气体换装系统与方法与流程

本发明是设籍半导体制程的技术领域，尤指用于协助集成电路制造厂(icfoundry)能够通过在线检核的方式安全地完成气体钢瓶(gascylinder)的更换作业。

背景技术：

高纯度气体与一些特用气体是半导体集成电路制造所不可或缺的原料。它们经常储存在钢瓶和储槽之中，并且供应到半导体制程所使用的制程设备，包括扩散设备、化学气相沉积(chemicalvapordeposition，cvd)设备、原子层沉积(atomiclayerdeposition，ald)设备、蚀刻设备、掺杂设备、离子布植设备、与溅镀设备。目前，集成电路制造厂(icfoundry)将需要使用的气体钢瓶放置于特别设计的防爆式气体钢瓶机柜之中。所述气体钢瓶机柜具有许多特别的安全防护机构，包括：火焰侦测器(firesensor)、高温传感器(hightemperaturesensor)、钢瓶接口的气阀守卫装置(autoguard)、喷洒装置(sprinkler)、防震探测器(seismicdetector)、毒气侦测器(gasleakdetector)。

可想而知，当特定的气体钢瓶用罄时，制造厂内的相关单位的操作人员必须依照标准作业程序(sop)进行相关气体钢瓶的更换。举例而言，为了防止管线内仍残留气体，操作人员依照sop必须在执行气体钢瓶的去旧换新之前先执行管线的吹净作业(purge)。吹净作业的次数会根据气体的种类而有所不同，但至少是3次。完成吹净作业之后，操作人员才可以解除连接于气体钢瓶接口处的气阀守卫装置，并接着以新的气体钢瓶替换用罄的气体钢瓶。

然而，根据集成电路制造厂所提供的实务操作经验，可以发现目前使用的气体钢瓶更换程序存在着一个重大缺陷。亦即，气体钢瓶的更换作业与历史通过纸本记录，且纸本记录内容至少包括：更换人员姓名、更换人员工号、更换时间、更换品料号、品料上机时间、与品料下机时间等。然而，肇因于更换作业与纸本记录同时由人力完成，一旦在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如：操作人员并未确实完成sop所规定的吹净次数便径自解除气阀守卫装置，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂(icfoundry)与其客户的重大损失。尤其，集成电路制造厂经常使用到高危险性气体与有毒气体(如ph3与bf3)。高危险性气体例如nh3与sih4，其特征在于nh3虽为不可燃，但当其在空气中的浓度超过15％便会有引发爆炸的危险。另一方面，sih4是可燃气体，且与空气反应后会引发吸入者窒息。有毒气体则例如ph3与bf3。

由上述说明可知，将特用气体钢瓶的物料管理、更换作业、与程序步骤进行同步电子化的控制与纪录对于集成电路制造厂而言是非常迫切的。如此，集成电路制造厂的厂管便能够通过中心控制系统而完整、全面性地监控特用气体钢瓶的更换料号是否正确以及强迫操作人员确人遵守气体钢瓶换装的标准作业程序。有鉴于此，本案的发明人极力加以研究创作，而终于研发完成本发明的一种气体换装系统与方法。

技术实现要素：

集成电路制造厂(icfoundry)所提供的实务操作经验指出，气体钢瓶的更换作业与历史通过纸本记录。然而，肇因于更换作业与纸本记录皆由人力所完成，一旦在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如：操作人员并未确实完成sop所规定的吹净次数便径自解除气阀守卫装置，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂与其客户的重大损失。本发明的主要目的在于提供一种气体换装系统与方法，特别于操作人员的身分卡、气体钢瓶、钢瓶容置机柜皆贴置有特别设计的信息携载单元。以一可携式电子装置读取这些信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限之后，要求操作人员先执行气体管线的吹净作业(purge)，避免高危险气体(例如:nh3或sih4)泄漏。之后，中央监控系统才会解除待更换的气体钢瓶的安全装置(autoguard)，允许操作人员以新的气体钢瓶替换之。如此方式，能够确保所有机台的料品更换皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行料品的去旧换新的程序过程中发生人为操作异常。

为了达成上述本发明的主要目的，本案发明人提供所述气体换装系统的一实施例，包括：

至少一第一身分信息携载单元，设置于至少一操作人员身分卡之上；

至少一料品信息携载单元，设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器容置有一特定料品；

至少一机台信息携载单元，设置于至少一机台之上，且所述机台用以预处理或直接使用所述特定料品；以及

至少一可携式电子装置，具有一读取单元；

其中，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述机台的权限；

其中，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特定料品的多个基础信息，以确保所述料品容置器于所述特定料品处于一正常状态之下被装入正确的所述机台之中。

所述的气体换装系统，其中，更包括：一中央监控系统，通过一收发装置路由器与所述可携式电子装置沟通，并通过一可编程控装置(programmablelogiccontroller,plc)监视与控制所述机台的运作状态。

所述的气体换装系统，其中，更包括：一第二身分信息携载单元，设置于至少一检查人员身分卡之上；通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第二身分信息携载单元的方式确认持有所述检查人员身分卡的一检查人员是否对操作人员的操作完成相关检查。

所述的气体换装系统，其中，更包括：一有线通讯模块，用以供所述可携式电子装置与所述机台沟通或进行数据传输。

所述的气体换装系统，其中，所述特定料品为一特用气体，且所述料品容置器为一气体钢瓶。

所述的气体换装系统，其中，所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元、所述料品信息携载单元与所述机台信息携载单元皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1dbarcode)、二维条形码(2dbarcode)、汉信码(chinese-sensiblecode)、qr码、矩阵条形码(maxicode)、rfid标签、nfc卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。

所述的气体换装系统，其中，所述可携式电子装置可为下列任一者：智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表；所述读取单元可为下列任一者：rfid标签读取器、nfc卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、qr码读取器、或矩阵条形码读取器。

所述的气体换装系统，其中，所述读取单元为一影像撷取器，且所述可携式电子装置更具有一影像辨识单元；通过配合使用所述读取单元与所述影像辨识单元，所述可携式电子装置可完成所述第一身分信息携载单元、所述第二身分信息携载单元、所述料品信息携载单元、与/或所述机台信息携载单元的读取。

所述的气体换装系统，其中，由所述料品信息携载单元所携载的所述多个基础信息包括：品名、批号、有效日期、与序号，且相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(centralseperatingcharacter)。

所述的气体换装系统，其中，所述信息分隔符可为下列任一者：％、$、/、～、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。

并且，为了达成上述本发明的主要目的，本案发明人提供所述气体换装方法的一实施例，包括以下步骤：

(1)将至少一第一身分信息携载单元设置于至少一操作人员身分卡之上，将至少一第二身分信息携载单元设置于至少一检查人员身分卡之上，将至少一料品信息携载单元设置于至少一料品容置器之上，并将至少一机台信息携载单元设置于至少一机台之上；其中，所述料品容置器容置有一特用气体，且所述机台为所述特用气体的一气体供应系统；

(2)提供至少一可携式电子装置，且所述可携式电子装置具有一读取单元；

(3)所述可携式电子装置通过有线连接或无线连接的方式与所述机台建立沟通；

(4)通过所述读取单元，所述可携式电子装置通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；

(5)通过所述读取单元，所述可携式电子装置通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述机台的权限；同时，所述可携式电子装置读取所述第二身分信息携载单元以确认一检查人员已经对所述操作人员的操作完成检查；

(6)执行至少一气体管线的吹净作业(purge)；

(7)通过所述读取单元，所述可携式电子装置通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特用气体的多个基础信息；

(8)通过所述读取单元，所述可携式电子装置再次读取所述第一身分信息携载单元以确认所述操作人员的权限；同时，所述可携式电子装置再次读取所述第二身分信息携载单元以确认所述检查人员已经对所述操作人员的操作完成检查；

(9)确认所述料品容置器于一正常状态之下被装入正确的所述机台之中，接着所述机台的一安全装置(autoguard)连接至所述料品容置器；以及

(10)通过所述读取单元，所述可携式电子装置再次读取所述第一身分信息携载单元与所述第二身分信息携载单元，确认完成所述料品容置器于所述机台之中的更换作业。

于上述本发明的气体换装方法的实施例之中，其中，于所述步骤(3)之中，所述可携式电子装置通过一收发装置与一中央监控系统相互沟通，且所述中央监控系统通过一控制装置监视与控制所述机台的运作状态。

于上述本发明的气体换装方法的实施例之中，其中，于所述步骤(3)之中，所述可携式电子装置通过一有线通讯模块直接与所述机台建立沟通或进行数据传输。

附图说明

图1为显示本发明的一种气体换装系统的架构图；

图2为显示可携式电子装置的立体图；

图3a与图3b为显示本发明的气体换装方法的流程图；

图4a为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；

图4b为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；

图4c为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；以及

图4d为显示可携式电子装置的屏幕的正视图。

附图标记：

第一身分讯息携载单元21

料品讯息携载单元31

机台讯息携载单元41

第二身分讯息携载单元81

可携式电子装置5

中央监控系统csrc

操作人员身分卡2

检查人员身分卡8

料品容置器3

机台4

可携式电子装置5

读取单元51

收发装置6

控制装置7

电子权杖单元8

有线通讯模块w

步骤s1-s10

具体实施方式

为了能够更清楚地描述本发明所提出的一种气体换装系统及方法，以下将配合图式，

详尽说明本发明的较佳实施例。

请参阅图1，显示本发明的一种气体换装系统的架构图。如图1所示，本发明的气体换装系统于架构组成上主要包括：至少一第一身分信息携载单元21、至少一第二身分信息携载单元81、至少一料品信息携载单元31、至少一机台信息携载单元41、至少一可携式电子装置5、与一中央监控系统a127-18-p02-twm_气体换装系统与方法_新型专利说明书_第一次会稿_20181004。根据本发明的设计，所述第一身分信息携载单元21设置于一操作人员身分卡2之上，且所述第二身分信息携载单元81设置于一检查人员身分卡8之上。简单地说，第一身分信息携载单元21用以携载持有所述操作人员身分卡2的一操作人员的基本资料，包括：姓名、工号、所属单元、职级、与是否完成机台操作的资格考(qualify)。特别说明的是，完成机台操作的资格考的操作人员才会被允许进行机台操作。所述第二身分信息携载单元81则用以携载持有所述检查人员身分卡8的一检查人员的基本资料，包括：姓名、工号、所属单元、与职级。

职级越高的操作人员被允许进行操作的机台的种类则越多。举例而言，检查人员、厂长、高级工程师、与主任工程师皆能够对不同单位的机台进行操作，但操作人员(operator,op)仅被限制对其所属单位的机台进行操作。另一方面，所述料品信息携载单元31被设置于对应的一料品容置器3之上，且所述料品容置器3容置有一特定料品。于此，所述特定料品为一特用气体，且料品容置器3为一气体钢瓶。特用气体指的是集成电路制造厂经常使用到高危险性气体与有毒气体。高危险性气体例如nh3与sih4，其特征在于nh3虽为不可燃，但当其在空气中的浓度超过15％便会有引发爆炸的危险。另一方面，sih4是可燃气体，且与空气反应后会引发吸入者窒息。有毒气体则例如ph3与bf3。

所述料品信息携载单元31携载设籍所述特定料品的多个基础信息，包括：品名、批号、有效日期、与序号。举例而言，所述品名可用以显示所述特定料品为与sih4或nh3。另一方面，所述机台信息携载单元41设置于对应的机台4之上，且所述机台4为所述特用气体的一气体供应系统。由上述说明可知，单位“至少一”用以表示所述四种信息携载单元(21,81,31,41)的数量为一个或多个。换句话说，这四种信息携载单元(21,81,31,41)的数量的确实数量决定于所述操作人员身分卡2、所述检查人员身分卡8、所述料品容置器3、与所述机台4的数量。

另一方面，所述可携式电子装置5具有一读取单元51。通过所述读取单元51，可携式电子装置5可通过读取所述机台信息携载单元41的方式确认机台4的一运作状态。如图1所示，可携式电子装置5通过一收发装置6而与一中央监控系统csrc相互沟通，收发装置6与可携式电子装置5间的通讯协议可以是无线通信网络，包含wifi、3g、4g、蓝芽、zigbee等，收发装置6与中央监控系统csrc间的通讯协议可以是无线通信网络或有线通讯网络，其特征在于无线通信网络包含wifi、3g、4g、蓝芽、zigbee等。且所述中央监控系统csrc则通过一控制装置7控制所述机台4的运作状态，其特征在于控制装置7包含可编程控装置(programmablelogiccontroller,plc)或直接数字控制器(directdigitalcontroller,ddc)或对象链接与嵌入装置(objectlinkingandembedding,ole)或用于流程控制的ole装置(oleforprocesscontrol,opc)其中之一。因此，在完成所述机台信息携载单元41的读取之后，可携式电子装置5便可自所述中央监控系统csrc得知所述机台4的类型、设定参数及其运作情况。此外，如图1所示，可携式电子装置5也可以通过一有线通讯模块wc直接与所述机台4沟通或进行数据传输。

特别说明的是，在进行气体钢瓶的物料更换之前，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5可进一步地通过读取所述第一身分信息携载单元21的方式确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有操作所述机台4的权限。进一步地，中央监控系统csrc会通过可携式电子装置5要求操作人员根据sop执行气体管线的吹净作业(purge)。吹净作业的次数会根据气体的种类而有所不同，但至少是3次；并且，吹净作业的持续时间也必须同时遵守sop的规定。完成吹净作业之后，通过读取所述料品信息携载单元31的方式能够确认所述料品容置器3所容置的所述特定料品的相关基础信息，藉以确保料品容置器3于所述特定料品处于正常状态之下被装入正确的所述机台4之中。举例而言，若所述机台4为sih4的气体供应系统，则读取所述料品信息携载单元31能够确认料品容置器3所容置的所述特定料品的品名是否为sih4气体。除此之外，读取所述料品信息携载单元31还能够确认所述特定料品的批号是否已经被禁用、所述特定料品的批号是否具有入库纪录、以及所述特定料品的保存日是否超过有效日期。

在料品容置器3被确认属于正常状态之后，此时操作人员可以自所述机台4取下已经用罄的气体钢瓶(料品容置器3)，并将新的料品容置器3装入所述机台4内。并且，当所述料品容置器3于所述特定料品处于正常状态的情况下被装入正确的机台4之后，必须以可携式电子装置5再次读取所述第一身分信息携载单元21；之后，所述中央监控系统csrc便会记录新的料品容置器3的上机时间，并记录此料品容置器3的状态为“使用中(inmachine)”。相反地，中央监控系统csrc会将旧的料品容置器3纪录为空桶(empty)。同时，中央监控系统csrc会通过控制装置7将操作人员的数据(例如:姓名与工号)以及所述料品容置器3所容置的所述特定料品的批号(或料号)显示于机台4的人机接口(humanmachineinterface,hmi)。接着，将所述机台4的一安全装置(autoguard)连接至所述料品容置器3(气体钢瓶)之后，启用所述安全装置。

必须特别说明的是，有鉴于特用气体通常是高危险性气体或有毒气体，因此在操作人员完成气体管线的吹净作业(purge)之后，必须由陪同的检查人员完成检查。当然，在操作人员完成气体钢瓶的去旧换新作业之后，也同样必须由陪同的检查人员完成相关检查。并且，检查人员完成检查之后，必须使用可携式电子装置5读取所述第二身分信息携载单元81的方式确认持有所述检查人员身分卡8的所述检查人员是否完成相关检查。

在此必须强调的是，虽然图1显示所述第一身分信息携载单元21、所述料品信息携载单元31与所述机台信息携载单元41皆为一维条形码(1dbarcode)，然而不应以此限制所述信息携载单元(21,31,41)的实施态样。于实际应用本发明之时，所述第一身分信息携载单元21、所述料品信息携载单元31与所述机台信息携载单元41可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1dbarcode)、二维条形码(2dbarcode)、汉信码(chinese-sensiblecode)、qr码、矩阵条形码(maxicode)、rfid卷标、nfc卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。以一维条形码(1dbarcode)为例，所述料品信息携载单元31可利用code39条形码产生器制作，并使其携载所述料品容置器3所盛装的所述特定料品的品名、批号、有效日期、与序号。值得特别说明的是，为了利于可携式电子装置5对于品名、批号、有效日期、与序号的清楚读取，制作料品信息携载单元31的一维条形码之时，必须于相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(centralseperatingcharacter)，例如:％、$、/、～、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。

可想而知，对应于不同实施态样的信息携载单元(21,31,41)，可携式电子装置5的读取单元51可为下列任一者：rfid卷标读取器、nfc卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、qr码读取器、矩阵条形码读取器、或影像撷取器。若可携式电子装置5为智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表，则可直接以可携式电子装置5内建的影像撷取模块作为所述读取单元51；如此，于所述可携式电子装置5安装一影像(或条形码)辨识软件之后，便能够通过配合使用所述读取单元51与所述影像辨识单元的方式，令可携式电子装置5完成所述第一身分信息携载单元21、所述料品信息携载单元31、与/或所述机台信息携载单元41的读取。然而，有鉴于大部分的集成电路制造厂(icfoundry)皆禁止于厂内使用任何类型的智能型电子装置，搭载有条形码扫描仪(即，读取单元51)的个人数字助理(digitalpersonalassistant,pda)便成为所述可携式电子装置5的最佳实施态样。

继续地参阅图1，并请同时参阅图2，显示可携式电子装置的立体图。值得注意的是，虽然可携式电子装置5可以通过读取第一身分信息携载单元21的方式确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有操作所述机台4的权限，但是考虑到低职级的操作人员有可能借用高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2而妄加地操作所述些不需要更换料品的机台4，本发明又于气体换装系统之中增设所谓的电子权杖单元(electronictokenunit)8；其特征在于，所述电子权杖单元8之中储存有一次性认证码(one-timepassword,otp)。特别地，于所述可携式电子装置5完成所述第一身分信息携载单元21的读取之后，中央监控系统csrc可通过可携式电子装置5要求操作人员提供与电子权杖单元8沟通；之后，可携式电子装置5可通过存取所述一次性认证码的方式，重复确认持有所述操作人员身分卡2的所述操作人员是否具有操作所述机台4的权限，避免高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2被拿来胡乱操作该些不需要更换料品的机台4。本发明并不限制电子权杖单元8的实施态样，如图2所示，电子权杖单元8可以是：蓝牙电子装置、usb电子装置、nfc卷标、或rfid卷标。并且，在可携式电子装置5自所述电子权杖单元8之中完成所述一次性认证码的存取之后，可携式电子装置5内部的一权杖码产生单元(未图标)会重新生成一组一次性认证码，并写入所述电子权杖单元8之中，藉此方式提高机台4的操作权限。

如此，上述说明已完整、清楚地介绍说明本发明的一种气体换装系统。接着，下文将继续介绍说明本发明的一种气体换装方法。请重复参阅图2，并请同时参阅第图3a与图3b，显示本发明的气体换装方法的流程图。并且，请再同时参阅图4a、图4b、图4c、与图4d，显示可携式电子装置的屏幕的正视图。如图1与图3a所示，所述气体换装方法首先执行步骤s1，将至少一第一身分信息携载单元21设置于至少一操作人员身分卡2之上，将至少一第二身分信息携载单元81设置于至少一检查人员身分卡8之上，将至少一料品信息携载单元31设置于至少一料品容置器3之上，并将至少一机台信息携载单元41设置于至少一机台4之上；其特征在于，所述料品容置器3容置有一特用气体(例如:nh3或sih4)，且所述机台4为所述特用气体的一气体供应系统。并且，于步骤s2之中，提供至少一可携式电子装置5，且所述可携式电子装置5具有一读取单元51(例如:条形码扫描仪)。

本发明的气体换装方法接着执行步骤s3，如图4a的图(a)与图(b)所示，所述可携式电子装置通过有线连接或无线连接的方式与所述机台4建立沟通。于本发明中，可携式电子装置5通过收发装置6而与中央监控系统csrc相互沟通，且所述中央监控系统csrc则通过控制装置7控制所述机台4的运作状态。并且，如图1所示，可携式电子装置5也可以通过一有线通讯模块wc直接与所述机台4沟通或进行数据传输。本发明的气体换装方法接着执行步骤s4，通过所述读取单元51，令所述可携式电子装置5通过读取所述机台信息携载单元41的方式确认所述机台4的类型与其运作状态(如图4a的图(c)所示)。

由于可携式电子装置5通过机台4的machineid得知所述机台4是为气体供应设备，因此，如图4b的图(a)所示，后端的中央监控系统csrc要求操作人员先执行气体管线的吹净作业。有鉴于特用气体通常是高危险性气体或有毒气体，因此吹净作业必须由检查人员陪同操作人员完成。是以，于步骤s5之中，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5通过读取所述第一身分信息携载单元21的方式确认持有所述操作人员身分卡2的一操作人员是否具有操作所述机台4的权限；同时，所述可携式电子装置5读取所述第二身分信息携载单元81以确认一检查人员已经对所述操作人员的操作完成检查(如图4b的图(b)所示)。之后，于步骤s6之中，如图4b的图(c)所示，操作人员对至少一气体管线执行吹净作业(purge)。完成吹净作业之后，如图4c的图(a)所示，接着便可以开始进行气体钢瓶的去旧换新作业。

更换气体钢瓶之前，方法流程先执行步骤s7与步骤s8。于步骤s7之中，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5通过读取所述料品信息携载单元31的方式确认所述料品容置器3所容置的所述特用气体的多个基础信息，至少包括：品名、批号、有效日期、与序号。并且，于步骤s8之中，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5再次读取所述第一身分信息携载单元21以确认所述操作人员的权限；同时，所述可携式电子装置5再次读取所述第二身分信息携载单元81以确认所述检查人员已经对所述操作人员的操作完成检查(如图4c的图(b)所示)。

完成气体钢瓶的去旧换新作业之后，如图4c的图(c)所示，后端的中央监控系统csrc会要求操作人员对新换上的气体钢瓶进行安全上的检查。因此，于步骤s9之中，确认所述料品容置器3于一正常状态之下被装入正确的所述机台4之中，接着所述机台的一安全装置(autoguard)连接至所述料品容置器3。最终，如图4d的图(a)与图(b)所示，方法流程最终执行步骤s10，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5再次读取所述第一身分信息携载单元21与所述第二身分信息携载单元81，确认完成所述料品容置器3于所述机台4之中的更换作业。

补充说明的是，本发明的气体换装方法通过步骤s5确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有操作所述机台4的权限。然而，必须预先想到的是，低职级的操作人员有可能借用高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2而妄加胡乱地操作该些不需要更换料品的机台4，因此，本发明又于此气体换装方法之中增设步骤5a，其可插入于所述步骤(5)与所述步骤(6)之间。执行步骤5a之时，可携式电子装置5会要求与一电子权杖单元8(如图2所示)相互沟通，以重复确认持有所述操作人员身分卡2的所述操作人员是否具有操作所述机台4的权限。简单地说，可携式电子装置5可通过存取所述电子权杖单元8之中的一次性认证码的方式，重复确认持有所述操作人员身分卡2的所述操作人员是否具有操作所述机台4的权限，避免高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2被拿来胡乱操作该些不需要更换料品的机台4。

必须加以强调的是，上述的详细说明针对本发明可行实施例的具体说明，但是所述实施例并非用以限制本发明的专利范围，凡未脱离本发明技艺精神所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。