一种机柜的控制系统的制作方法

本技术属于半导体生产机柜，尤其涉及一种机柜的控制系统。

背景技术：

1、等离子体在半导体、lcd面板、太阳能等行业有着相当广泛且关键的应用，射频电源和微波电源是产生等离子体的关键设备之一。

2、目前，机台配置的控制板是由机台将数据信号通过rs485传给各个机柜，再由各个机柜上的转换板转换成模拟信号来控制各个电源设备。

3、但是，这种控制方式，是通过转换成模拟量之后进行传递控制，模拟量存在一定误差，会导致控制精度不高的问题。

技术实现思路

1、本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种机柜的控制系统，用于解决现有机柜中控制模块控制精度不高的问题。

2、本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种机柜的控制系统，其包括：

3、机柜，其中安装有机架，以将所述机柜分置为前后两部分，所述机架上方安装有隔板，所述隔板后侧安装有总供开关，所述机架下方安装有电源设备；

4、控制模组，安装于所述隔板前侧，所述控制模组包括：mcu及与所述mcu连接的数字通讯模块、电压采集回路、信号采集回路、电压控制回路及信号控制回路；

5、所述数字通讯模块用于输出所述mcu的数字信号至所述电源设备；

6、所述电压采集回路和信号采集回路分别用于采集外部机台的电压信号及控制信号传递至所述mcu；

7、所述电压控制回路和信号控制回路分别用于向外部机台发送处理后的电压信号及控制信号。

8、相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：

9、通过运放模块确保了采集到的设定功率电压的准确性和稳定性，及确保提供给机台反馈电压能够准确无误的反馈实际的功率，利用光耦模块的通断性，保证了信号的实时性和稳定性，进而提高机柜中电源设备的精度，提高生产精度。

10、进一步地，所述电压采集回路包括：依次与所述mcu连接的ad转换模块、第一差分运放模块及电压采集传输线，所述第一差分运放模块用于隔离外部信号；

11、所述信号采集回路包括：与所述mcu 连接的门电路光耦模块，所述门电路光耦模块用于将外部信号转换为适配所述mcu的电信号。

12、进一步地，所述电压控制回路包括：依次与所述mcu连接的da转换模块、第二差分运放模块及电压控制传输线，所述第二差分运放模块用于隔离外部信号；

13、所述信号控制回路包括：与所述mcu 连接的fet光耦模块，所述fet光耦模块用于隔离外部信号。

14、进一步地，所述第一差分运放模块包括：依次连接的差分输入模块及电压跟随器，所述电压跟随器输出端连接所述ad转换模块；

15、所述第二差分运放模块包括：依次连接的减法器及差分输出模块，所述差分输出模块的输出端连接所述da转换模块；

16、所述差分输入模块及差分输出模块两端还分别连接有反馈电阻。

17、进一步地，所述数字通讯模块包括：若干分别连接所述电源设备的rs232转换模块及rs422转换模块；

18、所述控制模组还连接有供电电路，连接外部电源的所述供电电路通过降压模块与所述控制模组连接。

19、进一步地，所述电源设备两侧安装有抽拉滑轨，所述抽拉滑轨与所述机架连接，所述机柜前侧封设有安装在所述电源设备上的盲板。

20、进一步地，所述盲板两侧边间隔开设有若干过孔，所述机柜两侧对应所述过孔开设有凹槽。

21、进一步地，所述隔板前后间隔安装有至少两层，所述机柜顶部安装有若干组风扇，至少一组所述风扇对应设置于两层所述隔板之间。

22、进一步地，所述隔板后侧安装有凹形防护罩，以在上下方向上形成空气对流，所述防护罩上对应所述总供开关开设有操作槽口。

技术特征：

1.一种机柜的控制系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述电压采集回路包括：依次与所述mcu连接的ad转换模块、第一差分运放模块及电压采集传输线，所述第一差分运放模块用于隔离外部信号；

3.根据权利要求2所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述电压控制回路包括：依次与所述mcu连接的da转换模块、第二差分运放模块及电压控制传输线，所述第二差分运放模块用于隔离外部信号；

4.根据权利要求3所述的机柜的控制系统，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述数字通讯模块包括：若干分别连接所述电源设备的rs232转换模块及rs422转换模块；

6.根据权利要求1所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述电源设备两侧安装有抽拉滑轨，所述抽拉滑轨与所述机架连接，所述机柜前侧封设有安装在所述电源设备上的盲板。

7.根据权利要求6所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述盲板两侧边间隔开设有若干过孔，所述机柜两侧对应所述过孔开设有凹槽。

8.根据权利要求7所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述隔板前后间隔安装有至少两层，所述机柜顶部安装有若干组风扇，至少一组所述风扇对应设置于两层所述隔板之间。

9.根据权利要求8所述的机柜的控制系统，其特征在于，所述隔板后侧安装有凹形防护罩，以在上下方向上形成空气对流，所述防护罩上对应所述总供开关开设有操作槽口。

技术总结
本技术属于半导体生产机柜技术领域，尤其涉及一种机柜的控制系统。其包括：机柜及控制模组，机柜中安装有机架，以将机柜分置为前后两部分，机架上方安装有隔板，隔板后侧安装有总供开关，机架下方安装有电源设备；控制模组安装于隔板前侧，控制模组包括：MCU及与MCU连接的数字通讯模块、电压采集回路、信号采集回路、电压控制回路及信号控制回路；数字通讯模块用于输出MCU的数字信号至电源设备；电压采集回路和信号采集回路分别用于采集外部机台的电压信号及控制信号传递至MCU；电压控制回路和信号控制回路分别用于向外部机台发送处理后的电压信号及控制信号。本技术用于解决现有机柜中控制模块控制精度不高的问题。

技术研发人员：尹巧星,戚银晟,朱国俊
受保护的技术使用者：江苏神州半导体科技有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/15