则该位置为最强相长干涉，如此使得本实施例的激光干涉仪实现抗环境干扰的能力。
[0062]作为本实施例的优选方案，本实施例的标定方法还包括有步骤四、生成最弱干涉数据库:在空气洁净的环境下控制所述磁性微位移平台10，使第二位移件105移动，当射向所述干涉测量光电探测器4的干涉光束为最弱相消干涉时停止所述磁性微位移平台10，使第二位移件105固定，记录此时反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器6读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器6读数以及对应的干涉测量光电探测器4读数，得到最弱干涉数据库。
[0063]作为进一步的优选方案，本申请的标定方法还包括有步骤五、生成I/η波长干涉数据库，η为大于或等2的正整数:在空气洁净的环境下控制所述磁性微位移平台10，使第二位移件105移动，当射向所述干涉测量光电探测器4的干涉光束为最强相长干涉时，再继续移动1/2η波长的距离，记录此时反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数，然后改变空气环境使所述反射测量光电探测器6读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器6读数以及对应的干涉测量光电探测器4读数，得到I/η波长干涉数据库。
[0064]在两束激光发生干涉时，相邻的最强相长干涉与最弱相消干涉之间的光程差为半个波长，在本申请的标定方法中，对最强相长干涉、最弱相消干涉、I/η波长干涉都进行了标定，也就是说，在采用本申请的激光干涉仪进行实际测量时，可以根据反射测量光电探测器6读数和干涉测量光电探测器4读数与最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中的数据进行比对，根据数据的匹配情况确定该位置是最强相长干涉、最弱相消干涉还是I/η波长干涉。使得本申请的激光干涉仪不仅能够抗环境干扰，而且还提高了测量精度。
[0065]实施例3，如图示，一种采用磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪和标定方法的测量方法:
[0066]在实际测量环境中，设所述反射测量光电探测器6测量到的信号读数为X，所述干涉测量光电探测器4测量得到的信号读数为y，将X值和y值在最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中进行比对，当X值和y值与最强干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最强相长干涉位置，当X值和y值与最弱干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为最弱相消干涉位置，当X值和I值与I/η波长干涉数据库中的某一组值相匹配，则认为此位置为I/η波长干涉位置。
[0067]本实施例的测量方法，通过X值和y值确定当前干涉光束的干涉情况，以此实现抗环境干扰的能力，同时还提高了测量精度。
[0068]作为本实施例的优选方案，设定y值的匹配阈值△，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中干涉测量光电探测器对应的数值为y’，根据X值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库进行y’的查询，如果存在y’使| y-y’ |〈Λ，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果r在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果r在I/η波长干涉数据库内，则认为此位置为I/η波长干涉位置。
[0069]作为进一步的优选方案，设最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库中反射测量光电探测器对应的数值为X’，在实际测量中，选择最接近实际测量值X的X’作为匹配值，根据X’值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库进行y’进行查询，如果存在y’使|y_y’ I〈 Λ，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果I，在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果y’在I/η波长干涉数据库内，则认为此位置为I/η波长干涉位置。
[0070]作为本实施例的优选方案，所述匹配阈值△的大小保证在进行数据查询时，当满足|y-y’ <Δ时，y’为唯一值。当匹配阈值Λ较大时，可能会出现一组χ值和y值匹配到两组或者多组X’值和y’值，给测量带来不便，所以先匹配阈值Δ，使在测量过程中一组χ值和I值最多匹配一组X’值和I’值，方便测量。
[0071]作为本实施例的优选方案，所述匹配阈值△的大小按照实际测量的精度要求进行设定，当需要高精度的测量值时，采用较小的匹配阈值，当不需要高精度测量值而希望较快测量时，采用较大的匹配阈值。
[0072]作为进一步的优选方案，设Δ = 5%。
[0073]在本实施例的测量方法中，通过设置匹配阈值△，根据实际测量精度的需要设置匹配阈值△的大小，以此方便测量过程中，数据的匹配选择，降低测量难度。
[0074]以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但本发明不局限于上述【具体实施方式】，因此任何对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源射出的激光束经所述分光镜组后分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述微动平面反射镜，经所述微动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第二激光束射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第一激光束与第二激光束在射向所述干涉测量光电探测器时发生干涉，其特征在于，所述磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器，所述第二激光束在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器； 所述磁性微位移平台，包括有支撑平台和设置在所述支撑平台上的位移装置，所述支撑平台上设置有第一位移件，所述第一位移件与所述位移装置连接，所述位移装置带动所述第一位移件沿所述支撑平台运动，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑动设置有第二位移件，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述支撑平台上还设置有约束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述位移装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，O < A< 45，所述第一位移件与所述支撑平台之间还设置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件与所述磁性件为异性相吸状态，所述微动平面反射镜设置在所述第二位移件上，随第二位移件运动。2.如权利要求1所述的磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述分光镜组包括有第一分光镜和第二分光镜，所述激光源射出的激光束先射到第一分光镜，经第一分光镜反射形成第一激光束，经第一分光镜透射形成第二激光束，第一激光束射向所述微动平面反射镜，经反射后再次射向所述第一分光镜，然后再透射过所述第一分光镜，所述第二激光束射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述第一分光镜，并且与从所述第一分光镜透射出的第一激光束发生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉测量光电探测器，由所述移动平面反射镜射向所述第二分光镜的所述第二激光束还被所述第二分光镜反射形成所述反射激光束。
【专利摘要】本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN204705316
【申请号】CN201520452679
【发明人】周春艳, 张白
【申请人】北方民族大学
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年6月29日