半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质与流程

1.本技术实施例涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质。


背景技术：

2.半导体的制程流程主要包括硅片的制作、晶圆的制作以及半导体的封测等工艺流程。通过机台执行上述工艺流程之前，需要对配方管理系统(rms，recipemanagementsystem)中预存的生产工艺配方(recipe)进行参数值的调整和设定，以生成用于下发给指定机台执行的黄金工艺配方(golden recipe)。
3.目前多采用人工的方式执行上述配方参数的设定过程。具体通过可视化界面展示生产工艺配方中的全部配方参数，然后采用人工的方式对需要调整的可调参数进行参数值的设定后生成对应的黄金工艺配方。
4.生产工艺配方中的配方参数量较大，相关人员需消耗大量时间在可视化界面中找出可调参数，以通过为可调参数进行参数值的设定进而生成对应的黄金工艺配方。并且，针对配方参数量较大的配方，配方管理系统需要较长的处理时间以将其配方参数调用到可视化界面内展示。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供一种半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质，用于降低生成黄金工艺配方过程中人工找寻可调参数的时间，进而提高黄金工艺配方的分配效率。
6.第一方面，本技术实施例提供一种半导体制程工艺配方的分配方法，所述方法包括：
7.监测各机台在至少一个预设周期内运行时设置的工艺配方；
8.针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，并根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板；
9.响应于对展示参数的调整请求，将所述显示模板输出到可视化界面中展示，以通过所述可视化界面接收表征对所述显示模板内各展示参数的参数值的调整指示；
10.基于调整后的各展示参数生成所述生产配方对应的黄金工艺配方，并将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台。
11.本技术实施例通过周期性监测机台运作时设置的工艺配方，以根据工艺配方中各配方参数的参数值确定该工艺配方对应生产配方中的展示参数。该展示参数即表征需要人工为其参数值进行设定几率较大的配方参数，这样在对生产配方的配方参数进行调整以生成用于机台执行的黄金工艺配方时，通过在可视化界面内仅展示该生产配方的展示参数，以减少相关人员从众多配方参数中找寻可调参数的时间。并且，上述流程大幅降低了配方管理系统将配方参数调用到可视化界面内展示的响应时间，提高配方的分配效率。
12.在一些可能的实施例中，所述针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，包括：
13.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内设定有上下限，则确定所述配方参数为所述展示参数；
14.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内发生变化，则确定所述配方参数为所述展示参数；
15.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内的变化次数满足预设阈值，则确定所述配方参数为所述展示参数。
16.在一些可能的实施例中，所述根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数之前，所述方法包括：
17.确定各所述配方参数未添加表征用户关注的预设标签；
18.所述方法还包括：
19.所述针对任意一个配方参数，将添加所述预设标签的配方参数作为所述展示参数。
20.在一些可能的实施例中，所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板，包括：
21.确定每一展示参数的关联项；其中，所述关联项至少包括所述展示参数对应配方参数的参数名、参数值以及参数值范围；
22.根据所述关联项生成所述显示模板。
23.在一些可能的实施例中，所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示之前，所述方法还包括；
24.针对每一展示参数，根据所述展示参数在至少一个预设周期内的参数值变化确定所述展示参数对应配方参数的参考值和/或参考范围；
25.所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示，包括：
26.将所述配方参数的参考值和所述参数值在所述可视化界面中关联展示，并将所述配方的参考范围和所述参数值范围在所述可视化界面中关联展示。
27.在一些可能的实施例中，所述可视化界面内设有用于将所述生产配方内的各配方参数添加到所述显示模板的第一控件；所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板之前，所述方法还包括：
28.响应于所述第一控件的触发指示，获取待添加的配方参数；
29.将所述待添加的配方参数作为所述展示参数。
30.在一些可能的实施例中，所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述方法还包括：
31.生成所述黄金工艺配方后，在绑定界面内展示所述黄金工艺配方对应的参考机台；其中，所述参考机台为在所述至少一个周期内运行时设有所述黄金工艺配方对应工艺配方的机台；
32.所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台，包括：
33.响应于对所述绑定界面内各参考机台的选定操作，将所述黄金工艺配方下发到选
定的各所述参考机台中。
34.在一些可能的实施例中，所述绑定界面内设有用于将机型与所述黄金工艺配方适配的各机台添加到所述绑定界面的第二控件；所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述方法还包括：
35.响应于所述第二控件的触发指示，获取待添加机台；
36.将所述待添加机台作为所述参考机台。
37.第二方面，本技术实施例提供了一种半导体制程工艺配方的分配系统，所述系统包括：
38.监测模块，被配置为执行监测各机台在至少一个预设周期内运行时设置的工艺配方；
39.模板生成模块，被配置为执行针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，并根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板；
40.模板显示模块，被配置为执行响应于对展示参数的调整请求，将所述显示模板输出到可视化界面中展示，以通过所述可视化界面接收表征对所述显示模板内各展示参数的参数值的调整指示；
41.配方分配模块，被配置为执行基于调整后的各展示参数生成所述生产配方对应的黄金工艺配方，并将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台。
42.在一些可能的实施例中，执行所述针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，所述模板生成模块被配置为：
43.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内设定有上下限，则确定所述配方参数为所述展示参数；
44.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内发生变化，则确定所述配方参数为所述展示参数；
45.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内的变化次数满足预设阈值，则确定所述配方参数为所述展示参数。
46.在一些可能的实施例中，执行所述根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数之前，所述模板生成模块还被配置为：
47.确定各所述配方参数未添加表征用户关注的预设标签；
48.所述模板生成模块还被配置为：
49.所述针对任意一个配方参数，将添加所述预设标签的配方参数作为所述展示参数。
50.在一些可能的实施例中，执行所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板，所述模板生成模块被配置为：
51.确定每一展示参数的关联项；其中，所述关联项至少包括所述展示参数对应配方参数的参数名、参数值以及参数值范围；
52.根据所述关联项生成所述显示模板。
53.在一些可能的实施例中，执行所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示之前，所述模板展示模块还被配置为；
54.针对每一展示参数，根据所述展示参数在至少一个预设周期内的参数值变化确定所述展示参数对应配方参数的参考值和/或参考范围；
55.执行所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示，所述模板展示模块被配置为：
56.将所述配方参数的参考值和所述参数值在所述可视化界面中关联展示，并将所述配方的参考范围和所述参数值范围在所述可视化界面中关联展示。
57.在一些可能的实施例中，所述可视化界面内设有用于将所述生产配方内的各配方参数添加到所述显示模板的第一控件；执行所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板之前，所述模板生成模块还被配置为：
58.响应于所述第一控件的触发指示，获取待添加的配方参数；
59.将所述待添加的配方参数作为所述展示参数。
60.在一些可能的实施例中，执行所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述配方分配模块还被配置为：
61.生成所述黄金工艺配方后，在绑定界面内展示所述黄金工艺配方对应的参考机台；其中，所述参考机台为在所述至少一个周期内运行时设有所述黄金工艺配方对应工艺配方的机台；
62.所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台，包括：
63.响应于对所述绑定界面内各参考机台的选定操作，将所述黄金工艺配方下发到选定的各所述参考机台中。
64.在一些可能的实施例中，所述绑定界面内设有用于将机型与所述黄金工艺配方适配的各机台添加到所述绑定界面的第二控件；执行所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述配方分配模块还被配置为：
65.响应于所述第二控件的触发指示，获取待添加机台；
66.将所述待添加机台作为所述参考机台。
67.第三方面，本技术实施例提供一种电子设备，包括：
68.存储器，用于存储程序指令；
69.处理器，用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序指令执行第一方面中任一项所述的方法包括的步骤。
70.第四方面，本技术实施例提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序包括程序指令，所述程序指令当被计算机执行时，使所述计算机执行第一方面中任一项所述的方法。
71.第五方面，本技术实施例提供了一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括：计算机程序代码，当所述计算机程序代码在计算机上运行时，使得计算机执行第一方面中任一项所述的方法。
附图说明
72.图1为本技术实施例提供的配方分配流程图；
73.图2为本技术实施例提供的半导体制程工艺配方的分配方法的流程图；
74.图3为本技术实施例提供的配置参数的自定义类型示意图；
75.图4为本技术实施例提供的预设标签示意图；
76.图5为本技术实施例提供的显示模板示意图；
77.图6为本技术实施例提供的第一控件示意图；
78.图7为本技术实施例提供的设置展示参数的自定义类型示意图；
79.图8为本技术实施例提供的分配界面示意图；
80.图9为本技术实施例提供的分配系统的结构图；
81.图10为本技术实施例提供的电子设备示意图。
具体实施方式
82.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。并且，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以按不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。
83.本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”和“第二”是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。此外，术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的保护。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本技术中的“多个”可以表示至少两个，例如可以是两个、三个或者更多，本技术实施例不做限制。
84.rms系统用于对半导体生产中的生产工艺配方进行管理，具体通过对产品在每个机台设置的配方及参数进行检查，以满足配方内容的可见性、配方参数的可追溯性及生产的稳定性，从而实现先进工艺控制以提高生产的可靠性。半导体生产过程如图1所示，包括下述步骤：
85.步骤101：将产品被搬送到指定机台后，通过机台自动化程式(eap)向rms系统请求用于执行指定工艺流程的黄金工艺配方；
86.步骤102：rms系统在可视化界面(rms ui)中调用该指定工艺流程的生产工艺配方；
87.步骤103：采用人工的方式对生产工艺配方内的可调参数进行设定，以生成对应的黄金工艺配方；
88.步骤104：rms系统将生成的黄金工艺配方下发给指定机台，以使指定机台在接收到下发的黄金工艺配方后基于该配方对产品执行对应的工艺流程。
89.相关技术在执行上述步骤103的过程中，多在rms系统的可视化界面展示生产工艺
配方的全部配方参数，然后采用人工的方式对需要调整的可调参数进行参数值的设定后生成对应的黄金工艺配方。由于生产工艺配方中的配方参数量较大，相关人员需消耗大量时间在可视化界面中找出可调参数。并且，针对配方参数量较大的配方，rms系统需要较长的处理时间以将其配方参数调用到可视化界面内展示。可见，上述问题直接影响了黄金工艺配方分配效率。
90.为解决上述问题，本技术的发明构思为：本技术实施例通过周期性监测机台运作时设置的工艺配方，以根据工艺配方中各配方参数的参数值确定该工艺配方对应生产配方中的展示参数。该展示参数即表征需要人工为其参数值进行设定几率较大的配方参数，这样在对生产配方的配方参数进行调整以生成用于机台执行的黄金工艺配方时，通过在可视化界面内仅展示该生产配方的展示参数，以减少相关人员从众多配方参数中找寻可调参数的时间。并且，上述流程大幅降低了配方管理系统将配方参数调用到可视化界面内展示的响应时间，提高配方的分配效率。
91.为便于理解本技术的技术方案，首先对本技术实施例提供的一种半导体制程工艺配方的分配方法进行介绍，如图2所示，包括：
92.步骤201：监测各机台在至少一个预设周期内运行时设置的工艺配方；
93.实际应用中，一个生产工艺配方中的可调参数有限且通常占比不大。基于此，本技术实施例周期性监测各机台在运行时设置的工艺配方，以根据周期内各工艺配方的配方参数变化确定工艺配方中的可调参数。
94.步骤202：针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，并根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板；
95.本技术实施例中为配方参数设置自定义类型，以根据配方参数所属的自定义类型确定展示参数。实施时，可在预设周期时间内自动对各机台的工艺配方中各配置参数的数值形态进行解析并转存。进一步的，对转存的各配置参数的数值形态进行如跳动频率的分析、数值上下限的分析等预设分析方式，以对每一工艺配方内各配方参数添加表征自定义类型的标签属性。进而根据各配方参数的自定义类型确定作为展示参数的配方参数。
96.自定义类型的具体设置规则可如图3所示，当周期时间内工艺配方中存在配方参数的参数值设定上下限的情况，则将该配方参数的自定义类型设置为t型(tolerance)；当周期时间内工艺配方中存在配方参数的参数值发生变化的情况，则将该配方参数的自定义类型设置为v型(variable)；当周期时间内工艺配方中存在配方参数的参数值发生变化次数满足预设阈值的情况，则将该配方参数的自定义类型设置为f型(focus)；当周期时间内工艺配方的配方参数不满足上述自定义类型时，则将该配方参数的自定义类型设置为n型(non-focus)。
97.本技术实施例监测到预设周期内每一工艺配方内各配方参数的自定义类型后，可将上述t、v、f型的配方参数设置为该工艺配方对应生产配方的展示参数。此处需要说明的是，上述工艺配方为周期内机台设置的配方，即为通过rms系统中的生产配方人工设定后生成的黄金工艺配方。因而上述工艺配方中包含的配置参数与对应生产配方中的配置参数相同，但参数值可能不同。本技术上述设定目的在于通过周期时间内工艺配方中配方参数的参数值变化，以确定将该工艺配方对应生产配方重新设定为新的黄金工艺配方时工程人员
可能需要重新设定的可调参数(即上述展示参数)。
98.为适用更多的应用场景，可人工设置工艺配方内的监听项。具体如图4所示，例如图4中示出的工艺配方中包含多个区域(step)、多个项目(parameter)的配方参数，可针对任一配方参数添加表征用户关注的预设标签。这样，无论添加标签后的配方参数在周期性检测过程中被定义为什么类型，均会作为展示参数进行展示。具体的，在执行上述步骤202之前，确定工艺配方中各配方参数是否添加有预设标签，若存在添加预设标签的配方参数，则将该配方参数的自定义类型设置为y型(manual focus)，并将属于y型的配方参数作为上述展示参数。
99.在一些可能的实施例中，可针对周期性监测过程设置分析策略，以根据不同周期内监测得到的生产配方中的展示参数变化情况，反馈出该生产配方中各配方参数的跳动频率幅度,进而通过对跳动频率幅度的分析应用于配方参数突增或突减的预警,以此作为提供制程调机及研发改善良率的重要依据。例如针对生产配方1，在第一周期内的展示参数有18个，而第二周期内的展示参数有100个，则表征该生产配方需要设定的可调参数存在突增情况。
100.上述流程中，本技术实施例通过周期性检测各工艺配方内的配方参数变化以确定每一工艺配方对应生产配方的展示参数。接下来，需根据展示参数生成对应生产配方的显示模板(display template)。
101.显示模板即为将生产配方设定为黄金工艺配方时，通过在rms系统在可视化界面中显示该生成配方参数的显示模板，以供工程人员对显示模板内各展示参数进行参数值设定。具体的，本技术实施例在确定生产配方对应的展示参数后，根据每一展示参数预设的关联生成该生产配方的显示模板。展示参数的关联项至少包括展示参数对应配方参数的参数名、参数值以及参数值范围，具体如图5所示，显示模板中至少包含表征展示参数名的字段block name/item name、表征参数固定值的字段value、表征参数值范围上限的字段maxvalue和表征参数值范围下限的字段minvalue。
102.由此生成的显示模板中仅包含该生产配方的展示参数，其余配方参数无需展示，可大幅降低工程人员找寻可调参数的过程，提高黄金工艺配方的设定精度，并降低rms系统将配方参数调用到可视化界面内展示的响应时间。
103.步骤203：响应于对展示参数的调整请求，将所述显示模板输出到可视化界面中展示，以通过所述可视化界面接收表征对所述显示模板内各展示参数的参数值的调整指示；
104.当工程人员针对生产配方生成对应黄金工艺配方时，需将该生产配方的显示模板展示到可视化界面中，以通过工程人员对该显示模板内各展示参数进行参数值的设定生成对应黄金工艺配方。
105.本技术实施例将显示模板输出到可视化界面中展示之前，可根据预设周期时间内监测到的各展示参数的参数值变化确定展示参数对应配方参数的参考值和/或参考范围。具体可通过对各展示参数在预设周期时间内的数值上下限、跳动频率等进行分析以从各展示参数在预设周期时间内的参数值变化给出一个具备工程人员参考的参考值和/或参考范围。
106.为便于理解，以上述图5示出的显示模板为例进行说明，该显示模板中设有每一展示参数的参数值、参数值范围上限和下限这三个字段，本技术实施例可根据求取历史平均
值(即，该展示参数的参数值在预设周期时间内的平均值)、求取线性回归方程等方式确定出能够表征该展示参数在预设周期时间内变化趋向的参考值和/或参考范围。进而将参考值添加到显示模板的上述value字段下，并将参考范围添加到上述maxvalue和minvalue字段下。进一步的，还可根据实际情况参考多个栎社周期时间内该展示参数的参数值变化以确定该展示参数对应的参考值和/或参考范围。
107.在确定展示参数的参考值和/或参考范围后，需将参考值与参数值关联展示，并将参考范围与参数范围关联展示在可视化界面中。例如图5中示出的参数名为step1 parameter1的展示参数，其在预设周期时段内的参数值共计变化4次，每次的value分别为55、56、55、58，则可求取平均值(55+56+55+58)/4＝56，与其显示模板内的value项关联展示。此外，还可将其参考范围40～70作为maxvalue和minvalue项关联展示。
108.在一些可能的实施例中，可视化界面内设有用于将生产配方内的各配方参数添加到显示模板的第一控件。如图6所示，第一控件用于查询并添加选定的配置参数。具体的，当工程人员需要设定的配置参数未在显示模板中时，可通过第一控件直接查询到该生产配方内的全部配方参数，并将全部配方参数作为展示参数添加到显示模板中。此外，第一控件还可支持如对参数名、参数名首字母等模糊搜索的方式，通过搜索配方参数的部分信息以快速从该生产配方内的全部配方参数中选定指定参数，并将指定参数作为展示参数添加到显示模板中。
109.在一些可能的实施例中，上述可视化界面内还支持展示指定类型的配置参数的控件，具体的，工程人员可通过该控件设定在可视化界面中设置展示参数的自定义类型。如图7所示，通过点击该控件可设置自定义展示t、v、f、n以及y这几种自定义类型的配置参数中的任一或组合，例如仅展示m类型的配置参数时，可视化界面中的显示模板内仅包含y类型的配置参数，而原本需要展示的t、v以及f类的展示参数则被隐藏。若不通过该控件设置，则默认选用t、v、f以及y这几种类型的配置参数为展示参数。
110.需要说明的是，本技术实施例中不仅可通过周期性的监测各机台工艺配方的配方参数变化，以生成该工艺配方对应生产配方的显示模板，还可自定义设置每种生产配方的显示模板的更新周期。例如可设置生产配方1～200的显示模板为每周期更新一次，而余下生产配方的显示模板为2周期更新一次。
111.步骤204：基于调整后的各展示参数生成所述生产配方对应的黄金工艺配方，并将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台。
112.工程人员对显示模板中的各展示参数进行参数值的设定后，生成该显示模板所属生产配方对应的黄金工艺配方。进一步的，通过将黄金工艺配方下发给用于执行黄金工艺配方对应工艺流程的机台，以完成对黄金工艺配方的分配。
113.实施时，可如图8所示，工程人员通过对可视化界面内显示的显示模板进行设定后生成对应的黄金工艺配方。然后自动跳转分配界面，分配界面内展示有黄金工艺配方对应多种机型下的各参考机台1～n。参考机台即为在周期时间内运行时，设有该黄金工艺配方对应工艺配方的机台。具体的，不同机型的机台所支持执行的工艺步骤不同，存在部分黄金工艺配方无法在某种机型的机台执行的情况。因而，本技术实施例的分配界面内展示有周期时间内执行过该黄金工艺配方对应工艺配方的机台，过滤了不适用该黄金工艺配方的机台，这样便于工程人员对黄金工艺配方分发。
114.此外，考虑到部分机台在周期监测过程中未运行该黄金工艺配方对应工艺配方，但其机型是支持运行该黄金工艺配方的。为适用更多的应用场景，本技术实施例的分配界面内设有用于将机型与黄金工艺配方适配的各机台添加到分配界面的第二控件。第二控件用于查询并添加全部机台。具体的，当工程人员需要分配的机台未在分配界面中时，可通过第二控件采用如查询机台编号、机台所属机型等方式查询到需要分配的机台，然后将该机台作为参考机台添加到分配界面中。
115.基于相同的发明构思，本技术实施例提供了一种半导体制程工艺配方的分配系统900，具体如图9所示，包括：
116.监测模块901，被配置为执行监测各机台在至少一个预设周期内运行时设置的工艺配方；
117.模板生成模块902，被配置为执行针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，并根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板；
118.模板显示模块903，被配置为执行响应于对展示参数的调整请求，将所述显示模板输出到可视化界面中展示，以通过所述可视化界面接收表征对所述显示模板内各展示参数的参数值的调整指示；
119.配方分配模块904，被配置为执行基于调整后的各展示参数生成所述生产配方对应的黄金工艺配方，并将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台。
120.在一些可能的实施例中，执行所述针对任意一个工艺配方，根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数，所述模板生成模块902被配置为：
121.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内设定有上下限，则确定所述配方参数为所述展示参数；
122.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内发生变化，则确定所述配方参数为所述展示参数；
123.若所述配方参数的参数值在所述至少一个预设周期内的变化次数满足预设阈值，则确定所述配方参数为所述展示参数。
124.在一些可能的实施例中，执行所述根据所述工艺配方中各配方参数的参数值确定所述工艺配方对应生产配方的展示参数之前，所述模板生成模块902还被配置为：
125.确定各所述配方参数未添加表征用户关注的预设标签；
126.所述模板生成模块902还被配置为：
127.所述针对任意一个配方参数，将添加所述预设标签的配方参数作为所述展示参数。
128.在一些可能的实施例中，执行所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板，所述模板生成模块902被配置为：
129.确定每一展示参数的关联项；其中，所述关联项至少包括所述展示参数对应配方参数的参数名、参数值以及参数值范围；
130.根据所述关联项生成所述显示模板。
131.在一些可能的实施例中，执行所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示之前，所述模板显示模块903还被配置为；
132.针对每一展示参数，根据所述展示参数在至少一个预设周期内的参数值变化确定所述展示参数对应配方参数的参考值和/或参考范围；
133.执行所述将所述显示模板输出到可视化界面中展示，所述模板显示模块903被配置为：
134.将所述配方参数的参考值和所述参数值在所述可视化界面中关联展示，并将所述配方的参考范围和所述参数值范围在所述可视化界面中关联展示。
135.在一些可能的实施例中，所述可视化界面内设有用于将所述生产配方内的各配方参数添加到所述显示模板的第一控件；执行所述根据所述展示参数生成所述生产配方的显示模板之前，所述模板生成模块902还被配置为：
136.响应于所述第一控件的触发指示，获取待添加的配方参数；
137.将所述待添加的配方参数作为所述展示参数。
138.在一些可能的实施例中，执行所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述配方分配模块904还被配置为：
139.生成所述黄金工艺配方后，在分配界面内展示所述黄金工艺配方对应的参考机台；其中，所述参考机台为在所述至少一个周期内运行时设有所述黄金工艺配方对应工艺配方的机台；
140.所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台，包括：
141.响应于对所述分配界面内各参考机台的选定操作，将所述黄金工艺配方下发到选定的各所述参考机台中。
142.在一些可能的实施例中，所述分配界面内设有用于将机型与所述黄金工艺配方适配的各机台添加到所述分配界面的第二控件；执行所述将所述黄金工艺配方下发给用于执行所述黄金工艺配方对应工艺流程的机台之前，所述配方分配模块904还被配置为：
143.响应于所述第二控件的触发指示，获取待添加机台；
144.将所述待添加机台作为所述参考机台。
145.下面参照图10来描述根据本技术的这种实施方式的电子设备130。图10显示的电子设备130仅仅是一个示例，不应对本技术实施例的功能和使用范围带来任何限制。
146.如图10所示，电子设备130以通用电子设备的形式表现。电子设备130的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理器131、上述至少一个存储器132、连接不同系统组件(包括存储器132和处理器131)的总线133。
147.总线133表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储器总线或者存储器控制器、外围总线、处理器或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。
148.存储器132可以包括易失性存储器形式的可读介质，例如随机存取存储器(ram)1321和/或高速缓存存储器1322，还可以进一步包括只读存储器(rom)1323。
149.存储器132还可以包括具有一组(至少一个)程序模块1324的程序/实用工具1325，这样的程序模块1324包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。
150.电子设备130也可以与一个或多个外部设备134(例如键盘、指向设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与电子设备130交互的设备通信，和/或与使得该电子设备130能与一个或多个其它电子设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(i/o)接口135进行。并且，电子设备130还可以通过网络适配器136与一个或者多个网络(例如局域网(lan)，广域网(wan)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器136通过总线133与用于电子设备130的其它模块通信。应当理解，尽管图中未示出，可以结合电子设备130使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理器、外部磁盘驱动阵列、raid系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。
151.在示例性实施例中，还提供了一种包括指令的计算机可读存储介质，例如包括指令的存储器132，上述指令可由系统900的处理器131执行以完成上述方法。可选地，计算机可读存储介质可以是rom、随机存取存储器(ram)、cd-rom、磁带、软盘和光数据存储设备等。
152.在示例性实施例中，还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序/指令，所述计算机程序/指令被处理器131执行时实现如本技术提供的一种半导体制程工艺配方的分配方法。
153.在示例性实施例中，本技术提供的一种车半导体制程工艺配方的分配方法的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当程序产品在计算机设备上运行时，程序代码用于使计算机设备执行本说明书上述描述的根据本技术各种示例性实施方式的一种半导体制程工艺配方的分配方法中的步骤。
154.程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以是——但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。
155.本技术的实施方式的用于半导体制程工艺配方的分配的程序产品可以采用便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)并包括程序代码，并可以在电子设备上运行。然而，本技术的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。
156.可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括——但不限于——电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。
157.可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括——但不限于——无线、有线、光缆、rf等等，或者上述的任意合适的组合。
158.可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本技术操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如java、c++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户电子设备
上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户电子设备上部分在远程电子设备上执行、或者完全在远程电子设备或服务端上执行。在涉及远程电子设备的情形中，远程电子设备可以通过任意种类的网络——包括局域网(lan)或广域网(wan)—连接到用户电子设备，或者，可以连接到外部电子设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。
159.应当注意，尽管在上文详细描述中提及了装置的若干单元或子单元，但是这种划分仅仅是示例性的并非强制性的。实际上，根据本技术的实施方式，上文描述的两个或更多单元的特征和功能可以在一个单元中具体化。反之，上文描述的一个单元的特征和功能可以进一步划分为由多个单元来具体化。
160.此外，尽管在附图中以特定顺序描述了本技术方法的操作，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些操作，或是必须执行全部所示的操作才能实现期望的结果。附加地或备选地，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，和/或将一个步骤分解为多个步骤执行。
161.本领域内的技术人员应明白，本技术的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本技术可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本技术可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
162.本技术是参照根据本技术实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程图像缩放设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程图像缩放设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
163.这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程图像缩放设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
164.这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程图像缩放设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
165.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
166.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。