专利名称：基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、 许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质，特别是涉及根据基于 软件控制对基板进行处理的基板处理装置、许可管理程序、许可信息 提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质。
背景技术：
通常软件的用户有服从该许可协议的义务。许可协议的规定中有 各种条款，在达成协议的用户数、计算机的台数、或在使用期间等范 围内允许使用软件。
有时针对在半导体制造装置等基板处理装置上工作的软件，在基 板处理装置的制造商和基板处理装置的用户之间签订许可协议。在这 种情况下，基板处理装置的制造商向用户要求软件的许可费，在缴纳 该许可费后，才允许使用该软件。具体而言，与一般的软件相同，基
板处理装置的制造商通知用户许可密钥(licence key)等，输入该许可 密钥等，此后可以使用该软件。
然而，在该许可协议仅在制造商与该用户之间有效的情况下，当 该用户转卖基板处理装置时，制造商可以向转卖对方的用户重新要求 许可费。
专利文献1:日本特开2005-84889号公报
但是， 一直以来只要没有来自用户的报告，制造商很难察觉基板 处理装置的转卖。作为实际问题，根据制造商所派遣的保养作业员的 报告，也许能够察觉基板处理装置被转移到了某处。但是，可以想象 如果转卖对方的用户不合作，很难正确地把握转卖的目的地。
于是，存在不得不眼睁睁地看着该软件被不正当地使用，制造商 无法要求软件的许可费，导致利益蒙受侵害的问题。
而且，在专利文献1所记载的技术中，即使能够对每个作为许可 对象的机器进行许可管理，也很难在该机器被转卖时妥当地防止该机 器所用的软件的使用。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够妥当 地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用的基板处理装置、 许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系 统和记录介质。
因此，为了解决上述课题，本发明提供了一种根据基于软件控制 对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于，包括许可信息接收 单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收上述软件的许可
信息；许可信息解析单元，从上述许可信息取出上述许可信息提供装 置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从上述许可信息取出的 上述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的上述许可信息提供装 置的上述地址信息进行比较。并且，在两个上述地址信息的值不一致 的情况下，限制上述软件的至少一部分功能的执行。
并且，为了解决上述课题，本发明提供了一种通过网络与上述基 板处理装置连接的许可信息提供装置，其特征在于，包括许可信息
生成单元，根据该许可信息提供装置的上述地址信息，生成上述许可
信息；和许可信息发送单元，向上述基板处理装置发送上述许可信息。 根据上述基板处理装置和上述许可信息提供装置，能够妥当地防 止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用。
发明效果
根据本发明，提供一种能够妥当地防止在基板处理装置中工作的 软件的不正当使用的基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装 置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质。
图1是表示本发明实施方式中的基板处理装置构成例示意图。
图2是表示第一实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。
图3是表示本发明实施方式中的许可密钥服务器的硬件构成例的图。
图4是表示第一实施方式中的用于实现许可管理系统的许可密钥 服务器和基板处理装置的功能构成例的图。
图5是用于说明输入初始密钥时许可密钥服务器中的初始设定处 理的处理顺序的流程图。
图6是用于说明接收初始密钥时基板处理装置中的处理顺序的流 程图。
图7是用于说明基板处理装置中许可的更新处理的处理顺序的流 程图。
图8是用于说明许可密钥服务器中的许可密钥的更新处理的流程图。
图9是表示第二实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。
图IO是表示第三实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。
图11是表示本发明实施方式中的第二基板处理装置的构成例的示 意图。
图12是表示本发明实施方式中的第三基板处理装置的构成例的示 意图。
图13是第二处理单元的截面图。 图14是表示第二处理舟构成的立体示意图。 图15是表示第二负载锁定单元的单元驱动用干燥空气供给系统的 构成的示意图。
图16是表示第三基板处理装置中的系统控制器的构成例的图。
具体实施例方式
下面根据附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示本发明 实施方式中的基板处理装置构成的示意图。
在图1中，基板处理装置2主要包括对作为被搬送体的半导体 晶片(基板)W进行成膜处理、扩散处理、蚀刻处理等各种处理的处 理系统5和将晶片W搬入、搬出该处理系统的搬送系统6。处理系统
5由能够抽真空的移载室8和通过闸阀10A 10D连接的4个处理腔室 (处理室)12A 12D构成，在各处理腔室12A 12D中，对晶片W 实施相同种类或不同种类的热处理。在各处理腔室12A 12D内，分 别设置有用于载置晶片W的基座14A 14D。并且，在移载室8内， 设有能够自由伸縮和旋转的移载臂部16，其能够在各处理腔室12A 12D之间和与后述的负载锁定室之间进行晶片W的交接。
另一方面，搬送系统6由载置盒容器的盒台18和移动搬送臂部20 的搬送台22构成，该搬送臂部20用于搬送晶片W并进行交接。在盒 台18内设有容器载置台24，其中能够载置多个、图示例中最多为4 个盒容器26A 26D。各盒容器26A 26D能够以等间距分多段载置并 收容最大例如25片晶片W。在搬送台22上，设有从中心部沿着长度 方向延伸的直线导轨28，由线性电动机驱动台34所支承的搬送臂部 20，沿着该直线导轨28，可动线圈高效地变换从磁铁发出的磁通量，
能够非接触式地进行高速且高精度的直线运动。
并且，在搬送台22的另一端，设有作为对晶片进行定位的方向定 位装置的定位器36，而且，在搬送台22的途中，设有用于与上述移载 室8之间连接的能够抽真空的两个负载锁定室38A、 38B。各负载锁定 室38A、 38B内，设有载置晶片W的被搬送体载置台40A、 40B，并 且在各负载锁定室38A、 38B的前后，分别设有用于与移载室8或搬 送台22连通的闸阀42A、 42B和44A、 44B。其中，在基板处理装置2 中，至少由移载臂部16和搬送臂部20构成搬送单元。
基板处理装置2还包括控制处理系统5和搬送系统6等的动作 的系统控制器、和配置于搬送台22 —端的操作控制器88。
操作控制器88具有例如由LCD (Liquid Crystal Display:液晶显 示器)构成的显示部和输入部等。例如，操作控制器88显示输出基板 处理装置2的各工作状况等，并接收通过触笔等的画面选择等的输入 指示。
图2是表示第一实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的
图。在图2中，系统控制器包括EC (Equipment Controller:设备控制 器)89、两个MC (Module Controller:模块控制器)90和91、以及连 接EC89和各MC的切换中心93。
EC89是控制包括各MC的整个基板处理装置2的动作的主控制部 (Master控制部)。并且，EC89具有CPU891、 RAM892、 HDD893 等，根据在操作控制器88中由用户等指定的晶片W的处理方法，即 对应于方案的程序，CPU向各MC发送控制信号，由此控制处理系统 5和搬送系统6等的动作。并且，在本实施方式中，EC89实现了在基 板处理装置2中控制基板处理等的软件的许可管理功能。后面对许可 管理功能进行详细的描述。
切换中心93，根据来自EC89的控制信号，切换作为EC89的连接 目标的MC。
MC卯和91是分别控制处理系统5和搬送系统6动作的副控制部 (Slave控制部)o各MC由DIST(Distribution:分配)板96通过GHOST 网络95分别与I/O (输入输出)模块97或98连接。GHOST网络95 是通过被称为GHOST ( General High-Speed Optimum Scalable Transceiver)的LSI所实现的网络，其搭载于MC所拥有的MC板上。 GHOST网络95可以连接有多个I/O模块，在GHOST网络95中，MC
相当于主，而i/o模块相当于副。
1/0模块97由与处理系统5的各构成要素(下面称为"终端装置") 连接的多个I/O部100构成，传递向各终端装置的控制信号和来自各终 端装置的输出信号。I/O模块97中与I/O部100连接的终端装置，例 如相当于处理腔室12A 12D等中的氨气供给管的MFC、氟化氢气体 供给管的MFC、压力计、APC阀、氮气供给管的MFC和移载室8的 移载臂部16等。
并且，1/0模块98具有与I/0模块97相同的构成，与搬送系统6 的连接关系也和上述MC90与1/0模块97的连接关系相同。即，在I/O 模块98中，与I/O部100连接的终端装置例如相当于搬送台22的线性 电动机驱动台34、搬送臂部20和各负载锁定室38A、 38B的闸阀等。
并且，对I/O部100中的数字信号、模拟信号和串行信号的输入输 出进行控制的I/0板(未图示)也与各GHOST网络95连接。
在基板处理装置2中，对晶片W实施规定处理时，根据与该规定
的处理方案相对应的程序，EC89的CPU891通过切换中心93、 MC卯、 GHOST网络95和I/O模块97的I/O部100，向指定的终端装置发送 控制信号，由此在处理腔室12A等中实行该规定的处理。
在图2的系统控制器中，多个终端装置不与EC89直接连接，多个 与终端装置连接的I/O部100被模块化，构成I/O模块，由于该I/O模 块通过MC和切换中心93与EC89连接，所以能够使通信系统简单化。
并且，由于EC89的CPU891发送的控制信号中包括与所期望的终 端地址连接的I/O部100的地址和含有I/O部100的I/O模块的地址， 所以切换中心93参照控制信号中的I/O模块的地址，并参照MC的 GHOST控制信号中的I/O部100的地址，切换中心93和MC可以不 用向CPU891査询控制信号的发送目的地，由此，能够实现控制信号
系统控制器，从EC89通过设于工厂内的LAN( Local Area Network: 局域网)等网络170 (不限于有线或无线)，与同一工厂内的许可密钥 服务器60连接。许可密钥服务器60是向基板处理装置2提供许可密 钥的PC (Personal Computer:个人电脑)等的计算机。这里，所谓许 可密钥是指证明在基板处理装置2中工作的软件的许可(使用许可) 的数据。即，在输入合适的许可密钥之前，本实施方式的基板处理装 置2中的规定软件的功能的一部分或全部受到限制。
而且，系统控制器可以通过网络170与对设置有基板处理装置2 的整个工场的制造工序进行管理的MES (Manufacturing Execution System:制造执行系统)连接。MES与系统控制器一起将与工厂的工 序相关的实时信息反馈给骨干业务(未图示)并考虑整个工厂的负荷 等进行与工序相关的判断。
对许可密钥服务器60进行说明。图3是表示本发明实施方式中的 许可密钥服务器的硬件构成例的图。本实施方式的许可密钥服务器60 包括分别通过总线B互相连接的驱动装置600、辅助存储装置602、存 储器装置603、 CPU604、接口装置605、显示装置606和输入装置607 等。
实现许可密钥服务器60中的后述功能的程序，由例如floppy (注
册商标)盘、硬盘、磁光盘、CD-ROM、 CD-R、 CD-RW、 DVD-ROM、 DVD-RAM、 DVD-RW、 DVD+RW、磁带、非易失性存储卡、ROM等 记录介质601提供。将记录有程序的记录介质601装入驱动装置600 时，程序从记录介质601通过驱动装置600安装到辅助存储装置602 中。而且，程序也可以从网络下载而不来自记录介质601。
辅助存储装置602存储已安装的程序，同时存储必要的文件和数 据。存储器装置603在具有程序的启动指令时，从辅助存储装置602 读出程序并进行存储。CPU604根据储存在存储器装置603的程序，执 行与许可密钥服务器60相关的功能。这里，CPU604所执行的与许可 密钥服务器60相关的功能，包括以在CPU604上运行的许可密钥服务 器60的OS (Operating System:操作系统)等处理的执行为基础的功 能。而且，也包括在将上述程序写入插入到许可密钥服务器60中的各 种功能扩展板或功能扩展单元所具备的存储器之后，根据该存储器上 的程序，各种功能扩展板或功能扩展单元所具备的CPU等进行处理的 一部分或全部，并通过该处理而实现的功能。
其中，上述程序的形态可以是目标代码、由编译器执行的程序代 码、向OS提供的脚本数据等中的任何一个。
接口装置605用作与网络170连接的接口，例如，相当于NIC (Network Interface Card:互联网卡)等。显示装置606显示程序的 GUI等。输入装置607由键盘和鼠标等构成，用于接收各种操作指示。
由许可密钥服务器60的许可密钥的提供功能和基板处理装置2的 EC89的许可管理功能，构成基板处理装置2的许可管理系统。
图4是表示用于实现第一实施方式中的许可管理系统的许可密钥
服务器和基板处理装置的功能构成例的图。
在图4中，许可密钥服务器60由初始设定部61、密钥传送部62、 许可管理部63、更新请求接收部64、更新判定部65、网络连接判定部 66和更新密钥生成部67等构成。这些各部通过由CPU604处理安装在 许可密钥服务器60中的程序而发挥作用。
初始设定部61根据初始密钥621的输入，进行用于解除基板处理 装置2的软件功能限制的初始设定。这里，所谓初始密钥621指用于 开始使用基板处理装置2的软件而在最初输入的许可密钥，优选由基
板处理装置2的制造商设定。
在本实施方式中，初始密钥621根据许可密钥服务器60与网络170 连接而分配的IP地址(密钥服务器地址)、基板处理装置2与网络170 连接而分配的IP地址(装置地址)、基板处理装置2的串行号(装置 串行号)、生成许可密钥(初始密钥)的日期(许可日期)，按照规定 的算法(例如加密等，下面称为"密钥生成算法")生成。而且，需要 密钥生成算法能够双向可逆，即能够由初始密钥621复原其构成信息 (密钥服务器地址、装置地址、装置串行号、许可日期)。并且，密钥 生成算法必须对用户保密。
在初始密钥621由制造商设定的情况下，基板处理装置2的用户 在决定了密钥服务器地址和装置地址之后，将这些数值和装置串行号 通过电子邮件或邮寄等通知制造商。制造商根据收到的信息，使用密 钥生成算法生成初始密钥621，利用CD-ROM或Floppy (注册商标) 盘等记录介质或通过网络，向用户配发所生成的初始密钥621。而且， 向许可密钥服务器60输入初始密钥621，不限于制造商的操作员，也 可以由用户进行。
作为基于初始密钥621的输入的初始设定处理，初始设定部61解 读(解析)初始密钥621，将初始密钥621所包含的装置地址和装置串 行号保存在许可管理部63中。初始设定部61还向密钥传送部62指示 对基板处理装置2发送初始密钥。
许可管理部63管理装置固有信息，该装置固有信息用于专门识别 作为软件的使用许可对象的基板处理装置2。在本实施方式中，装置地 址和装置串行号或其中的任何一个相当于装置固有信息。而且，优选 许可管理部63对装置固有信息进行加密等进行管理。这是为了防止怀 有恶意的用户通过改写装置固有信息，不正当地解除对于没有得到使 用许可的基板处理装置2的功能限制。
更新请求接收部64在初始密钥等的许可密钥的有效期限结束时， 通过基板处理装置2接收许可密钥的更新请求。许可密钥的更新请求 中包括装置固有信息。即，在本实施方式中，初始密钥等的许可密钥 确定了有效期限，通过定期更新许可密钥，能够维持基板处理装置2 中的软件的使用许可。
更新判定部65调查请求更新许可密钥的是否为得到使用许可的基 板处理装置2，并由网络连接判定部66检查该许可密钥服务器60是否 与网络170正常连接，由此判定是否允许更新许可密钥。
更新密钥生成部67在允许更新许可密钥时，生成用于更新许可期 限的许可密钥(下面称为"更新密钥")。更新密钥与初始密钥一样， 根据密钥服务器地址、装置地址、装置串行号、许可日期，由密钥生 成算法生成。但是，密钥服务器地址使用在生成更新密钥时设定于许 可密钥服务器60中的现在值(密钥服务器地址622)。并且，装置地 址和装置串行号使用在许可管理部63中进行管理的值。而且，许可日 期使用在生成更新密钥时许可密钥服务器60的计时器所显示的日期 (现在日期623)。如果更新密钥生成部67生成更新密钥，就会将向 该密钥传送部62指示对基板处理装置2传送该更新密钥。
密钥传送部62向基板处理装置2传送初始密钥和更新密钥。
另一方面，在图4中，基板处理装置2由密钥接收部81、密钥解 析部82、许可判定部83、期限管理部84和密钥更新部85等构成。这 些各部通过由CPU891处理存储于EC89的HDD893或未图示的ROM 等中的程序而发挥作用。程序可以通过例如CD-ROM894 (图2)等记 录介质或网络进行安装，也可以在出厂时预先装入。
密钥接收部81接收许可密钥服务器60传送的许可密钥(初始密 钥621或更新密钥)。
密钥解析部82解读收到的许可密钥，取出该许可密钥所包含的密 钥服务器地址、装置地址、装置串行号、许可日期。密钥解析部82在 收到初始密钥621时，将密钥服务器地址的初始值作为密钥服务器地 址802保存在指定的存储区域中。密钥解析部82每次收到许可密钥时， 根据取出的许可日期对许可日期801进行更新。
许可判定部83根据从收到的许可密钥取出的信息，作为初始值保 存的密钥服务器地址802、现在值的装置地址803和基板处理装置2 出厂时等预先保存在未图示的ROM等中的装置串行号804等，判定许 可密钥的正当性。当判定许可密钥为不正当时，许可判定部83将功能 限制标志806设为ON。所谓功能限制标志806是用于对基板处理装置 2的软件的一部或全部功能的利用进行限制的标志信息。S卩，为控制基
板处理装置2的各功能的软件，根据许可合约需要使用许可的软件在
执行该功能时，参照功能限制标志806。该软件在功能限制标志806 为OFF时执行该功能，在ON时拒绝执行。
期限管理部84通过管理从收到许可密钥时经过的相对时间，检测 许可密钥的有效期限的到期。期限管理部84例如利用许可计数器805， 检测许可密钥的有效期限的到期。许可计数器805在收到许可密钥时 被初始化，此后每单位时间(例如每天)对计数进行累计。期限管理 部84在计数的数值达到表示许可密钥的有效期限的数值时，或达到许 可密钥的有效期限的指定期间内的数值时，向密钥更新部85指示更新 许可密钥。而且，由许可计数器805管理有效期限，该许可计数器所 计算不是绝对日期而是相对值，所以能够防止因基板处理装置2的计 时器的日期变更而导致许可密钥的有效期限的不正当延长。
密钥更新部85根据来自期限管理部84的请求，向基板处理装置2 发送许可密钥的更新请求。
而且，在图4中，许可密钥服务器60与基板处理装置2是一一对 应的关系，但是一台许可密钥服务器60也可以对多台基板处理装置2 提供许可密钥。
下面，对图4的许可密钥服务器60和基板处理装置2的处理顺序 进行说明。下面的处理，通过许可密钥服务器60的CPU604或EC89 的CPU891处理安装在许可密钥服务器60或基板处理装置2的EC89 中的程序而实现。
图5是用于说明输入初始密钥时许可密钥服务器的初始设定处理 的处理顺序的流程图。
在步骤SIOI中，基板处理装置2的用户或制造商派遣的操作员， 向许可密钥服务器60输入制造商所配发的初始密钥621。对应于初始 密钥621的输入，初始设定部61例如根据密钥生成算法的逆运算等的 规定的算法(下面，称为"密钥解读算法")，从初始密钥621解读 密钥服务器地址、装置地址、装置串行号和许可日期等(S102)。如 上所述，这里所解读出的密钥服务器地址、装置地址和装置串行号预 先由用户向制造商提供。
接着，初始设定部61将从初始密钥621解读出的信息中的至少作
为装置固有信息的装置地址和装置串行号保存在许可管理部63中
(5103) 。接着，当初始设定部61向密钥传送部62输出初始密钥621 时，密钥传送部62通过网络170向基板处理装置2传送初始密钥621
(5104) 。
下面，对接收初始密钥621传送的基板处理装置2中的处理顺序 进行说明。图6是用于说明接收初始密钥时基板处理装置的处理顺序 的流程图。
密钥接收部81请求密钥解析部82解析从许可密钥服务器60接收 的初始密钥621 (S201)。密钥解析部82根据密钥解读算法从初始密 钥621解读密钥服务器地址、装置地址、装置串行号和许可日期等 (S202)。
接着，许可判定部83根据所解读出的装置固有信息等，判定初始 密钥621的正当性。即，读解出的装置地址与现在的(设定于现在基 板处理装置2中的)装置地址803 —致(S203的Yes)，且解读出的 装置串行号与预先保存在基板处理装置2内的装置串行号804 —致 (S204的Yes)时，判定该初始密钥621为对于该基板处理装置2而 发行的，为正当的密钥。
在确认了初始密钥621的正当性的情况下，许可判定部83对许可 计数器805迸行初始化(例如，将许可计数器的值设为"O"。 ) (S205)， 并将功能限定标志806设为OFF (S206)。所以，在这种情况下，在 初始密钥621的有效期限内，基板处理装置2的软件的功能不会受到 限制，能够利用。
接着，密钥解析部82接收初始密钥621的正当性的确认，将从初 始密钥621解读出的密钥服务器地址作为初始值的密钥服务器地址 802，并且，将解读出的许可日期作为许可日期801保存(S207)。
另一方面，在装置地址和装置串行号中的至少一个不同的情况下 (S203或S204的No)，许可判定部83认为该初始密钥621不具有正 当性，将功能限制标志806设为ON (S208)。所以，在这种情况下， 基板处理装置2的软件的一部分或全部功能的利用受到限制。
下面，说明在初始密钥621或更新密钥的许可密钥的有效期限到 期时，在基板处理装置2中执行的许可的更新处理的处理顺序。图7
是用于说明基板处理装置的许可的更新处理的处理顺序的流程图。
期限管理部84在许可密钥的有效期限内，在每规定的单位时间(例 如每天)对许可计数器805进行累积(S301)，将许可计数器805的 值与表示有效期限的值迸行比较(S302)。许可密钥的有效期限可以 根据使用适当设定。例如，在每天对许可计数器805进行累积的情况 下，许可密钥的有效期限为1年时，表示有效期限的数值为"365"。
如果许可计数器805的值达到表示有效期限的值或表示距有效期 限达到规定期间内的值(S302的No)，期限管理部84就会将该消息 通知密钥更新部85。基于该通知，密钥更新部85向许可密钥服务器 60发送更新许可密钥的请求(S303)。而且，可以在更新许可密钥的 请求中添加现在的装置地址803和装置串行号804。发送更新许可密钥 的请求之后，密钥更新部85在由密钥接收部81接收到更新密钥之前， 在规定时期内待机。
如果密钥接收部81从许可密钥服务器接收更新密钥(S304的 Yes),就会将该消息通知密钥更新部85，同时向密钥解析部82输出 接收到的更新密钥。根据来自密钥接收部81的通知，解除密钥更新部 85的待机状态。
密钥解析部82根据密钥解读算法从更新密钥解读密钥服务器地 址、装置地址、装置串行号和许可日期等(S305)。
接着，许可判定部83对更新密钥的正当性进行判定。即，许可判 定部83将解读出的密钥服务器地址(现在的许可密钥服务器60的IP 地址)与初始值的密钥服务器地址802 (即初始密钥621所包含的密钥 服务器地址)进行比较，由此判定该许可密钥服务器60是否在网络上 被移动(S306)。如果两者一致，判定许可密钥服务器60在许可期间 内未被移动。如果两者不同，则判定许可密钥服务器60已被移动。
在两者一致(S306的Yes)的情况下，许可判定部83对解读出的 装置地址(即初始密钥621所包含的装置地址)与现在的装置地址803 进行比较，由此判定该更新密钥是否针对该基板处理装置2，以及该基 板处理装置2是否在网络上被移动(S307)。如果两者一致，判定该 更新密钥针对该基板处理装置2，并且基板处理装置2未被移动。如果 两者不同，则判定该更新密钥不针对该基板处理装置2，或者基板处理
装置2已被移动。
在两者一致(S307的Yes)的情况下，许可判定部83将解读出的 装置串行号(即初始密钥621所包含的装置地址)与预先保存在基板 处理装置2中的装置串行号804进行比较，由此判定该更新密钥是否 确实针对该基板处理装置2。如果两者一致，判定该更新密钥针对该基 板处理装置2。如果两者不同，判定该更新密钥并不针对该基板处理装 置2。
在从步骤S306到S308的判定中，当各比较值一致时，判定该更 新密钥为正当的密钥。所以，在这种情况下，由许可判定部83对许可 计数器805进行初始化(S309)，由密钥解析部82将许可日期801更 新为所解读的值(S310)。通过对许可计数器进行初始化，从而延长 许可期限，能够继续执行步骤S301之后的处理。
另一方面，请求许可密钥的更新后，在规定时间内待机依然没有 收到更新密钥的情况下(超时的情况)(S304的No)，密钥更新部 85将功能限制标志806设为ON (S308)。此外，在许可判定部83判 定许可密钥具有不正当性的情况下(S306 S308中的任何一步的No 的情况)，许可判定部83将功能限制标志806设为ON。所以，在这 种情况下，基板处理装置2的软件的一部分或全部功能的利用受到限 制。
下面，对从基板处理装置2收到许可密钥的更新请求时的许可密 钥服务器60中的处理顺序进行说明。图8是用于说明许可密钥服务器 中的许可密钥的更新处理的流程图。
如果更新请求接收部64从基板处理装置2的密钥更新部85接收 许可密钥的更新请求，就会向更新判定部65输出该更新请求所包含的 装置串行号804和现在的装置地址803 (S401)。
更新判定部65将接收到的装置串行号804和装置地址803的组合 与保存在许可管理部63中的装置串行号和装置地址的组合进行比较， 判定请求许可密钥更新方是否为发行许可密钥的基板处理装置2 (S402)。在装置串行号804和装置地址803的组合没有被包含在许 可管理部63所管理的一览表中的情况下(S402)，更新判定部65判 定更新请求方不是许可对象，中止其后的处理。所以，在这种情况下，
不发行更新密钥。而且，其中，在装置串行号804与保存在许可管理 部63中的值一致的情况下，只有装置地址803不同时，能够确认基板 处理装置2已在网络上被移动的可能性。所以，在步骤S402中，能够 检测出基板处理装置2的移动。
在装置串行号804和装置地址803的组合被包含在保存于许可管 理部63的一览表中的情况下，更新判定部65向网络连接判定部66确 认许可密钥服务器60是否与网络170连接(S403)。例如可以通过发 出ping命令，向与网络170连接的特定的主计算机发行IP地址包，确 认该IP地址包是否正确到达并进行回答等，进行与网络170的连接确 认。这时，作为连接的特定的主计算机，优选为基板处理装置2的制 造商指定的主计算机。其中，确认与网络170连接的意义在后面阐述。
在判定许可密钥服务器60未与网络170连接的情况下(S403的 No)，更新判定部65中止其后的处理。所以，在这种情况下，无法进 行更新密钥的发行。另一方面，在判定许可密钥服务器60与网络170 连接的情况下(S403的Yes)，更新判定部65向更新密钥生成部67 请求生成更新密钥。
更新密钥生成部67根据现在的密钥服务器地址622、现在曰期 623、以及保存于许可管理部63中的作为更新请求对象的基板处理装 置2的装置串行号和装置地址，使用密钥生成算法，生成更新密钥
(5404) 。生成的更新密钥由密钥传送部62传送到基板处理装置2
(5405) 。与更新密钥的发送相对应，在基板处理装置2中执行图7 的步骤S305以后的处理。
如上所述，根据第一实施方式中的许可管理系统，即使在基板处 理装置2因转卖等而被移设的情况下，也能够有效地限制在该基板处 理装置2中工作的软件的不正当使用。
艮P，在用户想继续使用基板处理装置2的软件时，必须通过网络 连接许可密钥服务器60。这是因为如果不连接许可密钥服务器60，就 不能提供更新密钥。因此，用户必须将基板处理装置2与许可密钥服 务器60—同转卖、移设。但是，在这种情况下，密钥服务器地址622 的IP地址必须变更为与移设对方的网络相对应的地址。结果，更新密 钥所包含的密钥服务器地址622与保存在基板处理装置2中的初始值的密钥服务器地址802不一致(图7的S306中的No)，功能限制标 志变为ON。而且，为了避免移设后的密钥服务器地址622与初始值的 密钥服务器地址802不一致而不变更密钥服务器地址622的值是很难 的。这是因为生成更新密钥时，在确认了许可密钥服务器60通过网络 连接部66与网络连接之后(图8的S403)，如果不变更密钥服务器地 址，则无法与移设对方的网络正常连接。
并且，在只转卖、移设基板处理装置2的情况下，即使通过因特 网等维持许可密钥服务器60与基板处理装置2的连接，也能够对基板 处理装置2的软件的使用进行限制。即，由于移设，装置地址也必须 变更为与移设对方的网络相对应的地址。结果，来自基板处理装置2 的许可密钥的更新请求所包含的装置地址803的值与许可管现部63所 管理的装置地址的值不一致。所以，更新判定部65中止更新密钥的生 成(图8的S403)。而且，即使更新判定部65不进行检查，也能够检 查出基板处理装置2被移设。即，在基板处理装置2请求更新许可密 钥时，即使更新判定部65不进行检查，按照请求生成更新密钥，传送 到基板处理装置2，利用基板处理装置2的许可判定部83也能够检査 出更新密钥所包含的装置地址与现在的装置地址803不一致(图7的 S307)。
而且，在确认基板处理装置2的许可密钥的正当性时，也对装置 固有信息进行确认(S307、 S308)，所以能够对每个基板处理装置2 进行如上所述的许可管理。其中，在第一实施方式中，使用装置地址 和装置串行号作为用于确定各基板处理装置2的信息，但是也可以使 用其中的任何一个。然而，使用两者能够提高可靠性。
下面，对第二实施方式进行说明。图9是表示第二实施方式中的 网络构成例和系统控制器构成例的图。图9中与图2相同的部分用同 一符号表示，并省略其说明。
在图9中，许可密钥服务器60至少具有两个与网络的连接口 (接 口装置605)(例如，至少安装有两枚NIC)。 一个直接与网络170连 接，另一个与基板处理装置2的EC89连接。即，第二实施方式中，基 板处理装置2为不与网络170直接连接的示例。从安全上的观点出发， 不愿意将基板处理装置2直接与网络170连接的用户可以考虑这种构
成例。而且，在一台许可密钥服务器60上连接有多个基板处理装置2
的情况下，两者之间可以具有切换中心80。此外，由于许可密钥服务 器60与基板处理装置2位于同一工场内，所以基板处理装置2的大致 构成例(图1)、许可密钥服务器60的硬件构成例(图3)、和用于 实现许可管理系统的许可密钥服务器60与基板处理装置2的功能构成 例(图4)，可以与第一实施方式相同。
并且，在第二实施方式中，分别在许可密钥服务器60和基板处理 装置2中进行的处理与在第一实施方式中说明的(图5、图6、图7和 图8)相同。
由于基板处理装置2没有直接与网络170连接，所以其IP地址(装 置地址)没有必要与网络170相对应。因此，对该装置地址进行限制， 设定为由基板处理装置2的制造商所指定的固定地址，制造商可以根 据该固定地址生成初始密钥621。另外，也可以在请求发行初始密钥时 申请用户任意设定的IP地址，然后根据该IP地址生成初始密钥621 。 无论在那种情况下，仅基板处理装置2因转卖而被移设时，为了维持 该基板处理装置2与许可密钥服务器60的连接，必须使基板处理装置 2与移设对方的网络连接，在这种情况下，不得不变更装置地址803。 因此，在这种情况下，功能限定标志806为ON，能够有效地限制软件 的不正当使用。
此外，在因转卖而同时移设许可密钥服务器60的情况下，必须变 更密钥服务器地址622。因此，在这种情况下，功能限定标志806也为 ON，能够有效地限制软件的不正当使用。
下面对第三实施方式进行说明。图IO是表示第三实施方式中的网 络构成例和系统控制器构成例的图。图10中与图2相同的部分用同一 符号表示，并省略其说明。
在图10中，许可密钥服务器60通过因特网等的广域网180与基 板处理装置2连接。基板处理装置2通过网络170与广域网180连接。 第三实施方式是将许可密钥服务器60设置于基板处理装置2的制造商 这一方时的构成例。基板处理装置2的大致构成例(图1)、许可密钥 服务器60的硬件构成例(图3)、和用于实现许可管理系统的许可密 钥服务器60与基板处理装置2的功能构成例(图4)，可与第一实施 方式相同。
并且，在第三实施方式中，分别在许可密钥服务器60和基板处理 装置2进行的处理，与在第一实施方式中所说明的(图5、图6、图7 和图8)相同。
但是，在许可密钥服务器60设置于制造商这一方时，能够保证由 制造商这一方的操作员进行初始设定的情况下，可以在初始设定时不 输入初始密钥621，而是输入密钥服务器地址、装置地址、装置串行号 和许可日期，根据这些输入，许可密钥服务器60生成初始密钥。
另外，在第三实施方式中，虽然并不担心许可密钥服务器60与基 板处理装置2 —同被转卖，但是有可能仅基板处理装置2被转卖。在 这种情况下，随着移设，基板处理装置2的装置地址不得不变更为与 生成初始密钥时的装置地址不同的地址，所以功能限制标志为ON，软 件的不正当使用受到限制。
并且，上述第一至第三实施方式中的基板处理装置2，例如可以如 图11或图12所示构成。图11是表示本发明实施方式中的第二基板处 理装置构成例的示意图。图11中与图1相同的部分用同一符号表示， 并省略其说明。
图1中的基板处理装置2与图11中的基板处理装置3的较大不同 点在于，基板处理装置2有4个处理腔室(12A 12D),而基板处理 装置3有6个处理腔室(12A 12F)。另夕卜，移载室8的构成也不同， 基板处理装置3的移动臂部16，通过沿着轨道17A和17B的直线运动 和以臂的起点为中心的旋转运动搬运晶片W。
其中，基板处理装置3的EC89的处理与基板处理装置2的情况相同。
此外，图12是表示本发明实施方式的第三基板处理装置构成例的 示意图。
图12中的基板处理装置4包括第一处理舟211，对晶片W实施 反应性离子刻蚀(下面，称为"RIE")处理；第二处理舟212，与第 一处理舟211平行配置，对已经在第一处理舟211实施了 RIE处理的 晶片W实施COR (Chemical Oxide Removal:化学氧化物去除)处理 和PHT (Post Heat Treatment:后热处理)处理；和负载单元213，其
作为分别连接第一处理舟211和第二处理舟212的矩形状的共用搬送 室。
负载单元213除了与第一处理舟211和第二处理舟212连接以外， 还连接有3个FOUP (Front opening Unified Pod:前开式晶片盒)载置 台215、定位器216和第一、第二IMS (Integrated Metrology System, Therma-Wave，Inc) 217、 218。该FOUP载置台215分别载置有作为收 容25片晶片W的容器的FOUP214，定位器216对从FOUP214搬出的 晶片W进行对位，第一、第二IMS217、 218测定晶片W的表面状态。
第一处理舟211和第二处理舟212与负载单元213的长度方向的 侧壁连接，并以夹着负载单元213与三个FOUP载置台215相对的方 式配置，定位器216配置在负载单元213的长度方向的一端，第一 IMS217配置在负载单元213的长度方向的另一端，第二IMS218与三 个FOUP载置台215并列配置。
负载单元213包括搬送臂机构219，配置在内部，搬送晶片W, 为关节式双臂型；和三个装载口 220，对应于各FOUP载置台215配置 在侧壁上，作为晶片W的投入口。搬送臂机构219从载置在FOUP载 置台215上的FOUP214中经过装载口 220取出晶片W，将取出的晶 片W向第一处理舟211、第二处理舟212、定位器216、第一IMS217 和第二IMS218搬入搬出。
第一 IMS217为光学系的监控器，包括载置搬入的晶片W的载置 台221、和对载置在载置台221上的晶片W进行定向的光学传感器222， 测定晶片W的表面形状，例如，表面层的膜厚以及配线槽和栅极电极 等的CD (Critical Dimension:临界尺寸)值。第二 IMS218也为光学 系的监控器，和第一 IMS217相同，包括载置台223和光学传感器224， 测定晶片W的表面的颗粒数。
第一处理舟211包括第一处理单元225，作为对晶片W实施RIE 处理的第一真空处理室；第一负载锁定单元227，内置有向该第一处理 单元225交接晶片W的链节式单拾取型的第一搬送臂226。
第一处理单元225具有圆筒状的处理腔室(处理室)和配置于处 理腔室内的上部电极和下部电极。上部电极和下部电极之间的距离设 定为用于对晶片W实施RIE处理的适当的间隔。此外，下部电极在其
顶部具有通过库仑力等卡住晶片W的ESC228。
在第一处理单元225中，向腔室内部导入处理气体，通过在上部 电极和下部电极之间产生电场，使导入的处理气体等离子体化，产生 离子和自由基，利用该离子和自由基对晶片W实施RIE处理。
在第一处理舟211中，负载单元213的内部压力维持在大气压， 而另一方面，第一处理单元225的内部压力维持在真空。因此，第一 负载锁定单元227在与第一处理单元225的连接部具有真空闸阀229， 并且在与负载单元213的连接部具有大气闸阀230，从而构成能够调整 其内部压力的真空预备搬送室。
在第一负载锁定单元227的内部，大致在中央部设置有第一搬送 臂226，在比该第一搬送臂226靠近第一处理单元225的一侧设置有第 一缓冲器231 ，在比第一搬送臂226靠近负载单元213的一侧设置有第 二缓冲器232。第一缓冲器231和第二缓冲器232在配置于第一搬送臂 226先端部的支承晶片W的支承部(拾取器)233进行移动的轨道上 配置，通过使实施RIE处理后的晶片W暂时避让在支承部233的轨道 上方，能够在第一处理单元225中顺利地更换未经RIE处理的晶片W 和RIE处理完毕的晶片W。
第二处理舟212包括第二处理单元234，其作为对晶片W实施 COR处理的第二真空处理室；第三处理单元236，其通过真空闸阀35 与该第;二处理单元234连接，作为对晶片W实施PHT处理的第三真空 处理室；和第二负载锁定单元249，内置有向第二处理单元234和第三 处理单元236交接晶片W的链节式单拾取型的第二搬送臂237。
图13是第二处理单元的截面图。图13 (A)是沿图12中的II-II 线的截面图，图13 (B)是图13 (A)中的A部的放大图。
在图13 (A)中，第二处理单元234包括圆筒状的处理腔室238、 作为配置在处理腔室238内的晶片W的载置台的ESC239、配置在处 理腔室238上方的喷头240、对处理腔室238内的气体等进行排气的 TMP (Turbo Molecular Pump:涡轮分子泵)241、和配置在处理腔室 238和TMP241之间作为控制处理腔室238内压力的可变式蝶阀的APC (Adaptive Pressure Control:适应性压力控制)阀242。
ESC239具有向内部施加直流电压的电极板(未图示)，利用直流
电压产生的库仑力或约翰逊-拉别克(Johnsen-Rahbeck)力吸附并保持 晶片W。并且，ESC239具有作为从其上表面自由突出的提升销的多个 推进销256，这些推进销256在晶片W被ESC239吸附保持时收容在 ESC239中，在将已实施COR处理的晶片W从处理腔室238搬出时， 从ESC239的上表面突出，将晶片W向上方抬起。
喷头240具有双层构造，在下层部243和上层部244分别具有第 一缓冲室245和第二缓冲室246。第一缓冲室245和第二缓冲室246 分别通过气体通气孔247、 248与处理腔室238内连通。对晶片W实 施COR处理时，从后述的氨气供给管257向第一缓冲室245供给NH3 气(氨气)，通过气体通气孔247向处理腔室238内供给该被供给的 氨气，同时从后述的氟化氢气体供给管258向第二缓冲室246供给HF (氟化氢)气体，通过气体通气孔248向处理腔室238内供给该被供 给的氟化氢气体。
另夕卜，如图13 (B)所示，气体通气孔247、 248的向处理腔室238 内的开口部形成为末端扩大状。由此，能够有效地使氨气和氟化氢气 体向处理腔室238内扩散。而且，气体通气孔247、 248的截面呈中间 变细的形状，所以能够防止在处理腔室238中产生的堆积物向气体通 气孔247、 248进而向第一缓冲室245和第二缓冲室246逆流。而且， 气体通气孔247、 248也可以是螺旋状的通气孔。
该第二处理单元234通过调整处理腔室238内的压力以及氨气与 氟化氢气体的体积流量比，对晶片W实施COR处理。
回到图12，第三处理单元236包括框体状的处理腔室250;平 台加热器251，作为配置于处理腔室250内的晶片W的载置台；和缓 冲壁252，配置在平台加热器251的上部，用于调整搬送顺序暂时载置 晶片W。
平台加热器251由在表面形成有氧化覆膜的铝构成，通过内置的 电热线等将载置的晶片W加热到规定的温度。缓冲臂252通过使已实 施COR处理的晶片W暂时避让在第二搬送臂237的支承部253的轨 道上方，能够顺利地在第二处理单元234和第三处理单元236中进行 晶片W的交换。
该第三处理单元236通过调整晶片W的温度对晶片W实施PHT
处理。
第二负载锁定单元249具有内置有第二搬送臂237的框体状的搬 送室270。并且，负载单元213的内部压力维持在大气压，而另一方面 第二处理单元234和第三处理单元236的内部压力维持在真空。因此， 第二负载锁定单元249在与第三处理单元236的连接部具有真空闸阀 254，并且在与负载单元213的连接部具有大气门式阀255，从而构成 能够调节其内部压力的真空预备搬送室。
图14是表示第二处理舟构成的立体示意图。
在图14中，第二处理单元234包括向第一缓冲室245供给氨气 的氨气供给管257、向第二缓冲室246供给氟化氢气体的氟化氢气体供 给管258、测定处理腔室238内压力的压力计259、和向设置于ESC239 内的冷却系统供给致冷剂的冷却单元260。
在氨气供给管257上设置有MFC (Mass Flow Controller:质量流 量控制器)(未图示)，该MFC调整向第一缓冲室245供给的氨气的 流量，同时，在氟化氢气体供给管258上也设置有MFC (未图示)， 该MFC调整向第二缓冲室246供给的氟化氢气体的流量。氨气供给管 257的MFC和氟化氢气体供给管258的MFC协同工作，调整向处理 腔室238供给的氨气和氟化氢气体的体积流量比。
并且，在第二处理单元的234的下方，配置有与DP (Dry Pump: 干式泵)(未图示)连接的第二处理单元排气系统261。第二处理单元 排气系统261具有与设置于处理腔室238和APC阀242之间的排气管 262连通的排气管263、和连接于TMP241下方(排气侧)的排气管264， 对处理腔室238内的气体等进行排气。而且，排气管264在DP之前与 排气管263连接。
第三处理单元236包括向处理腔室250供给氮气(N2)的氮气 供给管265、测定处理腔室250内压力的压力计266、和对处理腔室250 内的氮气等进行排气的第三处理单元排气系统267。
氮气供给管265上设有MFC (未图示)，该MFC调整向处理腔 室250供给的氮气流量。第三处理单元排气系统267包括主排气管 268，与处理腔室250连通并与DP连接；APC阀269，设置于主排气 管268的途中；和副排气管268a，从主排气管268分出以避开APC阀
269，且在DP之前与主排气管268连接。APC阔269控制处理腔室250 内的压力。
第二负载锁定单元249包括向搬送室270供给氮气的氮气供给 管271、测定搬送室270内压力的压力计272、对搬送室270内的氮气 等进行排气的第二负载锁定单元排气系统273、和将搬送室270内向大 气开放的大气连通管274。
氮气供给管271上设有MFC (未图示)，该MFC调整向搬送室 270供给的氮气的流量。第二负载锁定单元排气系统273由一根排气管 构成，该排气管与搬送室270连通，并在DP之前与第三处理单元排气 系统267的主排气管268连接。而且，第二负载锁定单元排气系统273 和大气连通管274分别具有能够自由开关的排气阀275和安全阀276， 该排气阀275和安全阀276协同工作，将搬送室270内的压力调整为 从大气压到所期望的真空度的任一个真空度。
图15是表示第二负载锁定单元的单元驱动用干燥空气供给系统构 成的示意图。
在图15中，第二负载锁定单元249的单元驱动用干燥空气供给系 统277的干燥空气供给目的地相当于，大气门式阀255所具有的滑动 门驱动用的门式阀汽缸、作为N2吹扫单元的氮气供给管271所具有的 MFC、作为大气开放用安全单元的大气连通管274所具有的安全阀 276、作为抽真空单元的第二负载锁定单元排气系统273所具有的排气 阀275、和真空闸阀254所具有的滑动门驱动用的闸阀气缸。
单元驱动用干燥空气供给系统277包括从第二处理舟212所具 有的主干燥空气供给管278分支出的副干燥空气供给管279、和与该副 干燥空气供给管279连接的第一电磁阀280以及第二电磁阀281 。
第一电磁阀280分别通过干燥空气供给管282、 283、 284、 285与 门式阀气缸、MFC、安全阀276和闸阀气缸连接，通过控制向这些部 件供给的干燥空气的量，控制各部的动作。并且，第二电磁阀281通 过干燥空气供给管286与排气阀275连接，通过控制向排气阀275供 给的千燥空气的量，控制排气阀275的动作。
而且，氮气供给管271的MFC也与氮气(N2)供给系统287连接。
而且，第二处理单元234和第三处理单元236也包括与上述第二
负载锁定单元249的单元驱动用干燥空气供给系统277具有相同构成 的单元驱动用干燥空气供给系统。
回到图12，基板处理装置4包括控制第一处理舟211、第二处 理舟212和负载单元213动作的系统控制器，和配置在负载单元213 长度方向的一端的操作控制器288。
操作控制器288与图1的操作控制器88相同，具有例如由LCD (Liquid Crystal Display:液晶显示器)构成的显示部，该显示部显示 基板处理装置4的各构成要素的工作状况和记录信息。
图16是表示第三基板处理装置中的系统控制器构成例的图。图16 中与图2相同的部分用同一符号表示，并省略其说明。
在图16中，MC290、 291、 292是分别控制第一处理舟211 、第二 处理舟212和负载单元213动作的副控制部(slave控制部)。各MC 利用DIST (Distribution:分配)板96通过GHOST网络95分别与各 I/O (输入输出)模块297、 298、 299连接，这一点与图2相同。
并且，对于I/0模块297、 298、 299，除了分别与第-一处理舟211 、 第二处理舟212或负载单元213相对应之外，与图2中的I/O模块97 或98的构成相同。
而且，在图16中，例示了许可密钥服务器60与EC98通过网络 170连接的示例，但是两者的网络构成也可以变更为第二实施方式或第 三实施方式。
以上，对本发明的实施例进行了详细描述，但本发明不限于这些 特定的实施方式，可以在权利要求所记载的本发明的要点的范围内进 行各种变形或变更。
本国际申请要求2006年1月19日申请的日本特许申请 2006-0U219号的优选权，并在本国际申请中引用2006-011219号的全 部内容。
权利要求
1.一种基板处理装置，根据基于软件的控制对基板进行处理，其特征在于包括许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；许可信息解析单元，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行比较，在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。
2. 如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于 所述许可信息解析单元从所述许可信息取出装置固有信息，所述装置固有信息为每个所述基板处理装置所具有的固有值，所述许可判定单元将从所述许可信息取出的所述装置固有信息与该基板处理装置的所述装置固有信息进行比较，在两个所述装置固有信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。
3. 如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于 所述许可信息解析单元从所述许可信息取出允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述地址信息，所述许可判定单元将从所述许可信息取出的所述基板处理装置的 所述地址信息与设定在该基板处理装置中的所述地址信息进行比较，在两个所述地址信息不一致的情况下，限制所述软件的至少一部 分功能的执行。
4. 如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于预先保存在所述基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述 地址信息，包含在最初从所述许可信息提供装置接收的所述许可信息 之中。
5. 如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，包括 期限管理单元，管理从接收到所述许可信息时开始经过的相对时间；禾口许可信息请求单元，在所述经过的相对时间达到所述许可信息的 有效期限的规定期间内时，向所述许可信息提供装置发送所述许可信 息的更新请求。
6. 如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于-在发送所述许可信息的更新请求后，在规定期间内没有收到所述许可信息时，限制所述软件的至少一部分功能的执行。
7. —种许可管理程序，其特征在于在根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置中，执行下述步骤许可信息接收步骤，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；许可信息解析步骤，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定步骤，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保 存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行 比较，在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少 一部分功能的执行。
8. 如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于 所述许可信息解析步骤从所述许可信息取出装置固有信息，该装置固有信息为每个所述基板处理装置所具有的固有值， 所述许可判定步骤将从所述许可信息取出的所述装置固有信息与 该基板处理装置的所述装置固有信息进行比较，在两个所述装置固有信息的值不一致的情况下，限制所述软件的 至少一部分功能的执行。
9. 如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于 所述许可信息解析步骤从所述许可信息取出允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述地址信息，所述许可判定步骤将从所述许可信息取出的所述基板处理装置的 所述地址信息与设定在该基板处理装置中的所述地址信息进行比较，在两个所述地址信息不一致的情况下，限制所述软件的至少一部 分功能的执行。
10. 如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于 预先保存在所述基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息，包含在最初从所述许可信息提供装置接收的所述许可信息 之中。
11. 如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于，包括 期限管理步骤，管理从接收到所述许可信息时幵始经过的相对时间；和许可信息请求步骤，在经过的所述相对时间达到所述许可信息的 有效期限的规定期间内时，向所述许可信息提供装置发送所述许可信 息的更新请求。
12. 如权利要求11所述的许可管理程序，其特征在于 在发送所述许可信息的更新请求后，在规定期间内没有收到所述许可信息时，限制所述软件的至少一部分功能的执行。
13. —种计算机可读取的记录介质，其特征在于 记录有权利要求7所述的许可管理程序。
14.一种许可信息提供装置，通过网络与权利要求1所述的基板处理装置连接，其特征在于，包括许可信息生成单元，根据该许可信息提供装置的所述地址信息， 生成所述许可信息；和许可信息发送单元，向所述基板处理装置发送所述许可信息。
15.如权利要求14所述的许可信息提供装置，其特征在于 具有许可管理单元，其管理允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述固有信息，所述许可信息生成单元，根据所述许可管理单元管理的所述固有信息生成所述许可信息。
16.如权利要求15所述的许可信息生成装置，其特征在于 所述许可管理单元管理允许使用所述软件的所述基板处理装置的 所述地址信息，所述许可信息生成单元根据允许使用所述软件的所述基板处理装 置的所述地址信息，生成所述许可信息。
17. 如权利要求15所述的许可信息提供装置，其特征在于-包括更新请求接收单元，从所述基板处理装置接收所述许可信息的更新请求；禾口更新判定单元，通过将所述更新请求包含的所述更新请求的发送 方的所述基板处理装置的所述固有信息与所述许可管理单元管理的所 述装置固有信息进行比较，判定是否允许所述许可信息的更新，所述许可信息生成单元，在所述更新判定单元允许所述许可信息 的更新的情况下，生成所述许可信息。
18. 如权利要求14所述的许可信息提供装置，其特征在于具有判定该许可信息提供装置是否与网络连接的网络连接判定单元，所述许可信息生成单元，在判定该许可信息提供装置与网络连接 的情况下，生成所述许可信息。
19. 一种许可信息提供程序，其特征在于，用于在通过网络与权利要求1所述的基板处理装置连接的许可信息提供装置中执行下述步骤: 许可信息生成步骤，根据该许可信息提供装置的所述地址信息，生成所述许可信息；和许可信息发送步骤，向所述基板处理装置发送所述许可信息。
20. 如权利要求19所述的许可信息提供程序，其特征在于 具有许可管理步骤，管理允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述固有信息，所述许可信息生成步骤根据在所述许可管理步骤中管理的所述固 有信息生成所述许可信息。
21. 如权利要求20所述的许可信息提供程序，其特征在于 所述许可管理步骤管理允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述地址信息，所述许可信息生成步骤根据允许使用所述软件的所述基板处理装 置的所述地址信息，生成所述许可信息。
22. 如权利要求20所述的许可信息提供程序，其特征在于 包括更新请求接收步骤，从所述基板处理装置接收所述许可信息的更新请求；更新判定工序，通过将所述更新请求包含的所述更新请求的发送 方的所述基板处理装置的所述固有信息与在所述许可管理步骤中管理 的所述装置固有信息进行比较，判定是否允许所述许可信息的更新，所述许可信息生成步骤，在所述更新判定步骤中允许所述许可信 息更新的情况下，生成所述许可信息。
23. 如权利要求19所述的许可信息提供程序，其特征在于 具有判定该许可信息提供装置是否与网络连接的网络连接判定步骤，所述许可信息生成步骤，在判定该许可信息提供装置与网络连接 的情况下，生成所述许可信息。
24. —种计算机可读取的记录介质，其特征在于 记录有权利要求19所述的许可信息提供程序。
25. —种许可管理系统，其特征在于具有根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置，和对 所述基板处理装置提供与所述软件相关的许可信息的许可信息提供装 置，其中，所述基板处理装置包括许可信息接收单元，定期从所述许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；许可信息解析单元，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保 存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行 比较，在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少 一部分功能的执行。
全文摘要
本发明提供一种根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置，包括许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收上述软件的许可信息；许可信息解析单元，从上述许可信息取出上述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从上述许可信息取出的上述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的上述许可信息提供装置的上述地址信息进行比较。在两个上述地址信息值不一致的情况下，限制上述软件的至少一部分功能的执行。由此，能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用。
文档编号G06F21/24GK101107613SQ200680003010
公开日2008年1月16日 申请日期2006年12月26日 优先权日2006年1月19日
发明者志岐启一郎 申请人:东京毅力科创株式会社