控制流程的处理方法、装置、电子设备和存储介质与流程

本发明实施例涉及一种通信技术领域，特别是一种控制流程的处理方法、装置、电子设备和存储介质。

背景技术：

电气系统是由供电组合部件构成的系统。例如发电机、升压、降压变压器、输电线路和电力用户设备构成的系统。

电气系统利用三种控制逻辑(顺序结构、选择结构、循环结构)来实现对设备的控制流程。

控制逻辑用于指示执行单元如何执行动作，包括满足什么样的条件下开始以及持续多久。

现有技术中通常直接向执行单元发送控制命令，使执行单元执行控制命令，近似于扁平化管理。其中，控制逻辑与要做的事情(设备控制流程)是混合在一起的，电气系统的管理控制比较混乱，导致系统整体的效率低。

目前，现有技术还没有相应的方法来解决上述问题。

技术实现要素：

针对现有技术的缺陷，本发明实施例提供一种控制流程的处理方法、装置、电子设备和存储介质。

一方面，本发明实施例提供一种控制流程的处理方法，所述方法包括：

匹配二叉树：根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与所述控制流程对应的二叉树；

所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件；所述叶子结点为控制实体，每一所述控制实体存储一个控制子流程，所述控制子流程是将所述控制流程划分得到的；

输出：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足所述条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程。

另一方面，本发明实施例提供一种控制流程的处理装置，所述装置包括：

匹配模块，用于匹配二叉树：根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与所述控制流程对应的二叉树；

所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件；所述叶子结点为控制实体，每一所述控制实体存储一个控制子流程，所述控制子流程是将所述控制流程划分得到的；

输出模块，用于将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足所述条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程。

另一方面，本发明实施例还提供一种电子设备，包括存储器、处理器、总线以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现以上方法的步骤。

另一方面，本发明实施例还提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如上方法的步骤。

由上述技术方案可知，本发明实施例提供的控制流程的处理方法、装置、电子设备和存储介质，所述方法通过查找预先构建的二叉树实现控制流程的处理，本发明预先构建的二叉树实现了逻辑实体和控制实体分离，从而可以实现对电气系统的高效控制。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种控制流程的处理方法的流程示意图；

图2为本发明实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图；

图3为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图；

图4为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图；

图5为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图；

图6为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图；

图7为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的action的二叉树示意图；

图8为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的operation的二叉树示意图；

图9为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的flow的二叉树示意图；

图10为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理装置的结构示意图；

图11为本发明又一实施例提供的一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本发明实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。

本发明实施例的术语解释：

控制流程是电气系统运行的一系列的流程，控制流程是由多个动作构成的，动作包括执行单元以及动作，执行单元按照控制逻辑的指示，执行相应的动作，使得系统有序运行。

所述方法应用至半导体设备的控制流程，举例来说，半导体设备包括mocvd(metal-organicchemicalvapordeposition，金属有机化学气相沉积)设备、pvd(physicalvapordeposition，物理气相沉积)设备、elo(epitaxialliftoff,外延层剥离)设备、抛光(polisher)设备、喷墨打印设备或清洗设备等。

本发明实施例以电气系统为mocvd(metal-organicchemicalvapordeposition，金属有机化学气相沉积)设备为例进行说明。

在mocvd设备的生产中，涉及到衬底的装载/卸载、衬底装载工具的选取、衬底或衬底装载工具的传输、压力控制、温度控制、加热、冷却、气体控制、阀门控制等一系列的控制流程。

实施例1

图1示出了本发明实施例提供的一种控制流程的处理方法的流程示意图。

图2示出了本发明实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图。

如图1和图2所示，本发明实施例提供的方法具体包括以下步骤：

步骤11、匹配二叉树：根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与所述控制流程对应的二叉树；

所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件；所述叶子结点为控制实体，每一所述控制实体存储一个控制子流程，所述控制子流程是将所述控制流程划分得到的；

可选地，预先建立多个二叉树，每一二叉树对应一个控制流程。

可选地，所述逻辑结点是本发明新设置的用于存储判断的条件的逻辑实体。

可选地，所述逻辑实体用于表示电气系统中的控制逻辑，无论多复杂的控制均可通过顺序、选择、循环3种基本控制结构构造出来。顺序结构为依次顺序执行，例如if，满足存储的条件，则执行子结点；选择结构为执行一者或另一者，例如，elseif、else和case，若满足存储的条件，执行一个子结点，满足存储的另一种条件，执行另一个子结点；循环结构为反复执行，或在满足存储的条件时才结束执行，例如，loop、while。

可选地，所述叶子结点是没有子结点的终点，用于输出二叉树的查询结果。

可选地，所述叶子结点是本发明设置的控制实体，用于存储一个控制子流程，控制实体为控制对象。

可选地，将所述控制流程按照预设的规则进行划分，得到一个或多个控制子流程。

可选地，进行二叉树的匹配，确定一棵与所述控制流程对应的二叉树。

步骤12、输出：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足所述条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程；

可选地，所述操作数据包括压力参数、温度参数、气体参数、速度、流量或控制信号(如阀门开关)等，与控制流程相对应。

可选地，将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树进行查找。

可选地，二叉树的查询路径为逻辑结点→叶子结点，即输入操作数据后，先读取逻辑实体，根据逻辑实体的条件，若判断获知所述操作数据满足所述条件，读取逻辑实体对应的子结点，也就是所述控制实体对应的控制子流程。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过查找预先构建的二叉树实现控制流程的处理，预先构建的二叉树实现了逻辑实体和控制实体分离，从而可以实现对电气系统的高效控制。

实施例2

图3为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图。

如图3所示，在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，

所述二叉树还包括路由结点，所述路由结点用于连接所述逻辑实体和所述控制实体；所述控制实体与所述逻辑结点或所述路由结点连接。

可选地，路由结点是本发明新增的结点，如图3所示，所述路由结点可以连接所述逻辑实体和所述控制实体。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过设置路由结点，可以更顺利的查找二叉树。

实施例3

图4为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图。

如图4所示，在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，将所述控制流程划分为两级控制子流程，一级控制子流程包括一个或多个二级控制子流程，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个一级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为二级控制子流程。

若判断获知所述操作数据满足所述一级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个二级控制子流程。

可选地，在本发明实施例中，可按照预设的划分标准将所述控制流程划分为两级控制子流程，一级控制子流程包括一个或多个二级控制子流程。

可选地，所述控制流程包括一个或多个一级控制子流程，每一一级控制子流程包括一个或多个二级控制子流程。

可选地，预先建立一个或多个所述一级控制子流程对应的二叉树，在所述操作数据满足控制流程的逻辑实体的条件后，输出所述控制实体对应的控制子流程具体为：匹配一个或多个所述一级控制子流程对应的二叉树，得到对应的一个或多个二叉树；

若匹配得到一个所述一级控制子流程对应的二叉树，经过二叉树的逻辑实体的判断，可输出一个或多个所述二级控制子流程。

若匹配得到多个所述一级控制子流程对应的二叉树，针对每一二叉树，都可以输出一个或多个所述二级控制子流程。

可选地，所述操作数据包括压力参数、温度参数、气体参数、速度、流量或控制信号(如阀门开关)等，与控制流程相对应，还包括各层级控制子流程涉及的操作数据。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过将所述控制流程划分为两级，在所述操作数据满足控制流程的逻辑实体的条件后，还查找所述一级控制子流程对应的二叉树，得到所述二级控制子流程。

实施例4

图5为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图。

如图5所示，在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，将所述控制流程划分为三级控制子流程，二级控制子流程包括一个或多个三级控制子流程，所述三级控制子流程为最小控制流程，相应地，

输出一个或多个所述二级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个二级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为三级控制子流程；

若判断获知所述操作数据满足所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个三级控制子流程。

可选地，在本发明实施例中，可按照预设的划分标准将所述控制流程划分为三级控制子流程，一级控制子流程、二级控制子流程和三级控制子流程。

可选地，预先建立一个或多个所述二级控制子流程对应的二叉树，在所述操作数据满足一级控制子流程的逻辑实体的条件后，输出一个或多个二级控制子流程具体为：匹配一个或多个所述二级控制子流程对应的二叉树，得到对应的一个或多个二叉树；

经过每一所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的判断，若所述操作数据满足每一所述二级控制子流程的逻辑实体的条件，则输出一个或多个所述三级控制子流程。

应当说明的是，所述三级控制子流程是最小控制流程。

若匹配得到一个所述二级控制子流程对应的二叉树，经过二叉树的逻辑实体的判断，可输出一个或多个所述三级控制子流程。

若匹配得到多个所述二级控制子流程对应的二叉树，针对每一二叉树，都可以输出一个或多个所述三级控制子流程。

可选地，所述操作数据包括压力参数、温度参数、气体参数、速度、流量或控制信号(如阀门开关)等，与控制流程相对应，还包括各层级控制子流程涉及的操作数据。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过将所述控制流程划分为三级，在所述操作数据满足一级控制子流程的逻辑实体的条件后，还查找所述二级控制子流程对应的二叉树，得到一个或多个最小控制流程，即所述三级控制子流程。

实施例5

在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种；

相应地，输出一个或多个所述三级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个三级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为所述离散数据、簇数据、报警或消息；

若判断获知所述操作数据满足所述三级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出所述离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。可选地，在本发明实施例中，所述三级控制子流程具体涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

可选地，预先建立一个或多个所述三级控制子流程对应的二叉树，在所述操作数据满足二级控制子流程的逻辑实体的条件后，输出一个或多个三级控制子流程具体为：匹配一个或多个所述三级控制子流程对应的二叉树，得到对应的一个或多个二叉树；

经过每一所述三级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的判断，若所述操作数据满足每一所述三级控制子流程的逻辑实体的条件，则输出该逻辑实体对应的叶子结点，使得所述三级控制子流程执行对应的叶子结点(所述离散数据、簇数据、报警或消息)。

可选地，离散数据表示发送的控制命令相对简单。举例来说，所述控制实体为电机上电的操作，电机上电的操作为发送二进制1至电机，电机执行一次上电动作就可以实现电机上电这个操作。

可选地，簇数据表示发送的控制命令相对复杂。簇数据是一大串控制字符，对于一些复杂的无法用0/1表示的控制命令，如电机旋转，需指示转向、转速等参数，则发送包括簇数据的控制命令至电机。

可选地，报警是一种特殊的消息体，表示系统的操作数据的指标超过门限或设备发生故障。

可选地，消息为常规消息。

若匹配得到一个所述三级控制子流程对应的二叉树，经过二叉树的逻辑实体的判断，可输出所述离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

若匹配得到多个所述三级控制子流程对应的二叉树，针对每一二叉树，都可以输出所述离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过三级控制子流程执行对应的叶子结点(所述离散数据、簇数据、报警或消息)，实现精细化作业。

实施例6

在上述实施例1-5的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述控制实体为离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种，相应地，输出的步骤，具体为：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足另一个或多个逻辑结点的条件，则输出所述控制实体对应的离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

可选地，所述二叉树包括多个控制实体，其中控制实体可以存储控制子流程，也可以存储离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

可以理解的是，若判断获知所述操作数据满足控制子流程的逻辑结点的条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程。

同样地，若判断获知所述操作数据满足另一个或多个逻辑结点(即离散数据、簇数据、报警、消息的逻辑结点)的条件，则输出所述控制实体对应的离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

可选地，离散数据表示发送的控制命令相对简单。举例来说，所述控制实体为电机上电的操作，电机上电的操作为发送二进制1至电机，电机执行一次上电动作就可以实现电机上电这个操作。

可选地，簇数据表示发送的控制命令相对复杂。簇数据是一大串控制字符，对于一些复杂的无法用0/1表示的控制命令，如电机旋转，需指示转向、转速等参数，则发送包括簇数据的控制命令至电机。

可选地，报警是一种特殊的消息体，表示系统的操作数据的指标超过门限或设备发生故障。

可选地，消息为常规消息。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过将控制实体分为离散数据、簇数据、报警、消息，实现精细化作业。

实施例7

图6为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的二叉树示意图。

如图6所示，在上述实施例1-6的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述逻辑实体存储与子控制流程的并发性相关的判断的条件，所述控制子流程是将控制流程根据并发性进行划分得到的；

若判断获知所述控制子流程为同步的控制流程，则输出所述同步的控制流程；若判断获知所述控制子流程为异步的控制流程，则输出所述异步的控制流程。

可选地，同步的控制流程和异步的控制流程是预先针对电气系统中的控制流程的各个子流程或动作，按照并发性进行划分得到的。

可选地，并发性表示两个或两个以上子流程和/或动作是同步还是异步，同步的控制流程表示执行单元必须等待某一控制子流程或动作执行完后，才能开始去执行另一子流程或动作称为同步，异步的控制流程表示执行单元不必等待某一控制子流程或动作执行完，就可以去做其他的事情称为异步。

例如，对于阀门开关这一控制流程，一号阀门的开启后，二号阀门才能开启，一号阀门、二号阀门的开启流程称为同步；二号阀门的开启的时间无需配合一号阀门，可根据自身的需求开启，一号阀门、二号阀门的开启流程称为异步。

现有技术中不对同步和异步的控制流程进行区分，同步异步控制混乱，而本发明实施例中很好的区分同步和异步的控制流程，从而实现高效率的查找。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。本实施例提供的控制流程的处理方法，通过判断所述控制子流程为同步的控制流程还是异步的控制流程，可以很好的区分同步和异步的控制流程。

实施例8

在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述同步的控制流程包括第一控制子流程和第二控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程是根据所述同步的控制流程划分得到的，所述第一控制子流程包括第一控制子流程的结束时刻，所述第二控制子流程包括第二控制子流程的开始时刻，所述第二控制子流程的开始时刻等于或晚于所述第一控制子流程的结束时刻。

可选地，同步的控制流程包含两个控制流程，后一个控制流程开始的时刻是前一个控制流程执行完成的时刻或晚于前一个控制流程执行完成的时刻，则可将同步的控制流程进行分割，分割为前一个控制流程：第一控制子流程以及后一个控制流程：第二控制子流程。

可选地，所述逻辑实体存储判断的条件为前一个控制流程结束的时刻与后一个时刻的时间差，若判断所述同步的控制流程中时间差满足所述条件，则直接输出第一控制子流程和第二控制子流程。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过考虑到控制流程中同步的控制流程的复杂性，可将同步的控制流程进一步分割，输出第一控制子流程和第二控制子流程，从而保证控制流程的同步。

实施例9

在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述同步的控制流程为一级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为二级控制子流程，所述二级控制子流程是根据所述一级控制子流程划分得到的控制子流程；

或者，

所述同步的控制流程为二级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是根据所述二级控制子流程划分得到的最小控制流程。

在一种实施方式中，同步的控制流程为一级控制子流程，包括第一控制子流程和第二控制子流程两个二级控制子流程，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配两个一级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为二级控制子流程。

若判断获知所述操作数据满足所述一级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则先输出一个二级控制子流程，再输出另一个二级控制子流程。

在另一种实施方式中，同步的控制流程为二级控制子流程，包括第一控制子流程和第二控制子流程两个三级控制子流程，三级控制子流程为最小控制流程，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配两个二级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为三级控制子流程。

若判断获知所述操作数据满足所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则先输出一个三级控制子流程，再输出另一个三级控制子流程。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过考虑到控制流程中同步的控制流程的复杂性，可将同步的控制流程进一步分割，输出对应的控制子流程，从而实现精细化控制。

实施例10

在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述异步的控制流程包括多个第三控制子流程，所述第三控制子流程是根据所述异步的控制流程划分得到的。

可选地，异步的控制流程表示多个控制流程是异步的，将异步的控制流程进行分割，分割为更小的控制子流程：第三控制子流程。

可选地，异步的控制流程的划分方式有多种，本发明实施例以其中两种为例进行说明。

所述异步的控制流程为一级控制子流程，所述第三控制子流程为二级控制子流程；

或者，

所述异步的控制流程为二级控制子流程，所述第三控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是最小控制流程。

在一种实施方式中，异步的控制流程为一级控制子流程，包括多个第三控制子流程，所述第三控制子流程为二级控制子流程，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配多个一级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为二级控制子流程。

若判断获知所述操作数据满足所述一级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出多个二级控制子流程。

在另一种实施方式中，异步的控制流程为二级控制子流程，包括多个第三控制子流程，所述第三控制子流程为三级控制子流程，三级控制子流程为最小控制流程，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配多个二级控制子流程对应的二叉树，所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为三级控制子流程。

若判断获知所述操作数据满足所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出多个三级控制子流程。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过考虑到控制流程中异步的控制流程的复杂性，可将异步的控制流程进一步分割，输出第三控制子流程。

实施例11

在上述实施例的基础上，本发明又一实施例提供的控制流程的处理方法，所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

可选地，由所述同步的控制流程划分得到的所述三级控制子流程，所述三级控制子流程先执行一个离散数据、簇数据、报警或消息，再执行另一个离散数据、簇数据、报警或消息。

同样地，由所述异步的控制流程划分得到的所述三级控制子流程，所述三级控制子流程可执行一个或多个离散数据、簇数据、报警、消息。

离散数据表示发送的控制命令相对简单。举例来说，所述第一子控制实体为电机上电的操作，电机上电的操作为发送二进制1至电机，电机执行一次上电动作就可以实现电机上电这个操作。

可选地，簇数据表示发送的控制命令相对复杂。簇数据是一大串控制字符，对于一些复杂的无法用0/1表示的控制命令，如电机旋转，需指示转向、转速等参数，则发送包括簇数据的控制命令至电机。

可选地，报警是一种特殊的消息体，表示系统的操作数据的指标超过门限或设备发生故障。

可选地，消息为常规消息。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，通过将控制实体分为离散数据、簇数据、报警、消息，实现精细化作业。

实施例12

在上述实施例的基础上，所述逻辑实体存储与控制实体的并发性相关的判断的条件；

若判断获知两个所述控制实体为同步，则输出同步的控制实体；若判断获知多个所述控制实体为异步，则输出异步的控制实体。

所述控制实体存储控制子流程或离散数据、簇数据、报警、消息。

所述控制实体存储一级控制子流程、二级控制子流程或三级控制子流程某一层级的控制子流程，及离散数据、簇数据、报警、消息。

在一种实施方式中，某一预先建立的二叉树上的某两个控制实体为同步，相应地，所述输出具体为：

先输出一个逻辑结点的一个控制子流程(一级控制子流程、二级控制子流程或三级控制子流程某一层级的控制子流程)，再输出该逻辑结点或另一逻辑结点的与该控制子流程同步的控制实体，该控制实体可以是另一个控制子流程(一级控制子流程、二级控制子流程或三级控制子流程某一层级的控制子流程)，也可以是离散数据、簇数据、报警或消息。

在另一种实施方式中，所述输出具体为：

先输出一个逻辑结点的离散数据、簇数据、报警或消息，再输出该逻辑结点或另一逻辑结点的与离散数据、簇数据、报警或消息同步的控制实体，该控制实体可以是另一个控制子流程(一级控制子流程、二级控制子流程或三级控制子流程某一层级的控制子流程)，也可以是离散数据、簇数据、报警或消息。

在另一种实施方式中，某一预先建立的二叉树上的多个控制实体为异步，相应地，所述输出具体为：同时输出一个或多个控制子流程、离散数据、簇数据、报警或消息。

本实施例其他步骤与前述实施例步骤相似，本实施例不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理方法，提供一种对预先构建的二叉树的遍历规则，该遍历规则考虑控制流程、离散数据、簇数据、报警、消息之间同步、异步关系，方便查询，实现高效控制。

为了更充分理解本发明的技术内容，在上述实施例的基础上，详细说明本申请提供的控制流程的处理方法。

现有技术的mocvd的设备控制，其实就是利用三种控制逻辑(顺序结构、选择结构、循环结构)来实现对设备的控制。控制逻辑与要做的事情(设备控制流程)是混合在一起的，针对所述问题，本发明将三种基本的控制逻辑以及设备控制流程(要做的事情、控制实体)都作为二叉树的结点，通过一定的规则组织成一棵二叉树，让设备控制流程都作为二叉树的叶子结点存储，而控制逻辑则作为中间结点存储；通过一定的遍历规则，每次都从二叉树得到一个或者多个设备控制流程(要做的事情，控制实体)执行。从而实现了逻辑控制和设备控制流程(要做的事情、控制实体)的分离，从而可以实现对设备的高效控制。

在光伏半导体生产工艺中，设备控制流程可以分为两种，一种为同步执行的控制流程(即必须等待某一控制流程执行完后才能开始去做其他的事情)，一种为异步执行的控制流程(即不必等待控制流程执行完就可以去做其他的事情)。如何高效率的查找并执行这些设备控制流程，是本发明要解决的问题。

本发明实施例的技术方案如下：

1、将三种控制逻辑(顺序结构、选择结构、循环结构)按照面向对象的方式，构建对应的逻辑实体，包括if、elseif、else、case、loop、while等控制逻辑。

2、将mocvd设备控制流程按照一定规则，提取共性，提取控制实体，控制实体存储flow、operation、action、discretedata(离散数据)、clusterdata(簇数据)、message(报警)、alarm(消息)。

其中action为最小的控制流程，相当于上述实施例中的三级控制子流程。

action涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

operation由多个action共同完成一个复杂的动作，相当于上述实施例中的二级控制子流程。

flow由多个operation组成，完成一个更复杂的设备控制流程，相当于上述实施例中的一级控制子流程。

3、设定构建二叉树规则：

(1)为了连接逻辑实体和控制实体，方便树的构建，增加路由结点；

(2)控制实体必须作为二叉树的叶子结点；

(3)逻辑实体必须作为二叉树的中间结点用于查找叶子上的控制实体；

(4)控制实体与路由结点或逻辑结点连接；

(5)flow、operation、action都有自己的一棵二叉树，action的二叉树的叶子上不能有action、operation和flow的控制实体；operation的二叉树叶子上不能有operation和flow的控制实体；flow的二叉树叶子上不能有flow的控制实体。

在本发明实施例中二叉树结构和查找方式可有多种，本发明实施例以其中几种为例进行说明。

若根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与控制流程对应的二叉树为flow的二叉树，flow的二叉树包括逻辑结点以及叶子结点，叶子结点可以包括operation、离散数据、簇数据、报警和消息，每一叶子结点直接与逻辑结点连接或通过路由结点与逻辑结点连接。

将获取的与控制流程对应的操作数据输入至匹配的flow的二叉树，若判断获知所述操作数据满足flow的逻辑结点存储的判断条件,则输出所述控制实体对应的operation、离散数据、簇数据、报警或消息中的一个或多个。

当输出一个或多个operation时，所述输出一个或多个operation的步骤具体为，匹配一个或多个operation对应的二叉树；operation的二叉树包括逻辑结点和叶子结点，叶子结点可以包括action、离散数据、簇数据、报警和消息，每一叶子结点直接与逻辑结点连接或通过路由结点与逻辑结点连接。

若判断获知所述操作数据满足operation对应的二叉树的逻辑结点存储的判断条件，则输出action、离散数据、簇数据、报警或消息中的一个或多个。

当输出一个或多个action时，所述输出一个或多个action的步骤具体为，匹配一个或多个action对应的二叉树；action的二叉树包括逻辑结点和叶子结点，叶子结点可以包括离散数据、簇数据、报警和消息，每一叶子结点直接与逻辑结点连接或通过路由结点与逻辑结点连接。

若判断获知所述操作数据满足action对应的二叉树的逻辑结点存储的判断条件，则输出对应的离散数据、簇数据、报警或消息中的一个或多个。

4、树的构建举例：

图7为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的action的二叉树示意图。

如图7所示，action的二叉树举例：

二叉树中只有三种类型的结点，叶子结点存放控制实体；路由结点(route)只用于连接结点；逻辑结点(例如if)存放逻辑实体；由于是action的二叉树，所以叶子结点上没有action、operation、flow控制实体，叶子结点存储discretedata(离散数据)、clusterdata(簇数据)、message(报警)或alarm(消息)。

图8为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的operation的二叉树示意图。

如图8所示，operation的二叉树举例。operation的二叉树叶子结点上没有operation和flow控制实体，叶子结点存储operation、discretedata(离散数据)、clusterdata(簇数据)、message(报警)或alarm(消息)。

图9为本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理方法的flow的二叉树示意图。

如图9所示，flow的二叉树举例，flow的二叉树叶子结点上没有flow控制实体，叶子结点存储、discretedata(离散数据)、clusterdata(簇数据)、message(报警)或alarm(消息)。

对于逻辑树的遍历，可以定义自己的规则，本发明实施例定义的遍历规则是：如果控制实体是同步的则立即返回，一次遍历只得到一个同步的控制实体；如果控制实体是异步的则继续沿着逻辑树往下找，直到遇到同步的控制实体返回，一次遍历返回一个或多个异步控制实体；如果返回的是空，则逻辑树全部遍历完成。

在一种实施方式中，flow对应的二叉树的逻辑实体存储与operation的并发性相关的判断的条件，同步的控制流程flow，包括operation1和operation2，所述operation1包括operation1的结束时刻，所述operation2包括operation2的开始时刻，所述operation2的开始时刻等于或晚于所述operation1的结束时刻，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

分别匹配operation1和operation2对应的二叉树，所述operation1和operation2对应的二叉树分别包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为action。

若判断获知所述操作数据满足所述flow对应的二叉树的逻辑实体的条件，则先输出operation1，再输出operation2。

在另一种实施方式中，flow对应的二叉树的逻辑实体存储与operation的并发性相关的判断的条件，异步的控制流程flow包括多个operation，相应地，

输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配多个operation对应的二叉树，所述多个operation对应的二叉树分别包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为action。

若判断获知所述操作数据满足所述flow对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出多个operation。

本发明实施例将控制流程划分为同步和异步的控制流程，以及采用逻辑实体和控制实体的树形的存储和组织方式，视线高效率的查找并执行这些设备控制流程。

图10示出了本发明又一实施例提供的一种控制流程的处理装置的结构示意图。

参照图10，在上述实施例的基础上，本实施例提供的控制流程的处理装置，所述装置包括输入模块101和输出模块102，其中：

匹配模块101用于匹配二叉树：根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与所述控制流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件；所述叶子结点为控制实体，每一所述控制实体存储一个控制子流程，所述控制子流程是将所述控制流程划分得到的；

输出模块102用于将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足所述条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程。

本实施例提供的控制流程的处理装置，可用于执行上述方法实施例的方法，本实施不再赘述。

本实施例提供的控制流程的处理装置，通过查找预先构建的二叉树实现控制流程的处理，本发明预先构建的二叉树实现了逻辑实体和控制实体分离，从而可以实现对电气系统的高效控制。

图11示出了本发明又一实施例提供的一种电子设备的结构示意图。

参阅图11，本发明实施例提供的电子设备，所述电子设备包括存储器(memory)111、处理器(processor)112、总线113以及存储在存储器111上并可在处理器上运行的计算机程序。其中，所述存储器111、处理器112通过所述总线113完成相互间的通信。

所述处理器112用于调用所述存储器111中的程序指令，以执行所述程序时实现如图1的方法。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述二叉树还包括路由结点，所述路由结点用于连接所述逻辑实体和所述控制实体；所述控制实体与所述逻辑结点或所述路由结点连接。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：将所述控制流程划分为两级控制子流程，一级控制子流程包括一个或多个二级控制子流程，相应地，输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个所述一级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为二级控制子流程；

若判断获知所述操作数据满足所述一级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个所述二级控制子流程。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：将所述控制流程划分为三级控制子流程，二级控制子流程包括一个或多个三级控制子流程，所述三级控制子流程为最小控制流程；相应地，输出一个或多个所述二级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个二级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为三级控制子流程；

若判断获知所述操作数据满足所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个所述三级控制子流程。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种；

相应地，输出一个或多个所述三级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个三级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为所述离散数据、簇数据、报警或消息；

若判断获知所述操作数据满足所述三级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出所述离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述控制实体还包括离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种，相应地，输出的步骤，具体为：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足另一个或多个逻辑结点的条件，则输出所述控制实体对应的离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述逻辑实体存储与控制子流程的并发性相关的判断的条件，所述控制子流程是将控制流程根据并发性进行划分得到的；

若判断获知所述控制子流程为同步的控制流程，则输出所述同步的控制流程；若判断获知所述控制子流程为异步的控制流程，则输出所述异步的控制流程。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述同步的控制流程包括第一控制子流程和第二控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程是根据所述同步的控制流程划分得到的，所述第一控制子流程包括第一控制子流程的结束时刻，所述第二控制子流程包括第二控制子流程的开始时刻，所述第二控制子流程的开始时刻等于或晚于所述第一控制子流程的结束时刻。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述同步的控制流程为一级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为二级控制子流程，所述二级控制子流程是根据所述一级控制子流程划分得到的控制子流程；

或者，

所述同步的控制流程为二级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是根据所述二级控制子流程划分得到的最小控制流程。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述异步的控制流程包括多个第三控制子流程，所述第三控制子流程是根据所述异步的控制流程划分得到的。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述异步的控制流程为一级控制子流程，所述第三控制子流程为二级控制子流程；

或者，

所述异步的控制流程为二级控制子流程，所述第三控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是最小控制流程。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述逻辑实体存储与控制实体的并发性相关的判断的条件；

若判断获知两个所述控制实体为同步，则输出同步的控制实体；若判断获知多个所述控制实体为异步，则输出异步的控制实体。

在另一种实施方式中，所述处理器执行所述程序时实现如下方法：

所述方法应用至半导体设备的控制流程。

本实施例提供的电子设备，可用于执行上述方法实施例的方法对应的程序，本实施不再赘述。

本实施例提供的电子设备，至少具有以下技术效果：

通过查找预先构建的二叉树实现控制流程的处理，本发明预先构建的二叉树实现了逻辑实体和控制实体分离，从而可以实现对电气系统的高效控制。

本发明又一实施例提供的一种存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如图1的步骤。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：

所述二叉树还包括路由结点，所述路由结点用于连接所述逻辑实体和所述控制实体；所述控制实体与所述逻辑结点或所述路由结点连接。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：将所述控制流程划分为两级控制子流程，一级控制子流程包括一个或多个二级控制子流程，相应地，输出所述控制实体对应的控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个所述一级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为二级控制子流程；

若判断获知所述操作数据满足所述一级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个所述二级控制子流程。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：将所述控制流程划分为三级控制子流程，二级控制子流程包括一个或多个三级控制子流程，所述三级控制子流程为最小控制流程；相应地，输出一个或多个所述二级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个二级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为三级控制子流程；

若判断获知所述操作数据满足所述二级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出一个或多个所述三级控制子流程。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种；

相应地，输出一个或多个所述三级控制子流程的步骤，具体为：

匹配一个或多个三级控制子流程对应的二叉树；所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件，所述叶子结点为所述离散数据、簇数据、报警或消息；

若判断获知所述操作数据满足所述三级控制子流程对应的二叉树的逻辑实体的条件，则输出所述离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述控制实体还包括离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种，相应地，输出的步骤，具体为：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足另一个或多个逻辑结点的条件，则输出所述控制实体对应的离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述逻辑实体存储与控制子流程的并发性相关的判断的条件，所述控制子流程是将控制流程根据并发性进行划分得到的；

若判断获知所述控制子流程为同步的控制流程，则输出所述同步的控制流程；若判断获知所述控制子流程为异步的控制流程，则输出所述异步的控制流程。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述同步的控制流程包括第一控制子流程和第二控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程是根据所述同步的控制流程划分得到的，所述第一控制子流程包括第一控制子流程的结束时刻，所述第二控制子流程包括第二控制子流程的开始时刻，所述第二控制子流程的开始时刻等于或晚于所述第一控制子流程的结束时刻。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述同步的控制流程为一级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为二级控制子流程，所述二级控制子流程是根据所述一级控制子流程划分得到的控制子流程；

或者，

所述同步的控制流程为二级控制子流程，所述第一控制子流程和第二控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是根据所述二级控制子流程划分得到的最小控制流程。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述异步的控制流程包括多个第三控制子流程，所述第三控制子流程是根据所述异步的控制流程划分得到的。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述异步的控制流程为一级控制子流程，所述第三控制子流程为二级控制子流程；

或者，

所述异步的控制流程为二级控制子流程，所述第三控制子流程为三级控制子流程，所述三级控制子流程是最小控制流程。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述三级控制子流程涉及离散数据、簇数据、报警、消息中的一种或多种。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述逻辑实体存储与控制实体的并发性相关的判断的条件；

若判断获知两个所述控制实体为同步，则输出同步的控制实体；若判断获知多个所述控制实体为异步，则输出异步的控制实体。

在另一种实施方式中，所述程序被处理器执行时实现如下方法：所述方法应用至半导体设备的控制流程。

本实施例提供的存储介质，所述程序被处理器执行时实现上述方法实施例的方法，本实施不再赘述。

本实施例提供的存储介质，通过查找预先构建的二叉树实现控制流程的处理，本发明预先构建的二叉树实现了逻辑实体和控制实体分离，从而可以实现对电气系统的高效控制。

本发明又一实施例公开一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括存储在非暂态计算机可读存储介质上的计算机程序，所述计算机程序包括程序指令，当所述程序指令被计算机执行时，计算机能够执行上述各方法实施例所提供的方法，例如包括：

根据预先建立的控制流程与二叉树之间的一一对应关系，确定与控制流程对应的二叉树；

所述二叉树包括至少一个逻辑结点和至少一个叶子结点，所述逻辑结点为逻辑实体，所述逻辑实体存储判断的条件；所述叶子结点为控制实体，每一所述控制实体存储一个控制子流程，所述控制子流程是将所述控制流程划分得到的；

输出：将获取的与控制流程对应的操作数据输入至所述二叉树，若判断获知所述操作数据满足所述条件，则输出所述控制实体对应的控制子流程。

还例如，在上述实施方式的基础上，所述逻辑实体存储与控制子流程的并发性相关的判断的条件，所述控制子流程是将控制流程根据并发性进行划分得到的；

若判断获知所述控制子流程为同步的控制流程，则输出所述同步的控制流程；若判断获知所述控制子流程为异步的控制流程，则输出所述异步的控制流程。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。

本领域技术人员可以理解，实施例中的各步骤可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(dsp)来实现根据本发明实施例的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。

虽然结合附图描述了本发明的实施方式，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。