一种用于优化测量系统的灵敏度的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于优化测量系统的灵敏度的方法。
【背景技术】
[0002]本发明的发明人在研究中发现，现有技术在测量领域主要存在以下几方面的问题，具体地分别为:
[0003]1.大多数测量设备具有很广泛的用途，硬件配置、测量方法都很多，对于普通的使用者很难使用，由于系统复杂，没有经过优化的系统测量耗时很长，影响测量速度。
[0004]2.可变入射角宽光谱偏振测量系统是一种比较方便的仪器，由于其有多个角度，宽波段光谱，同时样品台也可以旋转，入射面方位角可调。
[0005]3.这种设备对于测量复杂样品具有很大的优势。但是机台也有其缺陷，由于是多角度、宽光谱、多入射面方位角等因素，测量样品时，经常需要测量不同入射角(入射面方位角、起偏器验偏器方位角度变化)下的信息，涉及到设备的机械运动较多，测量时间较长。
[0006]4.由于硬件条件变化较大，采集得到的能量范围较大，会产生能量溢出或者是能量不足。最终采集得到的数据会有大量的废弃数据，或者是采集出来的数据对于样品信息不敏感。对于测量结果的计算没有帮助。
[0007]5.普通的SE系统为了达到能够覆盖尽量多的测量性能，通常会增加特殊的光学元件，如光学衰减片，光学带通玻片，紫外截止滤光片等等。这些光学元件什么时候使用，工程师通常只是通过试用选择等，没有一个确定的方法。
[0008]6.有些SE设备没有衰减片，但是同样需要测量某些样品(如高反射样品)时，如果不增加一些智能方法，有可能就不能测量样品。
[0009]以上关于【背景技术】的六点描述均表明了现有的测量方法要么操作起来较为复杂，不适合一般的普通人员操作；要么其灵敏度不够，也就是说其测量结果并不一定能够达到各种应用的需求。
【发明内容】
[0010]鉴于本发明的发明人对于以上技术问题的研究，本发明的目的在于提供一种用于优化测量系统的灵敏度的方法，从而以较高的性价比和可操作性来实施并且优化测量系统，进而提升整个测量系统的灵敏度，所述方法包括以下步骤:
[0011]-对待测量的样品进行敏感性分析以便得到第一分析结果；
[0012]-根据所述第一分析结果和所述测量系统的预定条件选择经优化的测量方法。
[0013]在依据本发明的一个实施例中，所述测量系统的预定条件包括以下条件中的至少一项:
[0014]-所述测量系统的主要控制部件是否具有多个入射角；
[0015]-所述测量系统的主要控制部件是否具有可旋转入射面方位角；
[0016]-所述测量系统的主要控制部件是否具有可旋转玻片；
[0017]-所述测量系统的主要控制部件是否具有可旋转起偏器或验偏器；
[0018]-所述测量系统的主要控制部件是否具有第一光学元件；或者
[0019]-所述测量系统的主要控制部件是否具有第二光学元件。
[0020]在此，本领域的技术人员应当理解，如果是PrSA结构，可旋转玻片能够通过转动玻片对测量光束的相位进行调制，使得原来某些波长下光谱的灵敏度提高。
[0021]在依据本发明的一个实施例中，所述第一光学元件为衰减片和/或所述第二光学元件为滤光片。
[0022]在依据本发明的一个实施例中，所述经优化的测量方法包括第一分析步骤，所述第一分析包括:
[0023]-选择对测量最敏感的测量条件，以便在一种状态下测量所需的数据并且分析测量结果。
[0024]在依据本发明的一个实施例中，当所述测量系统的预定条件为所述测量系统的主要控制部件具有多个入射角时，对所述待测量的样品进行入射角敏感性分析以便选择经优化的入射角并且使得样品在经优化的入射角的条件下进行测量。
[0025]在依据本发明的一个实施例中，当所述测量系统的预定条件为所述测量系统的主要控制部件具有可旋转入射面方位角时，根据对入射面方位角和所述样品的结构信息的分析选择方位角进行测量。
[0026]在依据本发明的一个实施例中，当所述测量系统的预定条件为只有宽光谱和单入射角而无可旋转入射面方位角时并且在预定波段范围下所述待测样品的测量光谱不可取时，所述测量系统使用滤光片来选择测量时所使用的波长范围。
[0027]在依据本发明的一个实施例中，当所述测量系统具有衰减片并且入射光的能量超过第一阈值时，根据所述第一阈值选择第一衰减强度的衰减片。
[0028]在依据本发明的一个实施例中，所述第一衰减强度为50%或者20%。
[0029]在依据本发明的一个实施例中，当在敏感性分析过程中发现所述第一入射光中的第一波长的光谱的能量大于第二阈值且所述第二波长的光谱不利于测量时针对所述第一波长选择第一滤光片来滤除所述第一波长的光谱。
[0030]在依据本发明的一个实施例中，所述第一滤光片为带通滤光片。
[0031]在依据本发明的一个实施例中，当所述测量系统的预定条件无辅助光学元件而所述待测量的样品的反射率超过第三阈值时，根据由所述样品所模拟计算出的能量曲线选择验偏器方位角、转动频率、每个周期采集的能量次数以便得到椭偏参数。
[0032]依据本发明所述的方法能够以较高的性价比和可操作性来实施并且优化测量系统，进而提升整个测量系统的灵敏度。
【附图说明】
[0033]通过参照附图阅读以下所作的对非限制性实施例的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0034]图1示出了依据本发明的测量方法的流程图。
【具体实施方式】
[0035]图1示出了依据本发明的用于优化测量系统的灵敏度的方法100。从图中可以看出，该方法包括以下两个步骤:
[0036]首先，在方法步骤110中对待测量的样品进行敏感性分析以便得到第一分析结果;
[0037]接下来在方法步骤120中根据第一分析结果和测量系统的预定条件选择经优化的测量方法。
[0038]在依据本发明的一个实施例中，该测量系统的预定条件包括以下条件中的至少一项:
[0039]-测量系统的主要控制部件是否具有多个入射角；
[0040]-测量系统的主要控制部件是否具有可旋转入射面方位角；
[0041]-测量系统的主要控制部件是否具有可旋转玻片；
[0042]-测量系统的主要控制部件是否具有可旋转起偏器或验偏器；
[0043]-测量系统的主要控制部件是否具有第一光学元件；或者
[0044]-测量系统的主要控制部件是否具有第二光学元件。
[0045]在此，本领域的技术人员应当理解，如果是PrSA结构，可旋转玻片能够通过转动玻片对测量光束的相位进行调制，使得原来某些波长下光谱的灵敏度提高。
[0046]在依据本发明的一个实施例中，第一光学元件为衰减片和/或第二光学元件为滤光片。
[0047]在依据本发明的一个实施例中，经优化的测量方法包括第一分析步骤，第一分析包括:
[0048]-选择对测量最敏感的测量条件，以便在一种状态下测量所需的数据并且分析测量结果。
[0049]在依据本发明的一个实施例中，当测量系统的预定条件为测量系统的主要控制部件具有多个入射角时，对待测量的样品进行入射角敏感性分析以便选择经优化的入射角并且使得样品在经优化的入射角的条件下进行测量。
[0050]在依据本发明的一个实施例中，当测量系统的预定条件为测量系统的主要控制部件具有可旋转入射面方位角时，根据对入射面方位角和样品的结构信息的分析选择方位角进行测量。
[0051]在依据本发明的一个实施例中，当测量系统的预定条件为只有宽光谱和单入射角而无可旋转入射面方位角时并且在预定波段范围下待测样品的测量光谱不可取时，测量系统使用滤光片来选择测量时所使用的波长范围。
[0052]在依据本发明的一个实施例中，当测量系统具有衰减片并且入射光的能量超过第一阈值时，根据第一阈值选择第一衰减强度的衰减片。
[0053]在依据本发明的一个实施例中，第一衰减强度为50%或者20%。
[0054]在依据本发明的一个实施例中，当在敏感性分析过程中发现