设备应用监控方法、半导体工艺设备与流程

1.本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种设备应用监控方法、半导体工艺设备。


背景技术：

2.在半导体工艺设备进行作业的过程中，需要通过设备应用控制半导体工艺设备进行工艺的过程。目前，通常是在设备应用的代码设计存在问题时，由开发人员人工根据设备应用的运行日志中记录的相关信息，确定设备应用在代码设计上的问题。一方面，设备应用的代码量大，以人工方式确定设备应用在代码设计上的问题的成本高。另一方面，由于没有任何与设备应用的代码设计可能存在的问题相关的信息可以提供给用户帮助用户发现设备应用在代码设计上的问题，用户只能依靠经验确定设备应用在代码设计上的问题，导致确定设备应用在代码设计上的问题的准确性较低。


技术实现要素：

3.本申请提供一种设备应用监控方法、半导体工艺设备。
4.根据本申请实施例的第一方面，提供一种设备应用监控方法，应用于半导体工艺设备，包括：
5.获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；
6.对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，第一接口调用概率分布信息指示每一个在子时间段内被调用的接口在子时间段内的调用次数占据子时间段对应的接口调用总次数的比例；
7.显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。
8.根据本申请实施例的第二方面，提供一种半导体工艺设备，包括：
9.获取单元，被配置为获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；
10.资源消耗预警单元，被配置为对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，第一接口调用概率分布信息指示每一个在子时间段内被调用的接口在子时间段内的调用次数占据子时间段对应的接口调用总次数的比例；
11.显示单元，被配置为显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。
12.本申请实施例提供的设备应用监控方法、半导体工艺设备，通过子时间段对应的预警信息可以提示用户在设备应用的运行过程中，子时间段的输入输出量异常和/或硬件
资源消耗量异常，以提醒用户确定设备应用在代码设计上的问题。子时间段对应的第一接口调用概率分布信息使得用户可以了解在输入输出量异常和/或硬件资源消耗量异常的子时间段内每一个被调用的接口的调用情况，以便用户发现设备应用在代码设计上的问题，对设备应用的代码进行改进。上述技术方案可以自动对设备应用进行监控，相比于以人工方式根据经验确定设备应用在代码设计上的问题，降了低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，提升了确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。
附图说明
13.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
14.图1示出了本申请实施例提供的设备应用监控方法的流程图；
15.图2示出了资源消耗量预警的流程示意图；
16.图3示出了示出了异常代码接口预警的流程示意图；
17.图4示出了确定接口调用序列的流程示意图；
18.图5示出了监控设备应用的流程示意图；
19.图6示出了向用户提供用于对设备应用的代码进行改进的相关信息的效果示意图；
20.图7示出了本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构框图。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关联发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了以便描述，附图中仅示出了与有关发明相关联的部分。
22.需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
23.图1示出了本申请实施例提供的设备应用监控方法的流程图，该方法包括：
24.步骤101，获取设备应用的监控数据。
25.在本申请中，设备应用可以为用于控制半导体工艺设备进行工艺的应用。
26.在本申请中，设备应用的监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量、监控时间段内的每一个子时间段的硬件资源消耗量。上述监控时间段并不特指某一个时间段。任意一个需要对设备应用进行监控的时间段均可以作为监控时间段。
27.在本申请中，每一个子时间段的时长可以均为预设时长。可以将监控时间段划分为多个时长为预设时长的子时间段。
28.在本申请中，预设时长可以为一秒。可以将监控时间段划分为多个时长为一秒的子时间段。
29.在本申请中，输入输出量可以称之为io量。io量基于设备应用传输数据而产生。设备应用在运行过程中可以通过tcp/ip传输数据即发送数据和接收数据。
30.在本申请中，可以将通过tcp/ip传输数据的次数作为设备应用的io量。每一次设备应用传输数据时，可以调用预先封装的用于通过tcp/ip传输数据的接口，可以实时统计
该接口的调用次数，将该接口的调用次数作为设备应用的io量。对于每一个子时间段，可以确定在该子时间段内上述接口的调用次数，得到该子时间段的io量。
31.在本申请中，子时间段的硬件资源消耗量可以是指在子时间段内设备应用消耗的硬件资源的资源量，包括cpu消耗量或内存消耗量。相应的，可以将cpu消耗量阈值和内存消耗量阈值联合作为第二阈值。也可以将cpu消耗量阈值、内存消耗量阈值各自作为一个第二阈值。对于每一个子时间段，可以同时确定子时间段cpu消耗量和子时间段的内存消耗量，在子时间段cpu消耗量大于或等于cpu消耗量阈值并且内存消耗量大于或等于内存消耗量阈值时，确定该子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，或者在二者之一大于相应的阈值时，确定该子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值。
32.步骤102，对于每一个子时间段，在该子时间段满足预警条件的情况下，生成该子时间段对应的预警信息和该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息。
33.上述的预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值。
34.当预警条件包括两个条件项时，子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，若满足两个条件项中的至少一个，即可以视为子时间段满足预警条件。
35.对于每一个子时间段，若该子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值和/或该子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，可以生成该子时间段对应的预警信息和该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息。
36.在本申请中，每一个接口均为属于设备应用的接口。
37.在本申请中，对于每一个子时间段，该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息指示每一个在该子时间段内被调用的接口在该子时间段内的调用次数占据该子时间段对应的接口调用总次数的比例。对于每一个子时间段，该子时间段对应的接口调用总次数为每一个在该子时间段内被调用的接口在该子时间段内的调用次数之和。对于每一个在一个子时间段内被调用的接口，该被调用的接口在该子时间段内的调用次数指示该被调用的接口在该子时间段内被调用了多少次。对于每一个在一个子时间段内被调用的接口，将该被调用的接口在该子时间段内的调用次数除以该子时间段对应的接口调用总次数，得到该被调用的接口在该子时间段内的调用次数占据该子时间段对应的接口调用总次数的比例。
38.步骤103，显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。
39.对于每一个子时间段，当确定该子时间段满足预警条件时，可以将该子时间段对应的预警信息和该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息显示出来提供给用户，以供用户进一步确定设备应用在代码设计上可能存在的问题。这里的用户可以为运维工程师。
40.例如，每一个预设子时间段的时长均为1秒，将监控时间段划分为时长为1秒的多个子时间段。对于任意io量异常和/硬件资源消耗量异常的时长为1秒的时间段，均可以生成相应的报警信息和相应的第一接口调用概率分布信息，将相应的报警信息和相应的第一接口调用概率分布信息提供给运维工程师。
41.在本申请中，对于每一个子时间段，若该子时间段的io量大于或等于大于或等于第一阈值，则该子时间段的io量异常。对于每一个子时间段，若该子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，则该子时间段的硬件资源消耗量异常。对于每一个子时间段，当将
该子时间段对应的预警信息和该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息提供给用户时，用户可以通过该子时间段对应的预警信息，了解在该子时间段的io量异常和/硬件资源消耗量异常。通过该子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，用户可以进一步了解该子时间段内每一个被调用的接口的调用情况，以便用户确定设备应用的代码设计可能存在的问题，对设备应用的代码设计进行改进。
42.作为示例，io量异常和/硬件资源消耗量异常通常是由于调用频次高的接口被频繁调用引起的。用户可以通过修改设备应用的相关代码，适当减少对调用频次过高的接口的调用次数的方式，对设备应用的代码设计进行改进。
43.请参考图2，其示出了资源消耗量预警的流程示意图。
44.具体的，可以统计每一个子时间段的io量、硬件资源消耗量，绘制io的消耗量曲线、硬件资源消耗量曲线。io的消耗量曲线可以反映每一个子时间段的io量，硬件资源消耗量曲线可以反映每一个子时间段的硬件资源消耗量，通过io的消耗量曲线、硬件资源消耗量曲线可以确定每一个子时间段内io量、硬件资源消耗量。将每一个子时间段的io量分别与第一阈值进行比较，将每一个子时间段的硬件资源消耗量分别与第二阈值进行比较。对于一个子时间段，若该子时间段的io量大于或等于第一阈值和/或硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，生成该子时间段对应的预设信息。用户根据所有对应预警信息的子时间段的第一接口调用概率分布信息，改进设备应用。
45.在一些实施例中，对于每一个预设时间单位，计算该预设时间单位对应的平均输入输出量，以及计算该预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量，其中，预设时间单位包括以下至少之一：秒、分钟、小时、天；当至少一个预设时间单位对应的平均输入输出量大于或等于第一平均阈值时，分别确定每一个子时间段的输入输出量是否大于或等于第一阈值；当至少一个预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量大于或等于第二平均阈值时，分别确定每一个子时间段的硬件资源消耗量是否大于或等于第二阈值。
46.对于预设时间单位秒，可以确定监控时间段包括的秒数。然后，将监控时间段的io量除以确定出的秒数，得到秒对应的平均io量。将监控时间段的硬件资源消耗量除以确定出的秒数，得到秒对应的平均硬件资源消耗量。
47.对于预设时间单位分钟，可以确定监控时间段包括的分钟数。将监控时间段的io量除以确定出的分钟数，得到分钟对应的平均io量。将监控时间段的硬件资源消耗量除以确定出的分钟数，得到分钟对应的平均硬件资源消耗量。
48.对于预设时间单位小时，可以确定监控时间段包括的小时数。将监控时间段的io量除以确定出的小时数，得到小时对应的平均io量。将监控时间段的硬件资源消耗量除以确定出的小时数，得到小时对应的平均硬件资源消耗量。
49.对于预设时间单位天，可以确定监控时间段包括的天数。将监控时间段的io量除以确定出的天数，得到天对应的平均io量。将监控时间段的硬件资源消耗量除以确定出的天数，得到天对应的平均硬件资源消耗量。
50.在本申请中，为减少计算量，可以当至少一个预设时间单位对应的平均输入输出量大于或等于第一平均阈值时，再分别确定每一个子时间段的输入输出量是否大于或等于第一阈值，当至少一个预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量大于或等于第二平均阈值时，再分别确定每一个子时间段的硬件资源消耗量是否大于或等于第二阈值。
51.在一些实施例中，监控数据还包括异常代码接口的异常信息。
52.对应的，本申请提供的设备应用监控方法还可以包括：生成异常代码接口对应的预警信息和第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息，其中，在第一子时间段内至少一个异常代码接口被调用，异常代码接口为在被调用时产生了非法数据项的接口，异常信息包括异常代码接口的名称以及非法数据项，第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息指示每一个在第一子时间段内被调用的异常代码接口在该第一子时间段内的调用次数占据第一子时间段对应的接口调用总次数的比例；显示异常代码接口对应的预警信息和第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息。
53.在本申请中，可以将在被调用时产生了非法数据项的接口称之为异常代码接口。在被调用时产生了非法数据项的接口即异常代码接口可以是指被调用时传入的输入参数包括非法数据项的接口。这些非法数据项可以包括：引用为空的非法数据项、超出设计范围的非法数据项。在本申请中，异常代码接口的异常信息包括异常代码接口的名称以及非法数据项。
54.对于一个子时间段，若在该子时间段内至少一个异常代码接口被调用，该时间段为一个第一子时间段。
55.对于每一个第一子时间段，可以生成该第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息，该第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息指示每一个在该第一子时间段内每一个被调用的异常代码接口在该第一子时间段内的调用次数占据第一子时间段对应的接口调用总次数的比例。对于每一个第一子时间段，该第一子时间段对应的接口调用总次数为每一个在该第一子时间段内被调用的接口在该子时间段内的调用次数之和。对于每一个在一个第一子时间段内被调用的异常代码接口，将该被调用的异常代码接口在该第一子时间段内的调用次数除以该第一子时间段对应的接口调用总次数，得到该被调用的异常代码接口在该第一子时间段内的调用次数占据该第一子时间段对应的接口调用总次数的比例。
56.请参考图3，其示出了异常代码接口预警的流程示意图。
57.具体的，可以从设备应用的运行日志中获取各个接口的调用信息。从中提取输入参数，若确定提取的接口的输入参数包括非法数据项时，确定该接口为异常代码接口。可以生成异常代码接口对应的预警信息和第二接口调用概率分布信息，显示异常代码接口对应的预警信息和第二接口调用概率分布信息。异常代码接口对应的预警信息可以提示用户异常代码接口本身的设计有问题例如引用传递的问题。用户可以通过第二接口调用概率分布信息了解在第一子时间段内每一个被调用的异常代码接口的调用情况，对异常代码接口的代码设计进行改进。
58.在一些实施例中，本申请提供的设备应用监控方法还可以包括：基于每一个第一子时间段的接口调用序列，确定第一接口调用序列，其中，第一接口调用序列中的每一个异常代码接口在每一个第一子时间段内均被调用过；基于每一个第二子时间段的接口调用序列，确定第二接口调用序列，其中，第二子时间段为输入输出量大于或等于第一阈值的子时间段，第二接口调用序列中的每一个接口在每一个所述第二子时间段内均被调用过；基于每一个第三子时间段的接口调用序列，确定第三接口调用序列，其中，第三子时间段为硬件资源消耗量大于或等于第二阈值的子时间段，第三接口调用序列中的每一个接口在每一个
第三子时间段内均被调用过；显示第一接口调用序列、第二接口调用序列、第三接口调用序列。
59.对于每一个第一子时间段，该第一子时间段的接口调用序列包括所有在该第一子时间段内被调用的接口。
60.对于每一个第二子时间段，该第二子时间段的接口调用序列包括所有在该第二子时间段内被调用的接口。
61.对于每一个第三子时间段，该第三子时间段的接口调用序列包括所有在该第三子时间段内被调用的接口。
62.在本申请中，可以基于每一个第一子时间段的接口调用序列，确定第一接口调用序列。可以确定每一个第一子时间段的接口调用序列共同包括的异常代码接口，以确定第一接口调用序列。
63.第一接口调用序列包括：每一个在所有第一子时间段内均被调用的异常代码接口。
64.换言之，对于第一接口调用序列中的每一个异常代码接口，该异常代码接口在每一个第一子时间段内均被调用过。
65.通过显示第一接口调用序列，可以使得用户了解在每一个在所有第一时间段内均被调用的异常代码接口，以便用户确定设备应用的代码设计可能存在的问题，对设备应用的代码设计进行改进。
66.作为示例，在每一个在所有第一时间段内均被调用的异常代码接口极有可能是由于异常代码接口本身的设计有问题。用户可以进一步确定每一个第一时间段内均被调用的异常代码接口的代码，对在所有第一时间段内均被调用的异常代码接口的代码进行改进。
67.在本申请中，可以基于每一个第二子时间段的接口调用序列，确定第二接口调用序列。可以确定每一个第二子时间段的接口调用序列共同包括的接口，以确定第二接口调用序列。
68.第二接口调用序列包括：每一个在第二子时间段内均被调用的接口。
69.换言之，对于第二接口调用序列中的每一个接口，该接口在每一个第二子时间段内均被调用过。
70.通过显示第二接口调用序列，可以使得用户了解每一个在所有io量异常的第二时间段内均被调用的接口，每一个在所有第二时间段内均被调用的接口极有可能是造成io量异常的原因，以便用户确定设备应用的代码设计可能存在的问题，对设备应用的代码设计进行改进。
71.在本申请中，可以基于每一个第三子时间段的接口调用序列，确定第三接口调用序列。可以确定每一个第三子时间段的接口调用序列共同包括的接口，以确定第三接口调用序列。
72.第三接口调用序列包括：每一个在第三子时间段内均被调用的接口。
73.换言之，对于第三接口调用序列中的每一个接口，该接口在每一个第三子时间段内均被调用过。
74.通过显示第三接口调用序列，可以使得用户了解每一个在所有
75.第三时间段内均被调用的接口，每一个在所有第三时间段内均被调用的接口极有
可能是造成硬件资源消耗量的原因，以便用户确定设备应用的代码设计可能存在的问题，对设备应用的代码设计进行改进。
76.在一些实施例中，可以通过反射追踪的方式获取第一子时间段的接口调用序列、第二子时间段的接口调用序列和第三子时间段的接口调用序列。
77.优选的，可以使用.net反射追踪技术，根据设备应用的运行日志中的被调用的接口的调用信息，分别追踪到在第一子时间段内调用的接口的名称、在第二子时间段内调用的接口的名称、在第三子时间段内调用的接口的名称，从而，分别确定第一子时间段内、第二子时间段内、第三子时间段内哪些接口被调用，获取第一子时间段的接口调用序列、第二子时间段的接口调用序列和第三子时间段的接口调用序列。
78.请参考图4，其示出了确定接口调用序列的流程示意图。
79.数据1由每一个第一子时间段的接口调用序列组成。所有第一子时间段的接口调用序列包括interface11、interface12...interface1i。
80.数据2由每一个io量异常的第二子时间段的接口调用序列组成。所有io量异常的第二子时间段的接口调用序列包括interface21...interface2i。
81.数据3由每一个硬件资源消耗量异常的第三子时间段的接口调用序列组成。所有第三子时间段的接口调用序列包括interfacen31...interface3i。
82.基于每一个第一子时间段的接口调用序列，确定第一接口调用序列interfacei1。基于每一个第二子时间段的接口调用序列，确定第二接口调用序列interfacei2。基于每一个第三子时间段的接口调用序列，确定第三接口调用序列interfacei3。
83.请参考图5，其示出了监控设备应用的流程示意图。
84.设备应用的监控数据可以包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量、监控时间段内的每一个子时间段的硬件资源消耗量、每一个在监控时间段内被调用的异常代码接口的异常信息。
85.可以基于设备应用的监控数据，分别生成相关预警信息、相关调用概率分布信息、相关接口调用序列。
86.相关预警信息可以包括：输入输出量异常和/或硬件资源消耗量异常的子时间段对应的预警信息、指示异常代码接口的设计存在问题的预警信息。
87.相关调用概率分布信息可以包括：输入输出量异常和/或硬件资源消耗量异常的子时间段对应的第一接口调用概率分布信息、发生过异常接口调用的第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息。
88.相关接口调用序列包括：第一接口调用序列、第二接口调用序列、第三接口调用序列。
89.请参考图6，其示出了向用户提供用于对设备应用的代码进行改进的相关信息的效果示意图。
90.在本申请中，可以对异常代码接口进行监控、子时间段的io量、硬件资源消耗量进行监控，得到相关接口调用序列、相关预警信息。可以输出包括相关接口调用序列、相关预警信息的分析报告，在分析报告中，相关接口调用序列、相关预警信息具有适用于用户查看的格式和展示方式。用户通过分析报告，可以发现设备应用在代码设计上的问题，对设备应用的代码进行改进。
91.对异常代码接口进行监控时报警的条件可以表示为f
code
(n)＝e，f
code
(n)可以表示代码异常(exception)行数，e为常量，不同的异常代码接口调用时产生的异常行数不同，f
code
(n)＝e可以表示对任意一个异常代码接口进行监控。对子时间段的io量进行监控时报警的条件可以表示为f
io
(t,n)≥θ，f
io
(t,n)表示子时间段的io量，θ为第一阈值。对子时间段的硬件资源消耗量进行监控时报警的条件可以表示为f
cpu+mem
(t,r)≥η，f
cpu+mem
(t,r)可以表示子时间段的cpu消耗量、内存消耗量。η表示相关阈值，相关阈值包括：cpu消耗量阈值、内存消耗量阈值。f
cpu+mem
(t,r)≥η可以表示子时间段cpu消耗量大于或等于cpu消耗量阈值并且内存消耗量大于或等于内存消耗量阈值。
92.输出的第一接口调用序列、第二接口调用序列、第三接口调用序列可以构成调用接口序列集合s，定义f为f
code
(n)代码异常、在时间段的io量f
io
(t,n)、子时间段的cpu消耗量和内存消耗量f
cpu+mem
(t,r)的集合，则输出的调用接口序列集合s为f映射到的集合，调用接口序列集合s作为评价结果输出，反馈给用户，帮助用户对设备应用的代码进行改进。
93.请参考图7，其示出了本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构框图。半导体工艺设备包括：获取单元701，资源消耗预警单元702，显示单元703。
94.获取单元701被配置为获取设备应用的监控数据，所述监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；
95.资源消耗预警单元702被配置为对于每一个子时间段，在所述子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和所述子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，预警条件包括以下至少之一：子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，第一接口调用概率分布信息指示每一个在子时间段内被调用的接口在该子时间段内的调用次数占据子时间段对应的接口调用总次数的比例；
96.显示单元703被配置为显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。
97.在一些实施例中，半导体工艺设备还包括：
98.触发单元，被配置为对于每一个预设时间单位，计算预设时间单位对应的平均输入输出量，以及计算预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量，其中，所述预设时间单位包括以下至少之一：秒、分钟、小时、天；当至少一个预设时间单位对应的平均输入输出量大于或等于第一平均阈值时，分别确定每一个子时间段的输入输出量是否大于或等于所述第一阈值；当至少一个预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量大于或等于第二平均阈值时，分别确定每一个子时间段的硬件资源消耗量是否大于或等于所述第二阈值。
99.在一些实施例中，监控数据还包括异常代码接口的异常信息。
100.在一些实施例中，半导体工艺设备还包括：
101.异常代码接口预警单元，被配置为生成异常代码接口对应的预警信息和第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息，其中，在第一子时间段内至少一个异常代码接口被调用，异常代码接口为在被调用时产生了非法数据项的接口，异常信息包括所述异常代码接口的名称以及非法数据项，第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息指示每一个在第一子时间段内被调用的异常代码接口在第一子时间段内的调用次数占据第一子时间段对应的接口调用总次数的比例；
102.显示单元703还被配置为显示异常代码接口对应的预警信息和第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息。
103.在一些实施例中，非法数据项包括：引用为空的非法数据项、超出设计范围的非法数据项。
104.在一些实施例中，半导体工艺设备还包括：
105.调用序列确定单元，被配置为基于每一个第一子时间段的接口调用序列，确定第一接口调用序列，其中，第一接口调用序列中的每一个异常代码接口在每一个第一子时间段内均被调用过；基于每一个第二子时间段的接口调用序列，确定第二接口调用序列，其中，第二子时间段为输入输出量大于或等于所述第一阈值的子时间段，第二接口调用序列中的每一个接口在每一个所述第二子时间段内均被调用过；基于每一个第三子时间段的接口调用序列，确定第三接口调用序列，其中，第三子时间段为硬件资源消耗量大于或等于第二阈值的子时间段，第三接口调用序列中的每一个接口在每一个第三子时间段内均被调用过；
106.显示单元703还被配置为显示第一接口调用序列、第二接口调用序列、第三接口调用序列。
107.在一些实施例中，调用序列确定单元进一步被配置为通过反射追踪的方式获取第一子时间段的接口调用序列、第二子时间段的接口调用序列和第三子时间段的接口调用序列。
108.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的申请后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
109.应当理解的是，本申请并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本申请的范围仅由所附的权利要求来限制。