检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及生成个别检查用数据的检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序，所述个别检查用数据用于检查构成在检查对象基板上形成的电路网的多个电子部件等的电路元件。
【背景技术】
[0002]作为该种检查用数据生成装置，本申请的申请人已提出了下述的专利文献1中公开的检查用数据生成装置。该检查用数据生成装置是生成用于基板检查装置的检查用数据(包含指定作为该测定对象的检查点的信息和指示该基准值的信息的检查用数据)的检查用数据生成装置，所述基板检查装置基于在装载电子部件的电路基板的导体图案上设置的检查点上测定的关于电子部件的电参数的测定值和该电参数的基准值来执行电路基板的检查；所述检查用数据生成装置设有存储单元和处理单元，前者存储包含关于导体图案的信息和关于电子部件的信息并表示电路基板的电路结构的电路设计数据，后者基于电路设计数据执行对电路基板的工作进行模拟的模拟处理，处理单元基于电路设计数据执行模拟处理并生成检查用数据。在这种情况下，检查点设置在所有电子部件的两端。
现有技术文献
[0003]专利文献1:特开2013-213787号公报(第4-8页、第1-2图)
【发明内容】
[0004]然而，上述检查用数据生成装置存在如下应改善的问题。也就是说，该检查用数据生成装置中，如上述那样必须在作为测定对象的电子部件的两端设置检查点。可是，例如存在设于电路基板内的电子部件时，或是存在与端子相连的导体图案未形成在电路基板的表面的电子部件时，则无法在这些电子部件的两端设置检查点，因此，存在无法生成关于这些电子部件的检查用数据(其结果是检查覆盖率低)这一需要改善的问题。
[0005]本发明为改善这样的问题而形成，其目的主要在于提供:能够提高对于包含两端未设检查点的电子部件等的电路元件的电路网的个别检查用数据的自动生成率的检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序。
[0006]为了达成上述目的，权利要求1所述的检查用数据生成装置设有生成在将探针接触连接于电路网的检查点进行检查时用于所述电路网的个别检查用数据的处理单元，其中构成在检查对象基板上形成的电路网的相互电连接的多个电路元件中的至少一个电路元件被设置在该检查对象基板的表面，所述处理单元执行如下处理:基于所述多个电路元件均设为正常状态时的正常电路网表执行以预定的检查内容检查的模拟正常状态的所述电路网来求出正常时检查结果的正常时模拟处理；基于将所述多个电路元件中的至少一个电路元件作为检查对象而设为故障状态且将其余电路元件均设为正常状态时的故障电路网表以所述检查内容检查的模拟该故障状态的所述电路网来求出故障时检查结果的故障时模拟处理；以及将所述正常时检查结果与所述故障时检查结果有差异时的所述检查内容作为检查所述检查对象时的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0007]权利要求2所述的检查用数据生成装置是这样的检查用数据生成装置，在权利要求1所述的检查用数据生成装置中，所述处理单元执行一边基于所述正常电路网表按预定顺序变更作为所述检查对象的所述至少一个电路元件一边生成多个所述故障电路网表的故障网表生成处理，并基于该故障网表生成处理中生成的所述故障电路网表执行所述故障时模拟处理。
[0008]权利要求3所述的检查用数据生成装置是在具有一种以上的检查功能的基板检查装置中，使探针接触设置于检查对象基板的表面的检查点，生成用于个别地检查安装于该检查对象基板的多个电子部件的个别检查用数据检查用数据生成装置；所述检查用数据生成装置设有存储单元和处理单元，所述存储单元中被存入正常电路网表和故障电路网表，所述正常电路网表关系到基于有关所述检查对象基板的设计数据制成的所述电子部件均为正常的正常电路网，其包含从所述多个电子部件中选定为检查对象的检查对象部件且由连接于两个以上的所述检查点的至少两个以上的所述电子部件构成，所述故障电路网表关系到以任意一种故障状态仅使所述检查对象部件存在故障的所述电路网即故障电路网，所述处理单元对全部的所述检查对象部件执行如下处理:使用所述正常电路网表按所述一种以上的检查功能各自模拟来求出使所述探针接触连接于所述正常电路网的所述检查点以所述一种以上的检查功能检查时的正常时检查结果的正常时模拟处理；使用所述故障电路网表，使所述探针接触连接于所述故障电路网的所述检查点按所述一种以上的检查功能各自模拟来求出以所述一种以上的检查功能检查该故障电路网时的故障时检查结果的故障时模拟处理；以及在将以所述一种以上的检查功能各自的所述正常时检查结果与以与该正常时检查结果相同的所述检查功能检查时的所述故障时检查结果作比较而有一种以上的该正常时检查结果与该故障时检查结果有差异的该检查功能存在时，将以其中的一种检查功能检查所述包含检查对象部件的所述电路网的检查内容作为检查所述检查对象部件是否以所述任意一种故障状态存在故障用的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0009]权利要求4所述的检查用数据生成装置是这样的检查用数据生成装置，在权利要求3所述的检查用数据生成装置中，所述处理单元执行如下的处理:基于所述设计数据从所述多个电子部件中选择所述检查对象部件的部件选择处理；基于所述设计数据，在确定由包含所述检查对象部件且连接于两个以上的所述检查点的至少两个以上的所述电子部件构成的电路网，又将该电路网中包含的该电子部件均为正常时的该电路网作为所述正常电路网，并将该正常电路网的网表作为所述正常电路网表的正常网表生成处理；以及基于所述正常电路网表，将以任意一种故障状态使所述检查对象部件存在故障时的所述电路网作为所述故障电路网，并生成该故障电路网的网表作为所述故障电路网表的故障网表生成处理。
[0010]权利要求5所述的是生成个别检查用数据的检查用数据生成方法，所述个别检查用数据在将构成在检查对象基板上形成的电路网的相互电连接的多个电路元件中的至少一个电路元件设置于该检查对象基板的表面使探针接触连接于该电路网的检查点进行检查时用于所述电路网，其中，所述检查用数据生成方法执行如下的处理:基于所述多个电路元件均设为正常状态时的正常电路网表，对正常状态的所述电路网进行按预定的检查内容检查的模拟来求出正常时检查结果的正常时模拟处理；基于将所述多个电路元件中的至少一个电路元件作为检查对象而设为故障状态且将其余的电路元件均设为正常状态时的故障电路网表，进行对该故障状态的所述电路网检查所述检查内容的模拟来求出故障时检查结果的故障时模拟处理；以及将所述正常时检查结果与所述故障时检查结果有差异时的所述检查内容作为检查所述检查对象时的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0011]权利要求6所述的检查用数据生成方法是生成个别检查用数据的检查用数据生成方法，所述个别检查用数据用于在使探针接触设置于检查对象基板的表面的检查点个别地检查安装于该检查对象基板的多个电子部件，存储单元中被存入正常电路网表和故障电路网表，所述正常电路网表关系到基于有关所述检查对象基板的设计数据制成的所述电子部件均为正常的正常电路网，其包含从所述多个电子部件中选定为检查对象的检查对象部件且由连接于两个以上的所述检查点的至少两个以上的所述电子部件构成，所述故障电路网表关系到以任意一种故障状态仅使所述检查对象部件存在故障的所述电路网即故障电路网；其中，所述检查用数据生成方法对全部的所述检查对象部件执行如下的处理:使用从所述存储单元读出的所述正常电路网表，使所述探针接触连接于所述正常电路网的所述检查点，按所述一种以上的检查功能各自模拟来求出以所述一种以上的检查功能检查时的正常时检查结果的正常时模拟处理；使用从所述存储单元读出的所述故障电路网表，使所述探针接触连接于所述故障电路网的所述检查点，按所述一种以上的检查功能各自模拟来求出以一种以上的检查功能检查了该故障电路网时的故障时检查结果的故障时模拟处理；以及将以所述一种以上的检查功能各自的所述正常时检查结果跟以与该正常时检查结果相同的所述检查功能检查时的所述故障时检查结果作比较，在有一种以上的该正常时检查结果与该故障时检查结果有差异的该检查功能存在时，将以其中的一种检查功能检查所述包含检查对象部件的所述电路网的所述内容作为检查所述检查对象部件是否有故障用的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0012]权利要求7所述的程序是使计算机生成个别检查用数据的程序，所述个别检查用数据在通过使探针接触设置于该检查对象基板的表面、与该电路网上连接的检查点来检查构成在检查对象基板上形成的电路网的相互电连接的多个电路元件中的至少一个电路元件时用于所述电路网；所述程序执行如下的处理:基于将所述多个电路元件均设为正常状态时的正常电路网表，进行按预定的检查内容检查正常状态的所述电路网的模拟并求出正常时检查结果的正常时模拟处理；基于将所述多个电路元件中的至少一个电路元件作为检查对象而设为故障状态、且其余的电路元件均设为正常状态时的故障电路网表，进行按所述检查内容检查该故障状态的所述电路网的模拟并求出故障时检查结果的故障时模拟处理；以及将所述正常时检查结果与所述故障时检查结果有差异时的所述检查内容作为检查所述检查对象时的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0013]权利要求8所述的程序是使计算机生成个别检查用数据的程序，所述个别检查用数据用于在具有一种以上的检查功能的基板检查装置中使探针接触设置于检查对象基板的表面的检查点来个别地检查安装于该检查对象基板的多个电子部件；存储单元中被存入正常电路网表和故障电路网表，所述正常电路网表关系到基于有关所述检查对象基板的设计数据制成的所述电子部件均为正常的正常电路网，其包含从所述多个电子部件中选定为检查对象的检查对象部件且由连接于两个以上的所述检查点的至少两个以上的所述电子部件构成，所述故障电路网表关系到以任意一种故障状态仅使所述检查对象部件存在故障的所述电路网即故障电路网；其中，所述程序使计算机对全部的所述检查对象部件执行如下的程序:使用从所述存储单元读出的所述正常电路网表，使所述探针接触连接于所述正常电路网的所述检查点，按所述一种以上的检查功能各自模拟来求出以所述一种以上的检查功能检查时的正常时检查结果的正常时模拟处理；使所述探针接触连接于所述故障电路网的所述检查点，使用从