专利名称：双态制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品的制作方法
技术领域：
本发明关于制造数据管理方法，且特别关于以计算机执行的双态(dual phased)制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品。
背景技术：
在集成电路(integrated circuit ，简称IC)相关的制造厂中，例如半导体产 品制造厂，客户与制造业者之间的通讯是相当重要的。通常会提供服务系统 给客户以支持两者间的通讯。所述服务系统可以提供在线功能，例如掩模文 件(mask file)检视、制造计划更新、或者订单变更，使得其中所整合的数据 在制造时可以被使用。支持工程师根据得自客户及检测系统的信息来维护服务系统。所述检测 系统可以通过软件或硬件以连接至所述服务系统及制造工具，例如在制造工 具中的检测程序、数据库中的数据过滤规则、或服务系统中的安全控制模块。制造数据可以由客户、服务系统、检测系统、以及工程师产生，并且通 常被分类为紧急、非紧急数据。紧急数据要求立即处理，而工程师/作业员对 其作出适当处理动作。非紧急数据传统上是被收集并储存，并且只有在当支 持工程师/作业员要维护服务系统或协助客户时，再加以被整合、分析以供参 考。图1是传统单态的制造数据处理系统。制造业者提供服务系统100给客 户102。客户102可以通过网络104，例如因特网，来存取服务系统100。检 测系统106连接至服务系统100、客户102以及制造工具108。在检测系统 106从各个来源收集并编译制造数据110之后，制造数据110被分为紧急数 据112或非紧急数据114。支持工程师/作业员116可以做出必要动作来处理 紧急数据。当客户102在服务系统100中遭遇问题，客户102可以与服务人员118 通讯。服务人员118回报问题给支持工程师/作业员116。在此，支持工程师 /作业员116整合并分析上述非紧急数据以解决服务系统100的问题。非紧急数据可能包含有用的制造信息，并且在经过系统化的整合及分析后，可以提升产品制造与客户服务的质量，包含安全控制等服务。举例来说，可以事先辨识出客户的异常的安全事件，加以改进服务的潜在问题，并进而提供最佳的操作。因此，需要一种双态制造数据处理方法。发明内容有鉴于此，本发明的目的在于提供一种以计算机执行的双态制造数据处 理方法、系统及所制造的集成电路产品。基于上述目的，本发明实施例提供一种以计算机执行的双态制造数据处 理方法。此方法包含数据收集与数据处理。从各个来源收集制造数据，例如 从客户、工程师、作业员、服务系统及检测系统，分类所述制造数据成紧急 与非紧急数据。紧急数据需要立即处理，因此对于紧急数据执行其必要的处 理动作。然而，针对非紧急数据作适当的分析，再根据分析结果执行对应的 处理动作。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，还包含执 行处理动作于其它数据型态的数据。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，被分析的 所述数据型态包含警示、状态及记录数据。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，从多个客 户系统、 一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统以及所述多个客户 系统的多个服务系统收集所述制造数据。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述处理 动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测 系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述制造 数据是通过网络收集的。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述分析 包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照以及数据转换。
本发明实施例还提供一种双态制造数据处理系统，包含 一收集模块， 其收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；一 分析模块，其耦接至所述收集模块，分析所述两种数据型态的其中一种的数 据；以及一执行模块，其耦接至所述分析模块，根据所述分析结果以对所述 被分析的数据执行处理动作
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述执行模块还执行处理 动作于其它数据型态的数据。
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，被分析的所述数据型态包 含警示、状态及记录数据。
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述收集模块从多个客户 系统、 一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统以及所述多个客户系 统的多个服务系统收集所述制造数据。
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述处理动作包含通知所 述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据 库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述收集模块通过网络来 收集所述制造数据。
上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述分析模块以数据整合、 数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照以及数据转换，来分析所述数据。本发明实施例还提供一种以计算机执行的双态制造数据处理方法所制 造的集成电路产品，所述双态制造数据处理方法包含收集制造数据，其中
所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及根据所述分析结果以在所述被分析的数据上执行处理动作。
上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 其中优选地，所述双态制造数据处理方法还包含执行处理动作于其它数据型 态的数据。
上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 其中优选地，被分析的所述数据型态包含警示、状态及记录数据。 上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，
其中优选地，从多个客户系统、 一支持操作系统、多个制造工具的多个检测 系统以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 其中优选地，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系 统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立 数据过滤规则。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 其中优选地，所述制造数据是通过网络收集的。上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 其中优选地，所述分析包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数 据参照以及数据转换。通过本发明，可以分析制造数据并产生对应处理动作，用来维护服务系 统或提供建议给客户，借以大幅提升服务质量；还可以事先辨识出客户的异 常的安全事件，加以改进服务的潜在问题，并进而提供最佳的操作。
图1是传统单态的制造数据处理系统的示意图；图2是以计算机执行的双态制造数据处理方法的一实施例的流程图；图3为双态制造数据处理系统实施例的示意图；图4为双态制造数据处理系统实际应用的实例的示意图。其中，附图标记说明如下30 收集模块；32 分析模块；34 执行模块；100 服务系统；102~客户； 104 网络；106 检测系统；108 制造工具；110 制造数据；112 紧急数据； U4 非紧急数据；116 支持作业员；118 服务人员；400 服务系统；402~ 客户；404 网络；406~检测系统；408 制造工具；410 制造数据；412~紧急数据；414 非紧急数据；416 支持操作系统；418 服务人员；420 分析模块具体实施方式
以下说明是本发明的较佳实施例。其目的是要举例说明本发明一般性的 原则，不应视为对本发明的限制，本发明的范围应当以权利要求所界定的范
围为准。图2是以计算机执行的双态制造数据处理方法的一实施例的流程图。制 造数据被收集并分类为紧急数据与非紧急数据(参见步骤S200)。所述制造数 据可以从各种来源被收集，例如从客户、工程师、制造工作的检测系统及客 户的服务系统。制造数据可以通过网络收集，例如从因特网。非紧急数据可 以包含警示(warning)、状态(status)、记录数据(log data)。警示数据指出异常 但非紧急的状况。状态(status)数据表示系统的目前状态，例如服务系统或检 测系统的目前状态。记录数据包含系统使用者的登入记录，例如客户、支持 作业员或其它系统。而各种来源的紧急数据指出对应的制造状况则需要立即处理。执行对应 紧急数据的合适处理动作，例如终止制造程序或为在线控制器做调试 (debugging)(参见步骤S202)。然后分析非紧急数据(参见步骤S204)。所述分 析包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照、以及数据转 换。根据上述分析结果执行处理动作以响应上述非紧急数据(参见步骤 S206)。上述处理动作包含通知客户和/或支持工程师/作业员，更新检测系统 的数据库，以及建立服务系统中的数据过滤规则。图3为双态制造数据处理系统实施例的示意图。上述双态制造数据处理 系统包含收集模块30、分析模块32、以及执行模块34。上述收集模块30从各种来源收集制造数据，例如多个客户系统、 一支 持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及上述多个客户的多个服务 系统。上述制造数据被分类为紧急与非紧急数据。上述收集模块30可以从 网络，例如因特网，收集上述制造数据。在此，上述非紧急数据可以包含警 示、状态、及记录数据。上述分析模块32通过数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数 据参照、以及数据转换以分析非紧急数据。上述执行模块34根据所述分析结果执行处理动作以响应上述非紧急数 据。上述执行模块34也对紧急数据执行处理动作。此处理动作包含通知客 户和/或作业员、更新检测系统的数据库、以及建立服务系统中的数据过滤规 则。
图4为双态制造数据处理系统实际应用的实例的示意图。制造业者提供服务系统400给客户系统402。客户系统402可以通过网络404，例如因特 网，以存取服务系统400。检测系统406连接至服务系统400、客户系统402 及制造工具408，除被耦接以从所有来源接收数据外，并且被操作以产生制 造数据410。在检测系统406从各个来源收集并编译制造数据后，上述制造 数据被分类为紧急数据412与非紧急数据414。通过负责指挥对上述制造数 据410的操作及分析的分析模块420，来处理上述制造数据410以产生分析 结果。上述数据处理可以包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急 数据参照、以及数据转换。将上述分析结果及对应的处理动作传送至支持操 作系统416。进入支持操作系统416的支持作业员可以依照提供指示至上述支持操作 系统以执行对应上述紧急数据412的处理动作，以响应紧急数据，或执行对 应上述非紧急数据414的处理动作，以维护上述服务系统400。如果上述分 析结果显示对客户402的为最佳操作，对应信息可以传送至服务人员418。 服务人员418可以在发生问题以前建议或通知客户402。图4所示的分析模块420，不像图l。分析模块420分析制造数据并产 生对应处理动作。上述分析结果可以用来维护所述服务系统或提供建议给客 户，借以大幅提升服务质量。虽然本发明已经以较佳实施例揭示如上，然而其并非用以限定本发明， 任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动 与润饰，因此本发明的保护范围应当视权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1. 一种以计算机执行的双态制造数据处理方法，包含收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态； 分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及 根据所述分析结果以在所述被分析的数据上执行处理动作。
2. 如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 还包含执行处理动作于其它数据型态的数据。
3. 如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 被分析的所述数据型态包含警示、状态、及记录数据。
4. 如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 从多个客户系统、 一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及所 述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。
5. 如权利要求4所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述 多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规 则。
6. 如权利要求l所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 所述制造数据是通过网络收集的。
7. 如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中， 所述分析包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照、以及 数据转换。
8. —种双态制造数据处理系统，包含一收集模块，其收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定 类别数据型态；一分析模块，其耦接至所述收集模块，分析所述两种数据型态的其中一 种的数据；以及一执行模块，其耦接至所述分析模块，根据所述分析结果以对所述被分 析的数据执行处理动作。
9. 如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述执行模块还 执行处理动作于其它数据型态的数据。
10. 如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，被分析的所述数 据型态包含警示、状态、及记录数据。
11. 如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述收集模块从 多个客户系统、 一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及所述 多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。
12. 如权利要求11所述的双态制造数据处理系统，其中，所述处理动作 包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统 的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。
13. 如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述收集模块 通过网络来收集所述制造数据。
14. 如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述分析模块以 数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照、以及数据转换，来 分析所述数据。
15. —种以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品， 所述双态制造数据处理方法包含收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态； 分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及 根据所述分析结果以在所述被分析的数据上执行处理动作。
16. 如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造 的集成电路产品，其中，所述双态制造数据处理方法还包含执行处理动作于 其它数据型态的数据。
17. 如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造 的集成电路产品，其中，被分析的所述数据型态包含警示、状态、及记录数 据。
18. 如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造 的集成电路产品，其中，从多个客户系统、 一支持操作系统、多个制造工具 的多个检测系统、以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数 据。
19. 如权利要求18所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造 的集成电路产品，其中，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述 支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务 系统中建立数据过滤规则。
20. 如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制 造的集成电路产品，其中，所述制造数据是通过网络收集的。
21. 如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造 的集成电路产品，其中，所述分析包含数据整合、数据再计算、历史数据分 析、紧急数据参照、以及数据转换。
全文摘要
本发明提供一种以计算机执行的双态制造数据处理方法及系统及所制造的集成电路产品。该双态制造数据处理方法包含如下步骤建立一种数据分析样态。从各种来源收集制造数据，并将所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态。分析所述数据型态的其中一种的数据，以及根据所述分析结果以对所述被分析的数据执行处理动作。也对其它型态的数据执行处理动作。通过本发明，可以分析制造数据并产生对应处理动作，用来维护服务系统或提供建议给客户，借以大幅提升服务质量；还可以事先辨识出客户的异常的安全事件，加以改进服务的潜在问题，并进而提供最佳的操作。
文档编号G06Q10/00GK101122794SQ20071012797
公开日2008年2月13日 申请日期2007年7月6日 优先权日2006年8月10日
发明者贾东龙 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司