外延生长设备、作业控制方法和装置与流程

本发明涉及流水线作业领域，具体而言，涉及一种外延生长设备、作业控制方法和装置。

背景技术：

随着化合物半导体器件(如gaasmmic、inpmmic以及gan蓝光led)市场的不断扩大，金属有机物化学气相沉积(metal-organicchemicalvapordeposition，mocvd)系统的需求量不断增长。mocvd设备几乎可以生长所有化合物及合金半导体，并可以进行大规模生产。

gaas薄膜太阳能电池的mocvd生长工艺是利用金属有机化合物作为源物质的一种cvd工艺，通常，一个完整的gaas薄膜太阳能电池外延层生长工艺作业主要承担三个任务，分别是传输模块中的加热、生长工艺模块中的外延层生长和传输模块中的冷却。因此，在整个生长工艺作业执行过程中，衬底随着载具而传输，需要依次经过以下工位：自动装载衬底(substrateloading)、自动装载载具(carrierloading)、加热(tllheating)、外延层生长(pmprocessing)、冷却(tllcooling)、自动卸载载具(carrierunloading)和自动卸载衬底(substrateunloading)，如附图1所示。受gaas薄膜太阳能电池制造设备结构特点所致，当载具传输按照固定路径的流水线方向进行时，如果流水线发生故障，则需要停止作业以对流水线进行调整。在停止作业之后，工位上的载具自然无法及时传出，导致后面的载具无法传入，与载具对应的作业调度也会有同样的困扰。现有的作业调度控制模型中，当用户向某一正在运行的作业发送停止操作指令后，作业将进入停止状态，该状态下的作业不能回到执行状态，并且模型中缺少一种能够让作业终止执行任务，但能够自动将载具传输回自动卸载载具工位的方式，就上述设备结构而言，用户只能手动将多个载具依次传输回自动卸载载具工位，耗时费力，降低工作效率。

针对现有技术中任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现要素：

本发明实施例提供了一种外延生长设备、作业控制方法和装置，以至少解决任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的技术问题。

根据本发明实施例的一个方面，提供了一种外延生长设备的作业控制方法，包括：确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。上述方法对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，用户通过作业取消指令即可取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。

进一步地，获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定外延生长设备中包括的载具；根据故障消息，禁止对外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；外延生长设备还根据故障消息将外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。

进一步地，在根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位之前，获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相关联。上述标识信息包括目标作业正在执行的任务，所处的腔室，可供工作人员追溯载具上衬底物料的信息，知晓生长工艺的哪一环节出现的问题最多，作为后续改进方向的参考。

进一步地，外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。

进一步地，外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室，根据取消指令控制接收到取消指令的目标载具停止执行作业任务；将外延生长设备的加热腔室中的目标载具，或，外延生长腔室中的目标载具，或，冷却腔室中的目标载具分别传输至预设的卸载工位。目标载具可以按照固定路径传输至卸载工位，这样就不会阻塞作业队列中后序载具执行作业，保证了流水线的畅通。

根据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种外延生长设备，包括：加热腔室、冷却腔室、外延生长腔室和控制系统，其中，加热腔室用于对载具中的衬底进行加热，外延生长腔室用于对载具中加热完成后的衬底进行外延生长，冷却腔室用于对载具中外延生长完成后的衬底进行冷却，控制系统用于对加热腔室、冷却腔室和生长腔室进行控制；控制系统，还用于获取作业取消指令，根据作业取消指令，控制目标作业停止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令。上述设备对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，用户通过取消指令即可取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。

根据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种外延生长设备的作业控制装置，包括：确定模块，用于确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；检测模块，用于获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；控制模块，用于根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。

进一步地，控制模块包括：第一获取子模块，用于获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定子模块，用于确定所述外延生长设备中包括的载具；禁止子模块，用于根据所述故障消息，禁止对所述外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，所述一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；第一传输子模块，用于所述外延生长设备还根据所述故障消息将所述外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。

进一步地，控制模块还包括：第二获取子模块，用于获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；关联模块，用于将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相关联。

进一步地，外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。

进一步地，外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室，控制模块包括：停止子模块，用于根据取消指令控制接收到取消指令的目标载具停止执行作业任务；第二传输子模块，用于将外延生长设备的加热腔室中的目标载具，或，外延生长腔室中的目标载具，或，冷却腔室中的目标载具分别传输至预设的卸载工位。

根据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种存储介质，存储介质包括存储的程序，其中，在程序运行时控制存储介质所在设备执行上述任意一种外延生长设备的作业控制方法。

根据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种处理器，处理器用于运行程序，其中，程序运行时执行上述任意一种外延生长设备的作业控制方法。

在本发明实施例中，确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。上述方案通过在现有的作业控制调度模型中增加作业取消指令，可以更为灵活的控制流水线作业，在发现生产工况出现异常或者需要修改待执行的任务时，中止作业中待执行的任务，并继续按固定的物料传输路径，将载有物料的载具传输回卸载工位，以至少解决任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的技术问题，提高了工作效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是gaas薄膜太阳能电池外延层生长工艺作业的流程图；

图2是gaas薄膜太阳能电池制造设备的多腔室结构的示意图；

图3是根据本发明实施例的一种可选的外延生长设备的作业控制方法流程图；

图4是根据本发明实施例的一种可选的外延生长设备生长工艺流水作业调度模型；

图5是根据本发明实施例的一种可选的外延生长设备结构示意图；以及

图6是根据本发明实施例的一种可选的外延生长设备的作业控制装置的示意图；

其中，21-自动上下料模块，22-传输模块，23-生长工艺模块，211-载具，212-衬底。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

另外，任何需要载具传输物料的流水线作业均适用于本申请的方案。本申请所述的多腔室设备可以为金属化学气相沉积设备。为了具体说明，本申请仅以gaas薄膜太阳能电池制造设备进行举例，但是本申请的方案仍适用于其它金属化学气相沉积设备中。

图2是gaas薄膜太阳能电池制造设备的多腔室结构的示意图，其中，(a)为俯视图，(b)为侧视图，本申请的多腔室结构包括自动上下料模块(automationmodule，am)21、传输模块(transferloadlock，tll)22和生长工艺模块(processmodule，pm)23。

自动上下料模块(automationmodule，am)21，负责将gaas薄膜太阳能电池生长衬底(substrate)212从盒子(foup或cassette)装载到载具(carrier)211上；在生长工艺完成后，自动上下料模块还用于将衬底212从载具211卸载到盒子中。

传输模块(transferloadlock，tll)22，负责装载有gaas薄膜太阳能电池生长衬底212的载具211在自动上下料模块21和生长工艺模块23之间进行传输。具体的，生长工艺开始前，tll将装载有gaas薄膜太阳能电池生长衬底212的载具211由自动装载载具工位传输到加热腔室的加热工位。在加热完成后，tll将载具211由加热工位传输到外延生长腔室的外延层生长工位。在生长工艺结束后将装载有gaas薄膜太阳能电池生长衬底212的载具211由外延层生长工位传输到冷却腔室的冷却工位，再由冷却工位传输到自动卸载载具工位。

生长工艺模块(processmodule，pm)23，负责gaas薄膜太阳能电池外延层的生长，即在衬底上进行外延生长，然后通过其他工艺形成电极，完成的产品即为太阳能电池。

其中，一个载具211可以装载多个衬底212，设备的生长工艺以载具211为单位进行，方便追溯载具上的物料信息。也就是说，本申请工艺是针对每个载具的工艺。

在本申请的实施例中，载具还包括标识信息。载具在进入腔室时，腔室通过确定载具的标识信息确定对该载具实施的工艺。

图2中的(b)部分是gaas薄膜太阳能电池制造设备的多腔室结构侧视图，每一个箭头指向代表一个工位位置的变化，自动上下料模块21将gaas薄膜太阳能电池生长衬底212从盒子装载到载具211上，传输模块22将该载具211由自动装载载具工位传输到加热腔室的加热工位进行加热，加热完成后由加热工位传输到外延生长腔室的外延层生长工位进行外延层生长，在生长工艺结束后将载具211由外延层生长工位传输到冷却腔室的冷却工位进行冷却，冷却完成后由冷却工位传输到自动卸载载具工位。

针对图2所示的内容，本发明提供了一种外延生长设备的作业控制方法的方法实施例，下面，对本申请的外延生长设备的作业控制方法的流程进行具体说明。

需要说明的是，下述的外延生长设备的作业控制方法的流程可以在诸如一组计算机可执行指令的计算机系统中执行，并且，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。

图3是根据本发明实施例的外延生长设备的作业控制方法，如图3所示，该方法包括如下步骤：

步骤s31，确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺。

一种可选方案中，上述目标载具可以是正在流水线上执行任务的载具，上述目标作业可以是加热、外延层生长或冷却工艺中的任意一个或多个，对应地，上述工艺可以是加热、外延层生长或冷却工艺中的任意一个或多个。

步骤s32，获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令。

一种可选方案中，上述作业取消指令可以表示为“cancel”，对应地，载具就具有“canceling”、“canceled”两个新状态，用户通过“cancel”操作仅取消目标载具中待执行的任务，但保留其他载具执行任务的功能。通常，流水线上的作业可以收到各种指令，如“stop”、“abort”等。而当某个载具接收到“cancel”指令时，便进入“canceling”状态，以便取消该载具正在执行的任务以及后续任务。该载具后面的载具所执行的作业不会被取消，仍然可以按照原先预订的路径继续执行。

步骤s33，根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。

当某个载具接收到“cancel”指令时，便进入“canceling”状态，接收到“cancel”指令的载具将其承载的衬底按照预设的流水线路径传输回自动卸载载具工位，进入“canceled”状态，以便取消该作业正在执行的任务以及后续任务。由此，该载具后面的载具所执行的任务不必被取消，仍然可以按照原先预订的路径继续执行任务，最终按序完成整个作业流程。

上述步骤可以由外延生长设备的处理器执行，也可以是与外延生长设备通信的上位机执行。在一种可选的实施例中，载具在流水线上传输的过程中，外延生长设备的处理器按照预设周期检测是否获取到作业取消指令，以便取消该载具的执行任务。

由上可知，本申请通过确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；控制目标作业禁止对目标载具执行一项或多项预设的作业任务，并通过目标载具将物料按照预设路径传输至卸载工位，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却，对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，为作业增加了“cancel”控制功能，以及“canceling”、“canceled”两个新状态。用户通过“cancel”操作可以取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。

可选地，外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室；

上述步骤s33中，控制目标作业禁止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并通过目标载具将物料按照预设路径传输至卸载工位，包括：

步骤s331，根据取消指令控制外延生长设备停止执行作业任务，并将加热腔室中的载具，或，外延生长腔室中的目标载具，或，冷却腔室中的载具分别传输至预设的卸载工位。

外延生长设备可以包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室，每一个腔室都会有一个或多个载具载具分别执行加热、外延生长或冷却工艺。当某一个载具检测到取消指令时，该载具便停止执行任务，但其并非原地不动，而是按照预设的路径进入下一个腔室，直至传输至卸载工位，这样便不会阻塞流水线上的其它载具执行工艺。

需要说明的是，在整个生长工艺作业执行过程中，衬底随着载具而传输，需要依次经过以下工位：自动装载衬底、自动装载载具、加热、外延层生长、冷却、自动卸载载具和自动卸载衬底，而真正的生长工艺包括加热、外延层生长和冷却三个步骤，其分别对应加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室。

可选地，控制目标作业禁止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并通过目标载具将物料按照预设路径传输至卸载工位，包括：

步骤s332，获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定外延生长设备中包括的载具；根据故障消息，禁止对外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；外延生长设备还根据故障消息将外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。

由于生长工艺的任何一个环节出现故障，该生长工艺即宣告失败，当加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个出现故障时，未执行的任务便没有必要继续执行。此时，作业流水线上的所有载具都会接收到“cancel”命令，停止执行当前和后续任务，并将其承载的衬底运输到自动卸载载具工位，避免做不必要的工作，浪费资源，待故障解除后才能重新启动。

可选地，控制目标作业禁止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并通过目标载具将物料按照预设路径传输至卸载工位之前，上述方法还包括：

步骤s330，获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；在确定接收到取消指令的情况下，将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相关联。

一种可选方案中，上述标识信息可以是“canceled”，例如，当载具正在加热腔室中执行加热任务时，检测到针对此载具的取消指令，那么“加热腔室”与“canceled”便关联起来。对于整个流水线作业来说，统计目标载具所处的腔室信息与标识信息，有助于工作人员追溯载具上衬底的工艺进程、外延生长设备的使用情况，哪一环节出现的问题最多，作为后续改进方向的参考，以不断完善mocvd生长工艺。

需要说明的是，执行了“cancel”操作的载具会自动标记有“canceled”信息，该信息可以存储于载具的存储器里，工作人员可以根据是否标记“canceled”信息来鉴别该载具是否为问题载具。

可选地，外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。

下面以gaas薄膜太阳能电池的mocvd生长工艺流水作业调度模型为例对上述实施例进行详细说明。如图4所示，gaas薄膜太阳能电池外延层生长工艺的作业流水线上有很多载具，每个载具上放置着多个衬底。通过流水线将上述载具依次传输至不同的腔室中。首先，由工作人员打开设备，对其上电，此时设备处于激活状态；当对设备初始化、设置参数时，便进入执行状态。期间，当外延生长设备检测到“stop”、“abort”命令时，可能是工作人员发现设备故障或与设备相关联的其它设备故障，希望设备停止运行，此时设备断电停止，待故障解除后再重新上电运行；当外延生长设备检测到“pause”命令，相当于暂停状态，此时流水线暂停，工作人员可以临时处理其它事务，处理完成后流水线作业恢复运行，短时间内无法处理完成，那么便由此状态进入“stoping”或“aborting”状态，进而断电。需要说明的是，“stoping”状态可以进入“aborting”状态，“stop”命令的需求在于发生故障时，停止作业以进行调整，只是其和“abort”命令一样，均不能返回执行状态。

当某载具正在外延生长腔室执行外延层生长任务，检测到“cancel”指令时，便立即进入“canceling”状态，检测到“cancel”指令的载具不再执行外延生长任务和下一步的冷却任务，但是依然会将衬底按照预设的流水线路径传输回自动卸载载具工位，同时被标记“canceled”信息，这样就不会阻塞作业队列中该载具后面的载具执行外延生长任务和冷却任务，避免了用户只能通过手动方式将问题载具传输回卸载工位，提高了工作效率。同时，该载具的存储器存储“canceled”与外延生长腔室的关联信息。对于整个流水线作业来说，如果“canceled”与外延生长腔室的关联信息多与“canceled”与其它腔室的关联信息，至少说明该设备的外延生长腔室工艺需要改进。统计目标载具所处的腔室信息与标识信息，有助于工作人员追溯载具上衬底的工艺进程、外延生长设备的腔室情况，哪一环节出现的问题最多，作为后续改进方向的参考，以不断完善mocvd生长工艺。

由上可知，本发明实施例通过在现有的作业控制调度模型中增加作业取消指令，可以更为灵活的控制流水线作业，在发现生产工况出现异常或者需要修改待执行的任务时，中止作业中待执行的任务，并继续按固定的物料传输路径，将载有物料的载具传输回卸载工位，以至少解决任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的技术问题，提高了工作效率。同时，统计目标载具所处的腔室信息与标识信息，有助于工作人员追溯载具上衬底的工艺进程、外延生长设备的腔室情况，作为后续改进方向的参考，以不断完善mocvd生长工艺。

需要说明的是，本申请的作业控制方法适用于任何流水线作业中需要载具传输的设备，尤其适用于mocvd生长工艺，包括但不限于gaas薄膜太阳能电池的mocvd生长工艺。

本申请的实施例还提供了一种外延生长设备，该外延生长设备能够被用于执行图3的方法。

图5是根据本申请实施例的一种外延生长设备结构示意图，结合图5所示，该设备包括：

加热腔室51、冷却腔室53、外延生长腔室52和控制系统54，其中，加热腔室51用于对载具中需要进行生长工艺的衬底进行加热，外延生长腔室52用于对载具中加热完成后的衬底进行外延生长，冷却腔室53用于对载具中外延生长完成后的衬底进行冷却，控制系统54用于对加热腔室、冷却腔室和生长腔室进行控制；控制系统54，还用于检测控制指令，并在确定接收到作业取消指令的情况下，控制目标作业停止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并通过目标载具将物料按照预设路径传输至卸载工位，其中，作业任务包括：由加热腔室执行的加热任务、由生长腔室执行的外延层生长任务和由冷却腔室执行的冷却任务。

上述设备对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，用户通过取消指令即可取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。

需要说明的是，本实施例的可选或优选实施方式可以参见实施例1中的相关描述，但不仅限于实施例1所公开的内容，在此不再赘述。

本申请还提供了如图5所示的外延生长设备控制系统。该控制系统能够被用于执行图3所示的方法。

图6是根据本申请实施例的一种外延生长设备的控制装置的示意图，结合图6所示，该装置包括：

确定模块61，用于确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺。

检测模块62，用于获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令。

控制模块63，用于根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。

可选的，控制模块包括：第一获取子模块，用于获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定子模块，用于确定外延生长设备中包括的载具；禁止子模块，用于根据故障消息，禁止对外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；第一传输子模块，用于外延生长设备还根据故障消息将外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。

可选的，控制模块还包括：第二获取子模块，用于获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；关联模块，用于将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相关联。

可选的，外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。

可选的，外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室，控制模块包括：停止子模块，用于根据取消指令控制接收到取消指令的目标载具停止执行作业任务；第二传输子模块，用于将外延生长设备的加热腔室中的目标载具，或，外延生长腔室中的目标载具，或，冷却腔室中的目标载具分别传输至预设的卸载工位。

需要说明的是，上述装置的可选或优选实施方式可以参见实施例1中的相关描述，但不仅限于实施例1所公开的内容，在此不再赘述。

本申请还提供了一种存储介质，存储介质包括存储的程序，其中，在程序运行时控制存储介质所在设备执行实施例1中的外延生长设备的作业控制方法。

本申请还提供了一种处理器，处理器用于运行程序，其中，程序运行时执行图3的作业控制方法。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

在本发明的上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的技术内容，可通过其它的方式实现。其中，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如所述单元的划分，可以为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，单元或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、只读存储器(rom，read-onlymemory)、随机存取存储器(ram，randomaccessmemory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。