图2是根据本发明的一些实施例的目标结构110及其背景120 (作为计量学目标元件100的部分)的高级示意图。与现有技术目标元件90相比，所揭示的计量学目标元件100包括分段目标结构110以及分段背景120且使用极化照明以在其之间区分，借此克服在引入分段时弱化对比度的问题。有利的是，所揭示的发明使用不同区域的极化活动的差而非反射性质的差。所揭示的设计原理可应用于任意设计计量学目标中的任意周期性或非周期性目标元件100。
[0026]所揭示的计量学目标包括至少目标结构120，其经布置以具有相对于其在极化光中的背景110的高于特定对比度阈值的高对比度，同时具有相对于其在非极化光中的背景110的于特定对比度阈值的低对比度。特定对比度阈值是由所使用的光学设备给定或可通过依据目标规格调整光学设备而配置。例如，在图2中说明的实例中，目标元件100可用线性极化光照明，其具有平行于目标结构120的分段线的极化130。目标结构120与背景110之间的反射差是由极化照明与分段特征之间的相互作用及其相应方向对所测量信号的影响所致。例如，分段间距、区段的临界尺寸、分段方向及分段图案可在目标结构120与背景110之间变化。
[0027]在某些实施例中，目标结构120包括垂直于目标元件100的背景特征的特征。可在目标结构120的分段特征与背景110之间设定其它角度。例如，任意元件及/或背景的分段可为对角的。在某些实施例中，不同极化更改图案可应用于目标结构120及背景110。照明极化无需为线性的，但是还可为任意其它指定特性(例如，圆形、经调制等)，且分段特征可分别经调适以依实现区分目标结构120与背景110的方式产生改变照明极化的差。
[0028]在某些实施例中，所公开发明允许按细微间距将目标结构120及背景110两者分段，所述细微间距可经选择以类似装置特征。此类目标100与现有技术目标相比更好地展示装置特征，因此提供更准确测量，且仍可使用极化照明精确测量，因此不像现有技术目标一样损及准确度及对比度。
[0029]在某些实施例中，目标结构120与其相应背景110之间的边界区域上的分段线的末端经制作以控制及增强极化照明中的目标结构120与背景110之间的对比度。在某些实施例中，目标结构120可与其背景特征分隔到指定程度(参见，例如下文图4B)。
[0030]在某些实施例中，揭示目标100，其进一步包括目标结构100的区域中的额外层，以维持或增强目标结构120相对于其在极化光中的背景110的对比度。
[0031]图3A到3C是根据本发明的一些实施例的经设计以在极化照明中具有对比度的目标100的高级示意图。从例如层140、150 (分别前一层及当前层，参见图3A)中的条的目标结构开始，目标结构120及其背景110经分段(例如垂直)以在于极化照明中被照明时产生对比度。图3B示意说明实例，其中目标结构120及其背景110在前一层140中被分段，而当前层150中的背景110被保持未分段(其中目标结构120在当前层中分段)。图3C示意说明实例，其中目标结构120及其背景110在前一层140及当前层150两者中被分段。在图3C中，前一层140及当前层150被单独展示作为目标元件100的补充，其中层140、150叠加。前一层140处的目标结构120的区段142及前一层150处的目标结构120的区段152可具有相同或不同尺寸及特性(如间距、末端配置等)。前一层140处的背景110的区段141及前一层150处的背景110的区段152可具有相同或不同尺寸及特性(如间距、末端配置等)。此外，沿不同测量方向(例如，X及y)的分段可具有不同特性。
[0032]在某些实施例中，目标100的一(或更高)阶衍射图案可被测量以增强目标结构120与其背景110之间的对比度。测量一阶SC0L(光瞳平面处)或一阶图像(场平面处)可增强从极化照明导出的信息。零阶衍射图案可通过干涉阻断或移除以进一步增强对比度。
[0033]图4A及图4B是根据本发明的一些实施例的目标100中的分段修改的高级示意图。相对于其中区段互连的图4A，图4B示意说明目标结构120与背景110的分段的间隔分段。弓丨入间隔160可在用极化光照明下改进其间的对比度。间隔160及线端的确切配置可使用模拟或实验设定被执行以进一步增强对比度。目标结构120及背景110的分段间距Pl、p2可相同或不同且沿X及Y方向的分段间距可相同或不同。
[0034]在某些实施例中，间隔160可经布置以可在使用或不使用极化照明的情况下测量。例如，间隔160可约为lOOnm宽的量值。间隔160可经配置以进一步增强极化照明测量的对比度。
[0035]在某些实施例中，使用极化光测量实现将目标结构120及/或背景110分段及使其因此更工艺兼容，而使用极化光取代非极化照明用于测量维持乃至增强目标结构120与背景110之间相对于未分段目标结构120及/或背景110的对比度。
[0036]例如，图4C是极化光及非极化光中的连续背景91(相较于上文图1B)上的分段目标结构92的测量的模拟结果(针对类似A頂目标)的示意图，其说明前者的好得多的对比度。图4C进一步说明结合分段背景110上的分段目标结构120的极化照明的测量(相较于图2)，其在非极化照明下根本不产生对比度。虽然与目标结构92相比，极化光测量产生针对目标结构120的较小对比度，但是其仍产生比未分段背景91上的目标结构92的测量高的对比度且具有比后者更工艺兼容的显著优点。此外，分段间距的调整实现相对于测量条件的对比度的调整，如通过改变相对于三个背景间距P，P3〈P2〈Pl的变化对比度所示(在所说明的情况中，间距越小，极化照明下的对比度越高)。此外，如果对比度阈值处于或低于通过非极化照明实现的值，那么任意极化光测量低于阈值，因此提供针对测量的足够对比度。
[0037]在某些实施例中，目标100的计量学测量可通过多种获取技术及在不同测量条件下执行，例如，使用以下任意者:不同极化方向(例如，减小相对于方向130的正交极化的结果)、光谱变化(颜色)、聚焦变化、不同数值孔径(NA)大小等。结合极化照明的数次测量可被组合以增强目标结构在合成图像中的对比度。例如，改变测量之间的聚焦或改变测量之间的波长可提供进一步信息，其增强极化光测量下的对比度。
[0038]图5A到5F是根据本发明的一些实施例的通过利用通过极化光的测量而维持对比度的工艺兼容目标设计100的高级示意图。目标100中的不同区域的极化活动的差可用于取代或补充反射性质的差导出计量学测量。例如，取决于材料的极化活动及分段间距，线性极化光可用于区分具有水平线的区域与具有垂直线的区域。使用极化光可因此实现设计具有特征及中间间隔的目标，其具有装置特征及间隔的量值或量级的尺寸以改进所测量的目标覆盖及装置覆盖的对应性。
[0039]图5A到5E通过说明前一层140、当前层150及所得复合目标100而示意说明根据本发明修改的共同目标设计。任一层中的目标结构由数字120标注，而分段背景如上所述由数字110标注。实例不在分段细节方面具有限制性(其可根据特定要求修改及调适)，且其也不在精准目标设计方面具有限制性，但是用于说明所揭示设计原理到共同目标设计的实施。
[0040]图5A到5C示意说明实现二维覆盖测量的类AMID目标的替代设计。类似原理可应用于其它目标设计，例如BiB及Blossom目标。虽然以非限制方式，所有三个设计在前一层140处具有相同背