进行光线追迹模拟，这些检测方法都不可避免地存在检测结果准确度较低的问题。
【发明内容】
[0005]本发明主要解决的技术问题是提供一种新型的对栗浦光均匀性进行检测的装置，且为具有检测结果较高准确度的特点的一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置。
[0006]本发明实施例提供一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置，包括:激光二极管面阵；光波导，用于对激光二极管面阵出射的栗浦光进行均匀化一形反光板，用于将该光波导出射的栗浦光向该光波导的两侧反射出去；激光传输光纤，包括光纤接头与光纤末端，光纤接头固定在V形反光板上，用于接收光波导出射的栗浦光；驱动器，用于驱动V形反光板按照预定方式相对于光波导的出光面进行移动，以便光纤接头按照预定方式接收光波导的出光面的预定位置的光；功率计探头，位于V形反光板的背光侧，用于探测光纤末端出射光的光功率数值；处理器，用于接收光功率数值，并根据预定方式对该光功率数值进行分析以获得均匀性。
[0007]其中，V形反光板包括构成V形的两块反光板，该两块反光板关于第一平面对称，第一平面为垂直于光波导出光面的平面。
[0008]其中，光纤接头固定在两块反光板衔接方向的中心位置处。
[0009]其中，V形反光板上有一通光孔，光纤接头嵌设于该通光孔中。
[0010]其中，V形反光板的迎向光波导出光面的表面镀有银。
[0011]其中，该装置还包括两块光接收板，分别设置于光波导的两侧，用于接收V形反光板反射的栗浦光。
[0012]其中，驱动器用于驱动V形反光板相对于光波导的出光面逐行逐点地移动，使得光纤接头逐行逐点接收光波导的出光面的预定位置的光。
[0013]其中，对于光波导的出光面的每个预定位置的光，处理器获得若干光功率数值，并以该若干个光功率数值的平均值作为每个预定位置的光功率数值。
[0014]与现有技术相比，本发明实施例包括如下有益效果:
[0015]本发明实施例的一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置，利用光波导对激光二极管面阵出射的栗浦光进行均匀化，并在此基础上利用激光传输光纤、驱动器、功率计探头和处理器，采集光波导出光面上预定位置的栗浦光的光功率数值，获得光波导出射的栗浦光的均匀性曲线；同时，本实施例利用V形反光板避免除了采集点之外的栗浦光入射到功率计探头，保证了功率计探头探测的准确性。因此，与现有技术相比，本实施例对栗浦光均匀性的检测结果具有较高的准确度。
【附图说明】
[0016]图1是本发明实施例中一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置的一个实施例的结构示意图；
[0017]图2是本发明实施例中一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置的另一实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和实施方式对本发明实施例进行详细说明。
[0019]实施例一
[0020]请参阅图1，图1是本发明实施例中一种激光二极管面阵栗浦均匀性检测装置的一个实施例的结构示意图。如图1所示，激光二极管面阵栗浦光均匀性检测装置100包括激光二极管面阵110、光波导120、V形反光板(包括反光板131与反光板132)、激光传输光纤(包括光纤接头141与光纤末端142)、驱动器(图未示出)、功率计探头150与处理器160。
[0021]如图1所示，纸面的水平方向为z方向，纸面的竖直方向为X方向，垂直于纸面的方向为y方向。具体地，LD(Laser D1de，激光二极管)面阵可以由若干个LD叠阵沿x方向排列而成，激光二极管面阵的快轴方向为I方向，激光二极管面阵的慢轴方向为X方向。
[0022]光波导120设置于激光二极管面阵110的出光路上，用于对激光二极管面阵110出射的栗浦光进行均匀化。本实施例中，由于激光二极管面阵110的快轴方向发散角大，激光二极管面阵110出射的栗浦光可在光波导120的上下表面(即平行于纸面的两个表面)多次反射，从而实现栗浦光的均匀化。
[0023]V形反光板中，反光板131与反光板132构成一个V形，反光板131与反光板132之间可以通过粘接、焊接等多种连接方式衔接。光纤接头141固定在V形反光板上，用于接收光波导120出射的栗浦光。具体地，可以在V形反光板上设置一通光孔，光纤接头114嵌设于该通光孔中。V形反光板用于将光波导120出射的栗浦光向该光波导120的两侧反射出去，以避免除了入射到光纤接头141处的栗浦光之外的栗浦光入射到功率计探头150，而影响功率计探头150对目标光的探测。优选地，V形反光板的迎向光波导120出光面的表面镀有银，以提高反射率。
[0024]光纤接头141可以固定在V形反光板的任何一位置，在本实施例中，光纤接头141优选固定在反光板131与反光板132衔接方向的位置。为了提高产品结构的对称性，更加优选地，反光板131与反光板132关于第一平面对称，第一平面为垂直于光波导120出光面的平面。光纤接头固定在反光板131与反光板132衔接方向的中心位置处。
[0025]容易理解的是，在其它实施例中，V形反光板也可以由一整块呈V形的反光板构成，只要能够避免除了入射到光纤接头141处的栗浦光之外的栗浦光入射到功率计探头150即可。
[0026]驱动器(图未示)可以是三维步进机，也可以是其它驱动设备。驱动器用于驱动V形反光板按照预定方式相对于光波导120的出光面进行移动，以便光纤接头141按照预定方式接收光波导120的出光面的预定位置的光。例如，驱动器用于驱动V形反光板相对于光波导120的出光面逐行逐点地移动，使得固定于V形反光板的光纤接头141逐行逐点接收光波导120的出光面的预定位置的光。当然，驱动器也可以驱动V形反光板按其它预定方式相对于光波导120的出光面移动，例如，V形反光板相对于该出光面做逐渐增大或逐渐减小的多个环形移动，或者做逐渐增大或逐渐减小的螺旋形移动，或者做逐行或逐列的S型移动等等。
[0027]激光传输光纤的光纤末端142与功率计探头150连接，功率计探头150位于V形反光板的背光侧，用于探测光纤末端142出射光的光功率数值。本实施例中，功率计探头150不随V形反光板移动，而是固定不动的。当然，其他实施例中，驱动器也可以驱动功率计探头150，使功率计探头150跟随V形反光板同步移动。
[0028]处理器160用于接收功率计探头150发送的光功率数值，并根据预定方式对该光功率数值进行分析以获得光波导出射的栗浦光的均匀性。处理器160具体可以为计算机，功率计探头150可以通过USB (Uni