一种冷却液循环利用控温装置的制作方法

本技术涉及电子及半导体设备制造，具体来说，涉及一种冷却液循环利用控温装置。

背景技术：

1、在电子及半导体设备制造过程中，需要进行严格的温度控制，在维持所需温度的过程中，需要提供一定的制冷量，抵消工艺过程中的热负荷，温控系统作为电子及半导体制造的辅助设备，通常通过制冷系统、循坏管路及储水装置提供冷却液，用以准确控制输出温度。

2、经过检索后发现，公开号为cn217330366u，名称为冷却液供给装置及温控系统，该申请提出了现有的技术方案通常仅包括一个冷却液储存箱，该冷却液储存箱与制冷系统、工艺设备相连通，形成循环回路，在温控设备运行的过程中，循环管路内的循环液体会慢慢减少，需要及时补液。而循环液减少需要补充时，每次补液需要发送命令到刻蚀工艺设备端，补液效率低的问题，通过通过第一液体容器与工艺设备、制冷装置相连通，形成循环回路，由第一液体容器为工艺设备提供冷却液，通过第二液体容器为第一液体容器补液，从而减少第一液体容器需要补液时与工艺设备端通信所需的确认次数和等待时间。再通过第二液体容器及时补充存储可循环利用的冷却液，相当于为温控系统增设了缓冲区，提高了补液效率，同时，增设了第二液体容器储存可循环利用的冷却液，提高了温控系统的运行时间，通过压力、温度、流量传感器实时采集信号，可编程控制器(plc)程序精确控制，避免了自动补液时发生液体外漏。第二液体容器与工艺设备端通信，请求补液，减少了组成冷却液循环回路的第一液体容器直接与工艺设备端通信与信息确认的时间，避免了冷却液不足，影响工艺过程，但是，该申请补液温控控制结构较为复杂，需要安装多个传感器和电磁阀，并安装控制单元，控制形式复杂，不够简单高效，还可以进一步作出改进。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种冷却液循环利用控温装置，具备控制结构简单、生产使用方便的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述控制结构简单、生产使用方便的优点，本实用新型采用的具体技术方案如下：

5、一种冷却液循环利用控温装置，包括冷却箱和第二液位开关，所述冷却箱顶面通过支腿固定安装有补充箱，且补充箱通过连接管与冷却箱贯通连接，并且补充箱表面安装有电磁阀，所述冷却箱内部安装有第一液位开关，且第一液位开关输出端与电磁阀电性连接，所述冷却箱内部架设有换热管，且冷却箱一侧安装有回温箱，并且回温箱内部固定安装有恒温加热棒，所述回温箱底面通过连通管与冷却箱底面贯通连接，且回温箱上部一侧表面贯通连接有第一水泵，并且第一水泵输出端贯通连接有冷却液出管，所述回温箱上部一侧表面位于第一水泵下方贯通连接有第二水泵，且第二水泵输出端贯通连接有补充管，所述冷却箱上部另一侧表面贯通连接有冷却液进管，所述第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，且第二液位开关输出端与第二水泵电性连接。

6、进一步的，所述回温箱顶面中心位置固定安装有搅拌电机，且回温箱内部设置有搅拌桨，并且搅拌桨顶面贯穿回温箱与搅拌电机输出端连接。

7、进一步的，所述恒温加热棒设置有多个，且恒温加热棒布置在搅拌桨外侧。

8、进一步的，所述补充管和冷却液出管另一端均与设备冷却液存储箱贯通连接。

9、进一步的，所述连通管表面安装有单向阀，且单向阀方向为冷却液流入到回温箱中的方向。

10、进一步的，所述换热管一端贯通连接有换热介质进管，且换热管另一端贯通连接有换热介质出管，并且换热介质出管和换热介质进管分别接通换热介质循环冷却设备输入端和输出端。

11、进一步的，所述补充箱顶面贯通连接有补液口。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比，本实用新型提供了一种冷却液循环利用控温装置，具备以下有益效果：

14、(1)、本实用新型采用了第一液位开关和第二液位开关，第一液位开关控制电磁阀的启闭，第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，监测设备冷却液存储箱的冷却液液位，在进行冷却液循环，冷却液从设备中流出后，经冷却液进管进入到冷却箱中，换热管内部通入换热介质，通过热交换为冷却液降温，降温后的冷却液通过连通管进入到回温箱中，经过恒温加热棒二次升温至合适温度后由第一水泵泵送回设备冷却液存储箱内，完成连续冷却液循环利用，同时，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关触发，打开第二水泵，第二水泵抽出回温箱中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱内部液位较低时，第一液位开关触发，打开电磁阀，位于补充箱内部的冷却液补充进入到冷却箱中，避免冷却箱和回温箱内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

15、(2)、本实用新型采用了搅拌桨和搅拌电机，在冷却液进行二次升温时，工作人员可打开搅拌电机，搅拌电机带动搅拌桨转动，使位于回温箱内部的冷却液能够快速的混合，避免加热不均匀的情况发生，提高了冷却液二次升温的均匀性和效率。

技术特征：

1.一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，包括冷却箱(1)和第二液位开关(22)，所述冷却箱(1)顶面通过支腿(9)固定安装有补充箱(2)，且补充箱(2)通过连接管(11)与冷却箱(1)贯通连接，并且补充箱(2)表面安装有电磁阀(12)，所述冷却箱(1)内部安装有第一液位开关(8)，且第一液位开关(8)输出端与电磁阀(12)电性连接，所述冷却箱(1)内部架设有换热管(4)，且冷却箱(1)一侧安装有回温箱(3)，并且回温箱(3)内部固定安装有恒温加热棒(14)，所述回温箱(3)底面通过连通管(16)与冷却箱(1)底面贯通连接，且回温箱(3)上部一侧表面贯通连接有第一水泵(18)，并且第一水泵(18)输出端贯通连接有冷却液出管(19)，所述回温箱(3)上部一侧表面位于第一水泵(18)下方贯通连接有第二水泵(20)，且第二水泵(20)输出端贯通连接有补充管(21)，所述冷却箱(1)上部另一侧表面贯通连接有冷却液进管(5)，所述第二液位开关(22)安装在设备冷却液存储箱内，且第二液位开关(22)输出端与第二水泵(20)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述回温箱(3)顶面中心位置固定安装有搅拌电机(13)，且回温箱(3)内部设置有搅拌桨(15)，并且搅拌桨(15)顶面贯穿回温箱(3)与搅拌电机(13)输出端连接。

3.根据权利要求2所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述恒温加热棒(14)设置有多个，且恒温加热棒(14)布置在搅拌桨(15)外侧。

4.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述补充管(21)和冷却液出管(19)另一端均与设备冷却液存储箱贯通连接。

5.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述连通管(16)表面安装有单向阀(17)，且单向阀(17)方向为冷却液流入到回温箱(3)中的方向。

6.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述换热管(4)一端贯通连接有换热介质进管(6)，且换热管(4)另一端贯通连接有换热介质出管(7)，并且换热介质出管(7)和换热介质进管(6)分别接通换热介质循环冷却设备输入端和输出端。

7.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述补充箱(2)顶面贯通连接有补液口(10)。

技术总结
本技术公开了一种冷却液循环利用控温装置，包括冷却箱和第二液位开关，所述冷却箱顶面通过支腿固定安装有补充箱。有益效果：第一液位开关控制电磁阀的启闭，第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关触发，打开第二水泵，第二水泵抽出回温箱中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱内部液位较低时，第一液位开关触发，打开电磁阀，位于补充箱内部的冷却液补充进入到冷却箱中，避免冷却箱和回温箱内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

技术研发人员：陈思友,金波,丁督督
受保护的技术使用者：江西省万年群兴电子有限公司
技术研发日：20221229
技术公布日：2024/1/13