平基板检验装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型大体涉及自动光学检验，且具体而言，涉及对大的平基板(flatsubstrate)的检验。
【背景技术】
[0002]在本领域中，已知有各种装置用于对图案化平基板(例如，平板显示器)进行自动光学检验(automated optical inspect1n ;A0T)。此种装置的一个例子为由奥宝科技股份有限公司(Orbotech Ltd.)(位于以色列亚夫内(Yavne, Israel))销售的Supervis1nAOI System0
[0003]此种装置也在专利文献中有所描述。例如，美国专利7，386，161描述了一种同时存在低分辨率/高分辨率的并行扫描装置及在检验装置对平坦物体(例如，面板显示器中所用的大的平板)的扫描过程中使用的方法。低分辨率缺陷探测有效地与其中会自动界定并分析缺陷的高分辨率缺陷查看及分类阶段交叠及平行。所述装置据说尤其适用于探测沉积有集成电路的用于形成LCD平板显示器的大玻璃板上的图案缺陷。
[0004]再例如，美国专利申请公开2010/0309308描述了一种用于检验的设备，所述设备包括成像总成，所述成像总成包括多个照相机，所述多个照相机在所述成像总成中分别安装于不同的位置处并分别用以拍摄样品的图像。运动总成用以使所述成像总成与所述样品至少其中一者移动以使所述成像总成扫描所述样品。图像处理器被耦接成接收并处理由照相机所拍摄的图像，从而以比成像总成的位置公差(posit1n tolerance)更精细的位置精度来确定缺陷在样品中的位置。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的实施例提供使用多个光学检验模块来平行地扫描平基板的检验装置。
[0006]因为解决上述技术问题，本实用新型提供一种平基板检验装置，包括:
[0007]平台，用以接收平基板并沿扫描方向传送所述平基板经过扫描区；以及
[0008]扫描桥，安装于所述扫描区上方并包括:
[0009]两个或更多个平行轨道，沿与所述扫描方向横交的轨道方向跨越所述扫描区延伸；
[0010]第一多个安装座，沿所述轨道中的每一者在间隔开所选间距的各自位置处被扣紧至所述轨道，从而可通过沿所述轨道滑动所述安装座来调节所述位置及所述间距；以及
[0011]第二多个光学检验模块，分别在所述各自位置处被固定至所述安装座，以在所述扫描区内拍摄所述平基板的相应区域的图像。
[0012]本实用新型的一个实施例中，所述两个或更多个平行轨道包括至少第一轨道及第二轨道，且其中所述安装座在所述第一轨道上的所述各自位置相对于所述安装座在所述第二轨道上的所述各自位置沿所述横向方向错列。
[0013]本实用新型的一个实施例中，所述两个或更多个平行轨道包括第三轨道，且其中所述安装座在所述第三轨道上的所述各自位置相对于所述安装座在所述第一轨道及所述第二轨道上的所述各自位置沿所述横向方向错列。
[0014]本实用新型的一个实施例中，所述扫描桥具有第一错列配置及第二错列配置，在所述第一错列配置中，所述第一轨道及所述第二轨道上的所述安装座间隔开第一间距，在所述第二错列配置中，所述第一轨道及所述第二轨道上的所述安装座间隔开第二间距，所述第二间距是所述第一间距的至少两倍。
[0015]本实用新型的一个实施例中，所述扫描桥包括多个安装销，使得每一安装销啮合所述安装座中以及所述光学检验模块中的对应一者，以将所述光学检验模块中的所述一者在预定位置固定至所述安装座中的所述一者。
[0016]本实用新型的一个实施例中，包括调整夹具，所述调整夹具具有一对插口，所述一对插口用以啮合所述轨道中的一者上的对应一对所述安装座的所述安装销，所述一对插口并用以在所述安装座被扣紧至所述轨道中的所述一者时使被啮合的所述安装销保持于所述所选间距。
[0017]本实用新型的一个实施例中，所述扫描桥包括运动总成，所述运动总成用以调整所述扫描桥相对于所述平基板的高度与横向位置至少其中一者。
[0018]本实用新型的一个实施例中，包括至少一个视频桥，所述至少一个视频桥以平行于所述扫描桥的设置方式安装于所述平台上方并包括一个或多个照相机，所述一个或多个照相机可在所述横向方向上移动以在所述平基板的所选区域的所述扫描区外拍摄图像。
[0019]本实用新型的一个实施例中，所述至少一个视频桥包括两个视频桥，所述两个视频桥分别在所述扫描桥的相对两侧上安装于所述平台上方。
[0020]本实用新型的一个实施例中，包括多个背光照明源，所述多个背光照明源安装于所述平台的表面之下并分别与所述光学检验模块对齐，且用以通过所述平台中的间隙对所述基板进行背光照明。
[0021]本实用新型平基板检验装置，具有可调整的光学检验模块阵列的检验装置，所述检验装置容许扫描密度因应用要求而异。在所公开的实施例中，所述检验装置包括:平台，用以接收平基板并沿某一方向(被称为扫描方向)传送所述平基板；以及扫描桥，在所述平台上安装于所述基板的某一区(被称为扫描区)上方。所述扫描桥包括两个或更多个平行轨道，所述两个或更多个平行轨道沿与所述扫描方向横交的方向跨越所述扫描区延伸。多个安装座沿所述轨道中的每一者在间隔开所选间距的各自位置处被扣紧至所述轨道。光学检验模块被固定至所述安装座并在所述扫描区内拍摄所述基板的相应区域的图像。可通过沿所述轨道滑动所述安装座来调整所述安装座的、以及因此所述光学检验模块及其成像区域的位置及间距。
[0022]通常安装座在各不同轨道上的各自位置相对于彼此沿横交方向错列。扫描桥支持各种不同的错列配置，在所述各种不同的错列配置中，安装座与光学检验模块间的间距可相差两倍或更多倍。扫描桥相对于平基板的高度及可能横向位置也可改变。这样，可支持多个不同水平的分辨率及扫描速度/时间。
【附图说明】
[0023]在结合附图阅读以下对本实用新型实施例的详细说明之后，将更充分地理解本实用新型，其中:
[0024]图1为根据本实用新型实施例的检验装置的示意性图解；
[0025]图2为根据本实用新型实施例的在检验装置中使用的扫描桥的示意性图解；
[0026]图3为根据本实用新型实施例的光学检验模块的示意性侧视图；
[0027]图4为根据本实用新型实施例安装于扫描桥上的光学检验模块的示意性详视图；
[0028]图5为根据本实用新型实施例用以调整光学检验模块在一扫描桥中的位置的夹具的不意性图解；
[0029]图6A至图6C为根据本实用新型实施例的扫描桥的示意性俯视图，其分别显示光学检验模块在扫描桥中的不同部署配置；
[0030]图7为根据本实用新型另一实施例的检验装置的示意性俯视图；以及
[0031]图8为根据本实用新型实施例显示检验装置的细节的示意性剖视图。
[0032]【主要元件标记说明】
[0033]20检验装置22基板24平台
[0034]26底架28空心杆30夹持器
[0035]32扫描桥34光学检验模块35运动总成
[0036]36视频桥38计算机化控制器40框架
[0037]42平行轨道44安装座50照明总成
[0038]52目标光学器件54图像传感器56保护罩
[0039]58安装支架60安装销62螺钉
[0040]64带螺纹插口 66螺钉70夹具[0041 ]72保持器74插口 76间隔杆
[0042]78夹片80装置82视频桥
[0043]84视频桥86照相机90背光照明源。
【具体实施方式】
[0044]上述美国专利申请公开2010/0309308描述了一种成像总成，在所述成像总成中，多个照相机沿与扫描方向横交的至少第一排及第二排布置于各自位置处，且所述照相机在所述第一排中的各自位置相对于所述照相机在所述第二排中的位置沿横交方向错列。此布置方式适用于在检验基板时达成高的采样密度。
[0045]本文所述的本实用新型实施例提供一种具有可调整的光学