用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质与流程

本发明涉及半导体加工，更具体地涉及一种用于加工装置的控制系统、一种用于加工装置的控制方法、一种电子设备和一种存储介质。

背景技术：

1、在很多领域，加工装置会带有自动跟随系统。下面以激光加工为例进行说明。激光加工装置包括载台组件、激光测距仪、加工头、压电陶瓷电机以及自动跟随系统。在激光加工装置中，自动跟随系统是一套非接触式测量，实时对焦系统。在激光切割过程中，通过自动跟随系统可以实现自动对焦，焦点实时跟随产品厚度的变化而自动调整，确保隐形切割的激光聚焦改质层深度一致，保证切割品质。但是，因为一些异常点干扰，可能导致激光测距仪采集到突变电压信号，导致跟随电压输出时，压电陶瓷电机抖动，从而影响跟随性能。其中，异常点干扰主要包括：晶圆表面凸起灰尘、凹陷缺陷、异常不反光沾污等。

技术实现思路

1、考虑到上述问题而提出了本发明。本发明提供了一种用于加工装置的控制系统、一种用于加工装置的控制方法、一种电子设备和一种存储介质。

2、根据本发明一方面，提供了一种用于加工装置的控制系统，包括：数据接收模块，用于实时接收待加工件的距离信息，距离信息用于表示加工装置的加工头与待加工件在第一方向上的距离，距离信息包含多个数据点，每个数据点代表一个距离值；数据存储模块，与数据接收模块连接，用于存储距离信息；分析模块，与数据接收模块连接，用于根据距离信息中的数据点的变化幅度确定距离信息中的两个相邻数据点是否符合预设要求，在两个相邻数据点符合预设要求的情况下，确定两个相邻数据点为一组异常数据点，并根据预先设置的异常数据点的特征参数，确定两组相邻异常数据点对应的待加工件上的区域是否是异常区域，以获得分析结果，其中，预设要求为：两个相邻数据点中的第一数据点与正常数据点之间的差小于第一预设阈值，第二数据点与正常数据点或第一数据点之间的差大于第二预设阈值；数据更新模块，与分析模块和数据存储模块连接，用于根据分析结果，利用正常数据点替换数据存储模块中存储的与异常区域相对应的各数据点。

3、示例性地，分析模块具体用于当两个相邻数据点符合预设要求，并且正常数据点、两个相邻数据点中的第一数据点、两个数据点中的第二数据点按顺序先后接收时，确定两个相邻数据点属于第一类异常数据点，其中，两组相邻异常数据点属于两类不同的异常数据点。

4、示例性地，分析模块具体用于当两个相邻数据点符合预设要求，并且两个数据点中的第二数据点、两个相邻数据点中的第一数据点、正常数据点按顺序先后接收时，确定两个相邻数据点属于第二类异常数据点，其中，两组相邻异常数据点属于两类不同的异常数据点。

5、示例性地，预先设置的异常数据点的特征参数是预设脉宽，分析模块具体用于当两组相邻异常数据点之间的时间间隔小于设定脉宽时，确定两组相邻异常数据点对应的待加工件上的区域是异常区域。

6、示例性地，数据更新模块具体用于：对于任一异常区域，利用位于该异常区域所对应的数据点之前的最近的第一正常数据点、或者位于该异常区域所对应的数据点之后的最近的第二正常数据点、或者第一正常数据点与第二正常数据点的平均值，替换数据存储模块中存储的与该异常区域相对应的各数据点。

7、示例性地，数据接收模块包括：第一数据接收子模块，用于实时接收距离信息；第一下采样子模块，与第一数据接收子模块和数据存储模块连接，用于对距离信息进行第一次下采样；第二下采样子模块，与第一下采样子模块和分析模块连接，用于对经过第一次下采样的距离信息进行第二次下采样；其中，数据存储模块用于存储经过第一次下采样的距离信息，分析模块用于基于经过第二次下采样的距离信息中的数据点的变化幅度确定距离信息中的两个相邻数据点是否符合预设要求。

8、示例性地，数据存储模块具有第一接口和第二接口，数据存储模块通过第一接口接收数据接收模块传输的距离信息，并通过第二接口接收数据更新模块传输的用于替换的正常数据点。

9、示例性地，数据接收模块还用于实时接收待加工件的位置信息，位置信息用于表示待加工件沿第二方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第二方向上的位置，系统还包括：读取控制模块，与数据存储模块和数据接收模块连接，用于在至少基于位置信息确定待加工件处于有效加工区域内的情况下，从数据存储模块中自有效加工区域的加工起始点开始读取对应的距离信息，以基于所读取的距离信息控制加工头在第一方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。

10、示例性地，读取控制模块还用于根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点，目标位置点是加工起始点或加工结束点。

11、示例性地，读取控制模块通过以下方式根据位置信息和距离信息，判断待加工件是否到达有效加工区域上的目标位置点：根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，基于当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定待加工件处于目标位置点时所对应的目标位置信息；当数据接收模块接收到的位置信息为目标位置信息时，确定待加工件处于目标位置点。

12、示例性地，加工装置包括测距机构，测距机构用于测量距离信息，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取控制模块通过以下方式从数据存储模块中读取对应的距离信息：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息x1，确定第二位置信息x2；当数据接收模块接收到的位置信息为第二位置信息x2时，从数据存储模块中读取与第一位置信息x1相对应的距离信息；其中，第二位置信息x2满足以下公式：x2＝x1+δx1，δx1表示测距机构与加工头在第二方向上的距离。

13、示例性地，加工装置还包括测距机构和调焦机构，测距机构用于测量距离信息，调焦机构用于带动加工头在第一方向上移动，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取控制模块通过以下方式从数据存储模块中读取对应的距离信息：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息x1，确定第二位置信息x2；当数据接收模块接收到的位置信息为第二位置信息x2时，从数据存储模块中读取与第一位置信息x1相对应的距离信息；其中，第二位置信息x2满足以下公式：x2＝x1+δx1-δx2，δx1表示测距机构与加工头在第二方向上的距离，δx2表示在调焦机构的响应时间内待加工件在第二方向上与加工头发生相对移动的移动距离。

14、示例性地，加工装置还包括调焦机构，调焦机构用于带动加工头在第一方向上移动，系统还包括：第一数据处理模块，与读取控制模块连接，用于根据从读取控制模块接收的所读取的距离信息进行数模拟合，获得拟合信号；输出模块，与第一数据处理模块连接，用于根据拟合信号生成对应的实时控制信号，并将实时控制信号输出给调焦机构，以控制调焦机构带动加工头在第一方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置。

15、示例性地，系统还包括：第一交互模块，与输出模块连接，用于从上位机获取第一指示信息，输出模块进一步用于在加工头处于有效加工区域中的加工起始点之前基于第一指示信息生成固定控制信号，并将固定控制信号输出给调焦机构，以控制调焦机构带动加工头在第一方向上保持在固定位置。

16、示例性地，读取控制模块还用于在待加工件处于有效采集区域的采集起始点和采集结束点的过程中，控制数据存储模块存储距离信息，有效采集区域包括有效加工区域，系统还包括：判断模块，与数据接收模块和读取控制模块连接，用于根据位置信息，判断待加工件是否到达采集起始点或采集结束点；第二交互模块，与判断模块连接，用于从上位机获取第二指示信息，判断模块基于第二指示信息确定采集起始点和采集结束点各自对应的位置信息。

17、根据本发明另一方面，提供一种用于加工装置的控制方法，包括：实时接收待加工件的距离信息，距离信息用于表示加工装置的加工头与待加工件在第一方向上的距离，距离信息包含多个数据点，每个数据点代表一个距离值；存储距离信息；根据距离信息中的数据点的变化幅度确定距离信息中的两个相邻数据点是否符合预设要求，在两个相邻数据点符合预设要求的情况下，确定两个相邻数据点为一组异常数据点，并根据预先设置的异常数据点的特征参数，确定两组相邻异常数据点对应的待加工件上的区域是否是异常区域，以获得分析结果，其中，预设要求为：两个相邻数据点中的第一数据点与正常数据点之间的差小于第一预设阈值，第二数据点与正常数据点或第一数据点之间的差大于第二预设阈值；根据分析结果，利用正常数据点替换所存储的与异常区域相对应的各数据点。

18、示例性地，在两个相邻数据点符合预设要求的情况下，确定两个相邻数据点为一组异常数据点，包括：当两个相邻数据点符合预设要求，并且正常数据点、两个相邻数据点中的第一数据点、两个数据点中的第二数据点按顺序先后接收时，确定两个相邻数据点属于第一类异常数据点，其中，两组相邻异常数据点属于两类不同的异常数据点。

19、示例性地，在两个相邻数据点符合预设要求的情况下，确定两个相邻数据点为一组异常数据点，包括：当两个相邻数据点符合预设要求，并且两个数据点中的第二数据点、两个相邻数据点中的第一数据点、正常数据点按顺序先后接收时，确定两个相邻数据点属于第二类异常数据点，其中，两组相邻异常数据点属于两类不同的异常数据点。

20、示例性地，预先设置的异常数据点的特征参数是预设脉宽，根据预先设置的异常数据点的特征参数，确定两组相邻异常数据点对应的待加工件上的区域是否是异常区域，包括：当相邻的两个跳变边沿之间的时间间隔小于设定脉宽时，确定相邻的两个跳变边沿之间的区域是异常区域。

21、示例性地，根据分析结果，利用正常数据点替换数据存储模块中存储的与异常区域相对应的各数据点，包括：对于任一异常区域，利用位于该异常区域所对应的数据点之前的最近的第一正常数据点、或者位于该异常区域所对应的数据点之后的最近的第二正常数据点、或者第一正常数据点与第二正常数据点的平均值，替换数据存储模块中存储的与该异常区域相对应的各数据点。

22、根据本发明另一方面，还提供一种电子设备，包括处理器和存储器，其中，存储器中存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器运行时用于执行上述用于加工装置的控制方法。

23、根据本发明另一方面，还提供一种存储介质，在存储介质上存储了程序指令，其中，程序指令在运行时用于执行上述用于加工装置的控制方法。

24、根据本发明实施例的用于加工装置的控制系统和方法、电子设备及存储介质，能够根据距离信息的变化幅度确定异常数据点，进而判定待加工件上的异常区域，并且将距离信息中与异常区域所对应的数据点修改为正常数据点，消除其中的异常突变点，这有助于保证跟随信号的稳定性，进而保证加工装置的切割品质。