检验用干涉测量准直系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种基于扩展光源的检验用干涉测量准直系统，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/1提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
[0003]现阶段的商用移相干涉仪，往往受到相干噪声的严重影响，干涉测试的精度很难进一步得到提高，并且检测到的光学元件面型信息往往丢失了部分高频段的面型误差，无法满足对高功率固体激光驱动装置中的大口径光学元件的检测要求。正因如此，抑制系统的相干噪声，提高干涉系统的信噪比，扩展它的测量空间频率范围，消除非测量面杂散光干扰，一直是研制大口径高分辨率干涉系统的核心难题之一。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种检验用干涉测量准直系统，由激光光源、分光棱镜、耦合系统、干涉腔、准直镜、成像透镜、CCD、计算机和滤光器构成，按照光路方向依次设置激光光源、分光棱镜、親合系统、滤光器和干涉腔，在分光棱镜与激光光源发射激光方向垂直的方向设置有准直镜和CCD，所述计算机分别与CCD和滤光器连接。
[0006]优选的，上述耦合系统由多个透镜构成。
[0007]优选的，上述激光光源为单色光源。
[0008]优选的，上述干涉腔由参考镜和被测镜构成。
[0009]优选的，上述成像透镜设置在准直镜和CXD之间。
[0010]本实用新型提供的检验用干涉测量准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]附图标记:1_激光光源；2_分光棱镜；3_親合系统；4_干涉腔；5_准直镜；6-成像透镜；7_CCD ;8_计算机；9_滤光器。
【具体实施方式】
[0013]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型提供的检验用干涉测量准直系统，由激光光源1、分光棱镜2、耦合系统3、干涉腔4、准直镜5、成像透镜6、(XD7、计算机8和滤光器9构成，按照光路方向依次设置激光光源1、分光棱镜2、親合系统3、滤光器9和干涉腔4，在分光棱镜2与激光光源I发射激光方向垂直的方向设置有准直镜5和(XD7，所述计算机8分别与(XD7和滤光器9连接。
[0015]其中，耦合系统3由多个透镜构成。激光光源I为单色光源。干涉腔4由参考镜和被测镜构成。成像透镜6设置在准直镜5和(XD7之间。
[0016]本实用新型提供的检验用干涉测量准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。
[0017]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种检验用干涉测量准直系统，其特征在于:检验用干涉测量准直系统由激光光源(I)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜出)、CCD(7)、计算机(8)和滤光器(9)构成，按照光路方向依次设置激光光源(I)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、滤光器(9)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(I)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD (7)，所述计算机(8)分别与CCD (7)和滤光器(9)连接。2.根据权利要求1所述的检验用干涉测量准直系统，其特征在于:所述耦合系统(3)由多个透镜构成。3.根据权利要求1所述的检验用干涉测量准直系统，其特征在于:所述激光光源(I)为单色光源。4.根据权利要求1所述的检验用干涉测量准直系统，其特征在于:所述干涉腔(4)由参考镜和被测镜构成。5.根据权利要求1所述的检验用干涉测量准直系统，其特征在于:所述成像透镜(6)设置在准直镜(5)和CXD (7)之间。
【专利摘要】本实用新型涉及一种检验用干涉测量准直系统，由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)、CCD(7)、计算机(8)和滤光器(9)构成，按照光路方向依次设置激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、滤光器(9)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(1)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD(7)，所述计算机(8)分别与CCD(7)和滤光器(9)连接。本实用新型提供的检验用干涉测量准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。
【IPC分类】G01J9/02
【公开号】CN204807213
【申请号】CN201520388358
【发明人】陈小梅
【申请人】陈小梅
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年6月3日