技术总结
本申请实施例提供了设备应用监控方法、半导体工艺设备，该方法包括：获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息；显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。本申请实施例提供的技术方案可以自动对设备应用进行监控，降低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，以及提升确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。设计上的问题的准确性。设计上的问题的准确性。
技术研发人员：杨园
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2020.12.18
技术公布日：2021/3/28