所述存储单元读出的所述故障电路网表，按一种以上的检查功能各自模拟来求出以所述一种以上的检查功能检查该故障电路网时的故障时检查结果的故障时模拟处理；以及将所述一种以上的检查功能各自的所述正常时检查结果跟以与该正常时检查结果相同的所述检查功能检查时的所述故障时检查结果比较，当有一种以上的该正常时检查结果与该故障时检查结果有差异的该检查功能存在时，将以其中的一种检查功能对所述包含检查对象部件的所述电路网作了检查的检查内容作为检查所述检查对象部件是否以所述任意一种故障状态存在故障用的所述个别检查用数据的个别检查用数据生成处理。
[0014]在权利要求1所述的检查用数据生成装置、权利要求5所述的检查用数据生成方法和权利要求7所述的程序中，基于获得的正常电路网表和故障电路网表执行正常时模拟处理、故障时模拟处理和个别检查用数据生成处理，当预定的检查内容(例如，基板检查装置具有的检查功能)的正常时检查结果跟以与该正常时检查结果相同的检查内容检查时的故障时检查结果(通过使用让检查对象存在故障的故障状态的电路网的模拟的检查结果)有差异时，将该检查内容作为用来检查该检查对象是否存在故障的个别检查用数据。
[0015]因此，利用该检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序，对于因为内设于检查对象基板中等缘故其两端未设检查点的电路元件的个别检查用数据能充分地提高自动生成率。因此，能充分地提高对基于该个别检查用数据的检查对象基板的检查覆盖率。
[0016]利用权利要求2所述的检查用数据生成装置，由于执行基于正常电路网表生成故障电路网表的故障网表生成处理，能够仅通过获得正常电路网表充分地提高个别检查用数据的自动生成率，因而能充分地提高对基于该个别检查用数据的检查对象基板的检查覆盖率。
[0017]在权利要求3所述的检查用数据生成装置、权利要求6所述的检查用数据生成方法和权利要求8所述的程序中，基于获得的正常电路网表和故障电路网表执行正常时模拟处理、故障时模拟处理和个别检查用数据生成处理，当有一种以上基板检查装置具有的检查功能各自的正常时检查结果跟以与该正常时检查结果相同的检查功能检查时的故障时检查结果(通过使用以任意一种故障状态让检查对象部件有故障时的故障电路网的模拟的检查结果)有差异的检查功能存在时，将以其中的一种检查功能检查包含检查对象部件的电路网的检查内容作为用来检查对象部件是否以上述任意一种故障状态存在故障的检查用数据。
[0018]因此，利用该检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序，对于因为内设于检查对象基板中等缘故其两端未设检查点的电子部件的个别检查用数据也能充分地提高自动生成率。因此，能充分地提高对基于该个别检查用数据的检查对象基板的检查覆盖率。
[0019]并且，利用权利要求4所述的检查用数据生成装置，基于设计数据执行从检查对象部件的选择到正常电路网表和故障网表的生成，可以仅通过获得设计数据充分地提高个别检查用数据的自动生成率，因而，能充分地提高对基于该个别检查用数据的检查对象基板的检查覆盖率。
【附图说明】
[0020]图1是检查用数据生成装置1的结构图。
图2是电路基板71的连接图。
图3是表示关于检查对象部件ob的检查功能fc各自的模拟结果的结果图。
图4是关于说明检查用数据生成装置1的操作(检查用数据生成方法)的检查用数据生成处理80的流程图。
图5是说明检查用数据生成方法的基本概念的说明图。
【具体实施方式】
[0021]以下，参照【附图说明】关于检查用数据生成装置、检查用数据生成方法以及程序的实施例。
[0022]首先，参照【附图说明】检查用数据生成方法的基本概念。
[0023]该检查用数据生成方法仅以模拟方式生成在用基板检查装置检查构成在检查对象基板上形成的电路网(例如图2所示的电路网)的相互电连接的多个电路元件(例如图2中示出的电阻、电容和及二极管那样通过导体图案相互电连接的电路元件)中的至少一个电路元件时用于该电路网的个别检查用数据(在该基板检查装置上使用的数据)，检查时使基板检查装置的探针接触在检查对象基板的表面上设置的、连接于电路网的检查点(例如图2中示出的检查点TP1?TP4)。
[0024]这里，该基板检查装置具有检查电路网用的一个或两个以上的检查功能，并对应于各检查功能具备输出功能和输入功能，前者通过使探针中的任意探针作为输出探针起作用来将检查用的电信号(电压或电流)经由该输出探针输出到检查点，后者通过使探针中的其它任意探针作为输入探针起作用，将由于上述电信号对电路网的输出而在检查点发生的电信号经由该输入探针输入。并且，在模拟中，使用各检查功能中的何种检查功能、对应于该检查功能使各探针中的哪一个作为输出探针和输入探针起作用、且使如此起作用的输出探针和输入探针接触于哪个检查点等这些关于检查的内容被视为检查内容(检查条件)。
[0025]该检查用数据生成方法的基本想法所依据的逻辑是:对于构成电路网的全部电路元件为正常的电路网(也称为正常电路网)和构成该电路网的电路元件中仅特定电路元件存在故障的状态的电路网(也称为故障电路网)这二者，使用关于正常电路网的正常电路网表并且使用关于故障电路网的故障电路网表执行按一项检查内容的模拟(检查模拟)，并在通过对正常电路网的模拟得到的模拟结果(正常时检查结果)和对故障电路网的模拟得到的模拟结果(故障时检查结果)有差异时，使用该项检查内容作为以模拟方式检查该特定电路元件为正常或存在故障时的个别检查用数据。
[0026]现举例具体地说明该检查用数据生成方法。作为一例，就根据相互不同的三个检查内容1、2、3中的任一个来确定在模拟检查某个电路网中包含的多个电路元件中互不相同的三个电路元件A、B、C各自为正常或故障时使用的个别检查用数据(即，在检查电路元件A时使用的个别检查用数据、检查电路元件B时使用的个别检查用数据和检查电路元件C时使用的个别检查用数据)的例子进行说明。再者，假设该电路网中包含的多个电路元件均为正常的正常电路网NO的正常电路网表NEno为已知。
[0027]首先，基于正常电路网表NEno生成仅电路元件A存在故障的故障电路网Na的故障电路网表NEabA、仅电路元件B存在故障的故障电路网Nb的故障电路网表NEabB以及仅电路元件C存在故障的故障电路网Nc的故障电路网表NEabC。
[0028]接着，对正常电路网NO使用正常电路网表NEno来执行按检查内容1的模拟，获得其模拟结果(对于正常电路网N0的按检查内容1的结果(正常时检查结果REnol))。同样地对故障电路网Na使用故障电路网表NEabA来执行按检查内容1的模拟，获得其模拟结果(对于故障电路网Na的按检查内容1的结果(故障时检查结果REabAl));对于故障电路网Nb使用故障电路网表NEabB来执行按检查内容1的模拟，获得其模拟结果(对于故障电路网Nb的按检查内容1的结果(故障时检查结果REabBl));对于故障电路网Nc使用故障电路网表NEabC来执行按检查内容1的模拟，获得其模拟结果(对于故障电路网Nc的按检查内容1的结果(故障时检查结果REabCl))。
[0029]接着，与上述的按检查内容1的模拟时同样地执行按检查内容2的模拟，获得对于正常电路网N0的按检查内容2的结果(正常时检查结果REno2)、对于故障电路网Na的按检查内容2的结果(故障时检查结果REabA2)、对于故障电路网Nb的按检查内容2的结果(故障时检查结果REabB2)以及对于故障电路网Nc的按检查内容2的结果(故障时检查结果REabC2)。并且，与上述的按检查内容1、2的模拟时同样地执行按检查内容3的模拟，获得对于正常电路网N0的按检查内容3的结果(正常时检查结果REno3)、对于故障电路网Na的按检查内容3的结果(故障时检查结果REabA3)、对于故障电路网Nb的按检查内容3的结果(故障时检查结果REabB3)以及对于故障电路网Nc的按检查内容3的结果(故障时检查结果REabC3)。
[0030]从而，得到图5所示的按各检查内容1、2、3的模拟结果，即对于正常电路网N0的各正常时检查结果REnol、REno2、REno3 (以下，不作特别区分时也称为“正常时检查结果REno”)，对于故障电路网Na的各故障时检查结果REabAl、故障时检查结果REabA2、故障时检查结果REabA3(以下，不作特别区分时也称为“故障时检查结果REabA”)，对于故障电路网Nb的各故障时检查结果REabBl、故障时检查结果REabB2、故障时检查结果REabB3 (以下，不作特别区分时也称为“故障时检查结果REabB”)，以及对于故障电路网Nc的各故障时检查结果REabCl、故障时检查结果REabC2、故障时检查结果REabC3 (以下，不作特别区分时也称为“故障时检查结果REabC” )。
[0031]接着，按每项检查内容1、2、3，将正常时检查结果REno与各故障时检查结果REabA、REabB、REabC (以下，不作特别区分时也称为“故障时检查结果REab”)进行比较，判断是否有一个与正常时检查结果REno有差异的故障时检查结果REab存在。
[0032]假设该判断的结果为如图5所示的状态，在按检查内容1的模拟结果中，仅是加框的故障时检查结果REabBl与正常时检查结果REnol有差异；在按检查内容2的模拟结果中，仅是加框的故障时检查结果REabC2与正常时检查结果REno2有差异；在按检查内容3的模拟结果中，仅是加框的故障时检查结果REabA3与正常时检查结果REno3有差异。
[0033]在这种情况下，通过按检查内容1的模拟，仅电路元件B可被检测出存在故障的状态，因此认定使用该检查内容1作为以模拟方式检查该电路元件B为正常或故障时的个别检查用数据。同样地，通过按检查内容2的模拟，仅电路元件C可被检测出存在故障的状态，因此认定使用该检查内容2作为以模拟方式检查电路元件C为正常或故障时的个别检查用数据；通过按检查内容3的模拟，仅电路元件A可被检测出存在故障的状态，因此认定使用该检查内容3作为以模拟方式检查电路元件A为正常或故障时的个别检查用数据。
[0034]接着，参照【附图说明】执行如上述基本概念的检查用数据生成方法的检查用数据生