一种测试数据查询方法、终端、服务器及系统与流程

1.本技术涉及测试数据分析技术领域，具体而言，涉及一种测试数据查询方法、终端、服务器及系统。


背景技术：

2.集成电路测试作为监控工艺生产过程和成品率的重要手段，占据着不可或缺的地位。晶圆作为集成电路中的重要载体，晶圆的电学性能好坏会直接影响集成电路的性能，因此，需要对晶圆进行相应的电学性能测试。
3.目前，在集成电路测试过程中，会对不同的晶圆进行多项电学性能测试。晶圆上的一个器件需要测量多个数据，而如果要对一片晶圆进行全片测试，即需要测试一片晶圆上的所有器件对应的测试数据，会得到成千上万条测试数据。对于一批晶圆进行测试时，测试数据则会有几十万条或者上百万条。一批晶圆的测试数据，均需要及时高效地上传并存储到云端数据库中。云端数据库中包含多份测试文件，一份测试文件中集成了一次晶圆测试的所有测试数据，测试数据包括测试时间、测试位置、测试结果、和不同类型的器件等。
4.然而，现有的云端数据库一般采用关系型数据库，关系型数据库可以将测试数据按照最小关系表的形式进行存储。在测试数据较多的情况下，使用关系型数据库对测试数据进行存储管理时，需要建立多张数据表，多张数据表之间又存在复杂的关系。随着数据表数量的逐步增加，对测试数据的管理会越来越复杂，导致查询任意晶圆上某个器件相关测试数据的效率较低。


技术实现要素：

5.为了解决现有的对测试数据的管理较复杂，导致查询任意晶圆上某个器件相关测试数据的效率较低的问题，本技术提供了一种测试数据查询方法、终端、服务器及系统。
6.本技术的实施例是这样实现的：第一方面，本技术实施例提供一种测试数据查询方法，执行于服务器端，包括：接收测试机台发送的初始测试数据；接收终端发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据；图形数据库的构建步骤，包括：获取初始测试数据；将掩模定义为图形数据库的标签；设置图形数据库的预设节点，并将初始测试数据存储至预设节点的测试节点中；将有关系的预设节点按照预设关系进行连接，得到图形数据库的关系网；
在关系网上标识预设节点的属性，得到图形数据库。
7.在一些实施例中，接收终端发送的查询请求，包括：接收终端发送的第一类查询项；基于第一类查询项，接收对应的第二类查询项，第二类查询项的查询范围小于第一类查询项的查询范围。
8.在一些实施例中，将第一类查询项和图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，包括：提取第一类查询项对应的第一关键字；将第一关键字与图形数据库进行匹配；获得包含多个预设节点的中间匹配结果。
9.在一些实施例中，将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，包括：提取第二类查询项对应的第二关键字；将第二关键字与中间匹配结果进行匹配；获得包含目标器件测试数据的目标查询结果。
10.第二方面，本技术实施例提供一种测试数据查询方法，执行于终端，包括：响应于目标器件测试数据的查询指令；向服务器发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；接收服务器发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果，其中，图形数据库通过服务器根据初始测试数据和预设节点进行构建，预设节点与查询请求相对应；接收服务器发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
11.第三方面，本技术实施例提供一种服务器，包括接收模块和匹配模块；接收模块，用于接收测试机台发送的初始测试数据；接收终端发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；匹配模块，用于将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据；匹配模块，还用于：获取初始测试数据；将掩模定义为图形数据库的标签；设置图形数据库的预设节点，并将初始测试数据存储至预设节点的测试节点中；将有关系的预设节点按照预设关系进行连接，得到图形数据库的关系网；在关系网上标识预设节点的属性，得到图形数据库。
12.第四方面，本技术实施例提供一种终端，响应模块、发送模块和接收模块；响应模块，用于响应于目标器件测试数据的查询指令；
发送模块，用于向服务器发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；接收模块，用于接收服务器发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果，其中，图形数据库通过服务器根据初始测试数据和预设节点进行构建，预设节点与查询请求相对应；接收服务器发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
13.在一些实施例中，终端还包括导出模块、散列图绘制模块和结果展示模块；导出模块，用于将目标器件测试数据按照预设格式进行导出，其中，导出模块包括第一导出子模块和第二导出子模块以及第三导出子模块；第一导出子模块用于将所有目标器件测试数据全部导出为csv格式的文件；第二导出子模块用于将部分目标器件测试数据导出为预设格式的文件，所述预设格式包括csv格式和非csv格式；第三导出子模块用于将查询指令导出为对应的查询配置文件；散列图绘制模块，用于将目标器件测试数据绘制为散列图，所述散列图的坐标轴根据预设变量进行设置；结果展示模块，用于将目标器件测试数据进行展示。
14.第五方面，本技术实施例提供一种测试数据查询系统，包括测试机台、服务器和终端，测试机台与服务器通信连接，服务器与终端通信连接；测试机台，用于对晶圆进行电学性能测试，得到初始测试数据；将初始测试数据发送至服务器；终端，用于响应于目标器件测试数据的查询指令；向服务器发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求用于对目标器件测试数据进行查询，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；接收服务器发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果；接收服务器发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据；服务器，用于接收测试机台发送的初始测试数据；接收终端发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据；服务器，还用于：获取初始测试数据；将掩模定义为图形数据库的标签；设置图形数据库的预设节点，并将初始测试数据存储至预设节点的测试节点中；将有关系的预设节点按照预设关系进行连接，得到图形数据库的关系网；在关系网上标识预设节点的属性，得到图形数据库。
15.本技术的有益效果：通过基于晶圆的初始测试数据构建图形数据库，可实现对晶圆测试数据的高效存储，随着测试数据量的增加，对于测试数据的管理较简单；进一步通过构建与服务器通信的终端，可实现在终端上依次触发相应的查询请求，并从图形数据库中匹配与查询请求对应的查询结果，从而完成对目标器件测试数据的高效查询，查询效率较高；同时还能实现在终端对目标器件测试数据进行展示、导出、绘制散列图等功能，便于直观分析目标器件测试数据是否合格等。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法的流程图；图2为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法中图形数据库构建的流程图；图3为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法中图形数据库结构示意图；图4为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法中步骤101的流程图；图5为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法中步骤102的流程图；图6为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询方法中步骤103的流程图；图7为根据本技术另一个或多个实施例的一种测试数据查询方法的流程图；图8为根据本技术一个或多个实施例的一种服务器中简易图形数据库的结构示意图；图9为根据本技术一个或多个实施例的一种测试数据查询系统的结构框图；图10a为本技术应用例中一种终端的软件界面示意图；图10b为本技术应用例中目标器件测试数据的结果展示示意图；图11为本技术应用例在服务器上的关系图；图示说明：其中，1-测试机台；2-服务器；3-终端。
具体实施方式
18.为使本技术的目的、实施方式和优点更加清楚，下面将结合本技术示例性实施例中的附图，对本技术示例性实施方式进行清楚、完整地描述，显然，所描述的示例性实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.需要说明的是，本技术中对于术语的简要说明，仅是为了方便理解接下来描述的实施方式，而不是意图限定本技术的实施方式。除非另有说明，这些术语应当按照其普通和
通常的含义理解。
20.本技术中说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等是用于区别类似或同类的对象或实体，而不必然意味着限定特定的顺序或先后次序，除非另外注明。应该理解这样使用的用语在适当情况下可以互换。
21.术语“包括”和“具有”、“用于”以及他们的任何变形，意图在于覆盖但不排他的包含，例如，包含了一系列组件的产品或设备不必限于清楚地列出的所有组件，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它组件。
22.术语
ꢀ“
连接”应做广义理解，例如，可以是通信连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
23.目前，先进的集成电路设计和制造能力可以使得芯片具有更多的功能和强大的性能。然而集成电路设计和制造能力，均需要通过集成电路测试进行验证和监控，及时对测试数据进行数据分析并根据分析结果改善集成电路设计，从而避免不必要的损失。
24.关系型数据库是指采用关系模型组织数据的数据库，其以行和列的形式存储数据，便于用户理解，关系型数据库中一系列的行和列被称为表，一组表组成了数据库。关系模型可以简单理解为二维表格模型，而一个关系型数据库就是由二维表及其之间的关系组成的一个数据组织。图形数据库对于图的存储自然是经过特别优化的。图形数据库是一个高性能的nosql图形数据库，它将结构化数据存储在网络上而不是表中，不像传统数据库的一条记录一条数据的存储方式。
25.图形数据库的存储方式是节点的类别、属性，边的类别、属性等都是分开存储的，可以提高图形数据库的性能。在图形数据库中，存储节点时使用“index-free adjacency”，即每个节点都有指向其邻居节点的指针，因此，可以在较短时间内找到邻居节点。
26.图形数据库中边是最重要的，所以需要使用“first-class entities”单独进行存储，有利于在遍历图时提高速度。
27.图形数据库的cql表示cypher查询语言，cypher查询语言是一种声明性模式匹配语言，遵循sql语法。
28.图形数据库主要包括：节点、属性、关系、标签和数据浏览器。
29.节点是图表的基本单位，包含具有键值对的属性。
30.关系是图形数据库的另一个主要构建块，关系连接两个相邻节点。
31.标签是将一个公共名称与一组节点或关系相关联。
32.属性是用于描述图节点和关系的键值对，节点和关系都包含属性，关系连接节点。
33.图形数据库具有如下优点：（1）图形数据库在数据量较大时相较于关系型数据库而言存储速度较快，由于关系型数据库存储需要许多表，并且表之间的联系较多，存储速度较慢。
34.（2）图形数据库的数据更直观。
35.（3）图形数据库在存储数据时只需要考虑节点属性和边属性。关系型数据库不仅需要建立新的表存储，还要考虑和其他表之间的关系。
36.（4）图形数据库的操作速度并不会随着图形数据库的增大有明显的降低。
37.（5）图形数据库可以很便携的映射到图形界面。
38.图1示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询方法的流程图。
39.如图1所示，本技术提供了一种测试数据查询方法，执行于服务器，包括：100，接收测试机台发送的初始测试数据；101，接收终端发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；102，将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；103，将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
40.需要说明的是，步骤100中的初始测试数据包括很多晶圆上每个器件不同电学性能测试项的测试数据，初始测试数据通过测试机台进行获取。
41.采用上述技术方案，可以通过多次查询请求，从图形数据库中匹配到相应的中间查询结果，最终得到目标查询结果，查询效率较高。
42.图2示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询方法中图形数据库构建的流程图。
43.在一些实施例中，如图2所示，步骤102中图形数据库的构建步骤，包括：200，获取初始测试数据；201，将掩模定义为图形数据库的标签；202，设置图形数据库的预设节点，并将初始测试数据存储至预设节点的测试节点中；203，将有关系的预设节点按照预设关系进行连接，得到图形数据库的关系网；204，在关系网上标识预设节点的属性，得到图形数据库。
44.需要说明的是，步骤200中的初始测试数据包括晶圆上每个器件每项电学性能测试数据。初始测试数据通过测试机台对晶圆上每个器件进行多项电学性能测试得到，测试机台将初始测试数据发送至服务器。晶圆可以是一片也可以是多片，本技术对其不做限制。
45.另外，步骤201中的掩模指的是一系列晶圆的统称，即公共名称，例如某一客户公司。掩模既是图形数据库的标签，也属于图形数据库的一个节点，因此掩模与其他预设节点之间也存在相应的预设关系。掩模属于构建图形数据库必不可少的组成部分。
46.需要指出的是，步骤202中的预设节点可以根据晶圆实际测试情况进行设置。但是本技术中预设节点的数量至少包括两个，一个是掩模，另一个是测试节点。
47.还需要说明的是，步骤203中的预设关系在图形数据库中以带箭头的线条表示，即图形数据库的边。预设关系可以根据晶圆实际测试情况进行设定，预设关系可以是一种也可以是多种，本技术对其不做具体限制。
48.图3示出了本技术一实施例中构建的图形数据库结构示意图。
49.在一些实施例中，图3所示的图形数据库的具体构建过程如下：首先，获取初始测试数据，并将掩模定义为图形数据库的标签。
50.其次，设置图形数据库的预设节点，并将初始测试数据存储至预设节点的测试节点中。如图3所示，预设节点包括批号、平铺显示、晶圆、位置、测试内容、测试器件例子、测试项、测试器件、器件组别、运行测试等，其中，测试项即为测试节点。
51.然后，将有关系的预设节点按照预设关系进行连接，得到图形数据库的关系网。如
图3所示，预设关系包括使用、属于、生产、应用等。
52.最后，在关系网上标识预设节点的属性，得到图形数据库。
53.上述技术方案中，如图3所示，测试项使用在测试内容中，属于运行测试，应用在测试器件例子。即测试项与测试内容的预设关系是使用，与运行测试的预设关系是属于，与测试器件例子的预设关系是应用。测试器件例子属于位置，与测试器件之间的预设关系是生产关系。即测试器件例子与位置的预设关系是属于。测试器件属于平铺显示和器件组别。即测试器件与平铺显示和器件组别之间的预设关系均是属于。位置属于晶圆，晶圆属于批号，批号和掩模之间预设关系是生产。
54.需要特别说明的是，图3所示的图形数据库中标签和预设节点均用方框表示，预设节点之间的预设关系以带箭头的线表示，属性即为具体的某一种预设关系，标识在带箭头的线上方。
55.还需要指出的是，如图3所示，掩模包括名字和下线时间。平铺显示包括名字。批号包括名字。晶圆包括名字、开始日期、结束日期、开始步骤和结束步骤。位置包括一片晶圆上所有芯片的坐标编号，例如：coord（即坐标编号）=(-2,2)表示一片晶圆上坐标编号为(-2,2)处的芯片。测试内容包括测试数目和接口。测试项包括开始时间、结束时间、漏电流、漏电流_失败、电阻以及电阻_失败。运行测试包括开始时间、结束时间和温度。测试器件例子包括标识。测试器件包括名字、要求步骤、接口和接脚。器件组别包括名字和描述。
56.但是上述各个预设节点下属的具体事项数量均可根据实际测试情况进行更改，预设节点也可根据实际测试情况进行更改，本技术对其不做具体限制。图3所示的图形数据库仅为本技术图形数据库的一种，本领域技术人员还可根据本技术的技术方案结合晶圆实际测试情况构建其他图形数据库，在不付出任何创造性劳动的前提下，基于本技术的技术方案原理构建的图形数据库均属于本技术的保护范围。
57.图4示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询方法中步骤101的流程图。
58.在一些实施例中，如图4所示，步骤101，接收终端发送的查询请求，包括：1010，接收终端发送的第一类查询项；1011，基于第一类查询项，接收对应的第二类查询项，第二类查询项的查询范围小于第一类查询项的查询范围。
59.在一些实施例中，查询请求还可包括第三类查询项，第三类查询项的查询范围小于第二类查询项的查询范围。
60.需要特别说明的是，第一类查询项和第二类查询项均可以包括多个具体查询项，每个具体的第一类查询项都包含所有的第二类查询项。
61.此外，不是所有的第二类查询项均包括对应的第三类查询项，需要根据不同的第二类查询项的具体情况进行判断，其是否仍有第三类查询项。
62.同理，查询请求还可以包括第四类查询项，第四类查询项的查询范围小于第三类查询项的查询范围。查询请求中的查询项可以设置为多类，直至最小查询范围的一类查询项可以查询到目标器件测试数据为止。本技术对查询请求中查询项类别多少不做限制，本领域技术人员可以根据实际情况具体设置，但是在本技术技术方案基础上仅增加查询项类别数量的方案也属于本技术的保护范围。
63.图5示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询方法中步骤102的流程图。
64.在一些实施例中，如图5所示，步骤102，将第一类查询项和图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，包括：1020，提取第一类查询项对应的第一关键字；1021，将第一关键字与图形数据库进行匹配；1022，获得包含多个预设节点的中间匹配结果。
65.图6示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询方法中步骤103的流程图。
66.在一些实施例中，如图6所示，步骤103，将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，包括：1030，提取第二类查询项对应的第二关键字；1031，将第二关键字与中间匹配结果进行匹配；1032，获得包含目标器件测试数据的目标查询结果。
67.图7示例性示出了本技术另一实施例的一种测试数据查询方法的流程图。
68.如图7所示，本技术还提供了一种测试数据查询方法，执行于终端，包括：300，响应于目标器件测试数据的查询指令；301，向服务器发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；302，接收服务器发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果；303，接收服务器发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
69.在另一些实施例中，如图7所示，本技术的一种测试数据查询方法，执行于终端，还包括：304，将目标器件测试数据按照预设格式进行导出。
70.在另一些实施例中，如图7所示，本技术的一种测试数据查询方法，执行于终端，还包括：305，将目标器件测试数据绘制为散列图。
71.在另一些实施例中，如图7所示，本技术的一种测试数据查询方法，执行于终端，还包括：306，将目标器件测试数据进行展示。
72.在另一些实施例中，本技术还提供了一种服务器，包括接收模块和匹配模块；接收模块，用于：接收测试机台发送的初始测试数据；接收终端发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；匹配模块，用于：将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
73.图8示出了本技术一实施例的一种服务器中简易图形数据库的结构示意图。
74.在一些实施例中，如图8所示，为包括两个预设节点的图形数据库，一个预设节点
是maskset（掩模），另一个预设节点是tile（平铺显示），两个预设节点之间的预设关系是tile属于（图8中的part_of）maskset，关系采用带箭头的直线从tile指向maskset进行标记。
75.图8中的结构连接关系通过如下程序代码进行实现：class maskset(structurednode, audittrailmixin):
ꢀꢀꢀꢀ
# properties
ꢀꢀꢀꢀ
name = stringproperty(unique_index=true, required=true)
ꢀꢀꢀꢀ
tapeout_date = datetimeproperty()
ꢀꢀꢀꢀ
# relationships
ꢀꢀꢀꢀ
runs = relationshipfrom('lot', 'produced_with')
ꢀꢀꢀꢀ
tiles = relationshipfrom('tile', 'part_of')
ꢀꢀꢀꢀ
does = relationshipfrom('doeseries', 'part_of')class lot(structurednode, audittrailmixin):
ꢀꢀꢀꢀ
# properties
ꢀꢀꢀꢀ
name = stringproperty(unique_index=true, required=true)
ꢀꢀꢀꢀ
# relationships
ꢀꢀꢀꢀ
maskset = relationshipto(maskset, 'produced_with')
ꢀꢀꢀꢀ
wafers = relationshipfrom('wafer', 'part_of')。
76.需要说明的是，图8中简易图形数据库仅作为示例进行参考说明图形数据库的构建，上述代码也仅是对应与实现图8中简易图形数据库的结构关系的程序代码。本领域技术人员可根据实际测试情况需要按照上述图形数据库的构建方案完成实际中图形数据库的构建，本技术对其不作具体限制。
77.在另一些实施例中，本技术还提供了一种终端，包括响应模块、发送模块和接收模块；响应模块，用于：响应于目标器件测试数据的查询指令；发送模块，用于：向服务器发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；接收模块，用于：接收服务器发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果；接收服务器发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
78.在另一些实施例中，本技术的一种终端，还包括导出模块，导出模块，用于：将目标器件测试数据按照预设格式进行导出。
79.在另一些实施例中，导出模块包括第一导出子模块和第二导出子模块以及第三导出子模块，其中，第一导出子模块用于将所有目标器件测试数据全部导出为csv格式的文件；
第二导出子模块用于将部分目标器件测试数据导出为预设格式的文件；第三导出子模块用于将查询指令导出为对应的查询配置文件。
80.需要说明的是，上述方案中的预设格式包括bsp格式、json格式、csv格式等，本领域技术人员可根据需要导出对应预设格式的文件，本技术对其不做具体限制。查询配置文件可以在终端下一次响应于相同的查询指令时直接导入，提高查询效率。
81.在另一些实施例中，本技术的一种终端，还包括散列图绘制模块，散列图绘制模块，用于：获取多个目标器件测试数据；选取第一预设变量作为坐标轴的x轴；选取第二预设变量作为坐标轴的y轴；在x-y坐标系中，根据多个目标器件测试数据，绘制散列图。
82.需要特别说明的是，上述方案中第一预设变量和第二预设变量均属于不同的预设变量，且均可根据实际需要进行选择。根据选择的第一预设变量和第二预设变量绘制x-y坐标系，绘制散列图，以便直观从散列图中观察出目标器件测试数据的参数是否达标。例如采用位置作为第一预设变量，电学特性中的电压作为第二预设变量，绘制x-y坐标系，可以从散列图中直观判断目标器件测试数据中的电压参数是否达标。上述第一预设变量和第二预设变量具体是哪一项参数均可根据实际测试情况选择，本技术对其不做具体限制。
83.在另一些实施例中，本技术的一种终端，还包括结果展示模块，结果展示模块用于：将目标器件测试数据进行展示。
84.需要特别说明的是，结果展示模块中展示的目标器件测试数据的数量可以进行具体设置选择某些目标器件测试数据，也可以展示所有的目标器件测试数据，可根据实际情况选择，本技术对其不作具体限制。
85.图9示例性示出了本技术一实施例的一种测试数据查询系统的结构框图。
86.如图9所示，本技术还提供了一种测试数据查询系统，包括：测试机台1、服务器2和终端3，测试机台1与服务器2通信连接，服务器2与终端3通信连接；测试机台1，用于：对晶圆进行电学性能测试，得到初始测试数据；将初始测试数据发送至服务器2；终端3，用于：响应于目标器件测试数据的查询指令；向服务器2发送与查询指令相对应的查询请求，其中，查询请求用于对目标器件测试数据进行查询，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；接收服务器2发送的基于第一类查询项和图形数据库匹配后的中间匹配结果；接收服务器2发送的基于第二类查询项和中间匹配结果匹配后的目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据；服务器2，用于：接收测试机台1发送的初始测试数据；接收终端3发送的查询请求，其中，查询请求包括第一类查询项和第二类查询项；
将第一类查询项与图形数据库进行匹配，得到中间匹配结果，其中，图形数据库根据初始测试数据和预设节点进行构建，查询请求与预设节点相对应；将第二类查询项与中间匹配结果进行匹配，得到目标查询结果，其中，目标查询结果包括目标器件测试数据。
87.需要说明的是，本技术的一种服务器、一种终端和一种测试数据查询系统中图形数据库的构建步骤均与一种测试数据查询方法中一致，均通过服务器2进行构建，具体步骤如图2所示，此处不再赘述。
88.应用例图10a示例性示出了本技术应用例中一种终端的软件界面示意图。
89.图10b示例性示出了本技术应用例中目标器件测试数据的结果展示示意图。
90.如图10a所示，图10a中maskset表示图形数据库的标签，即掩模。maskset后面的cumec-tqv1表示某一客户系列晶圆的公共名称。图10a中的lot表示不同批次的晶圆产品，不同产品对应不同的批次名称。lot后面的a1e219表示晶圆的生产批号。wafer表示一个批次产品中的多片晶圆，每一个晶圆上均有一个片号，用于区分不同晶圆。wafer后面的6表示片号为6的晶圆。die表示一片晶圆上多个相同的chip芯片，每个chip芯片均使用坐标编号区分其在晶圆上的不同位置。die后面的坐标编号（0,0）表示位置在（0,0）处的chip芯片。tile表示平铺显示，器件在chip中位置名称。doeseries表示器件类型总称，例如电阻等。dut（device under test）表示被测器件，例如阻值为5欧姆的电阻。如果需要筛选2021年12月1号到2021年12月3号器件dc_nr12_base这一系列晶圆的测试数据，首先需要选择该系列器件的掩模（masket），然后选定批次（lot），即a1e219，晶圆（wafer）即#6，测试的位置（die），即（0,0）接着通过addcondition选定datalog，即测试时间，最后选择doeseries为dc_nr12_base便可筛选出目标查询结果，如图10b所示。
91.需要说明的是，图10a中的左侧栏中均属于查询请求中的第一类查询项，例如maskset和与其并列的其他具体查询项等。右侧栏中dut和与dut并列的其他具体查询项均属于查询请求中的第二类查询项。并且图10a中终端的软件显示界面上显示的第一类查询项和第二类查询项均与服务器中构成图形数据库的每个预设节点相对应，从而可以确保在终端直接向服务器获取到某一个第一类查询项下的某个第二类查询项下，再到该第二类查询项下某个第三类查询项的目标器件测试数据。图10a中仅列出了三次查询请求，但是还可根据实际情况进行增加或减少。
92.还需要指出的是， 终端的第一导出子模块显示为export bsp（图10b中未示出），用于将结果展示模块显示的目标器件测试数据进行导出为需要的文件。结果展示模块即为显示目标器件测试数据的区域。第二导出子模块、第三导出子模块以及散列图绘制模块等均需要通过触发其他模块完成，此处不再赘述。第二导出子模块、第三导出子模块以及散列图绘制模块等均未在图10b中显示，但是其设置位置可由本领域技术人员自行决定，本技术对其不做具体限制。
93.另外，图10a和图10b并没有显示图形数据库的所有预设节点，其他预设节点可根据与现有的预设节点的关系，对其进行触发得到，例如触发图10a中的tile，可得到add condition等，此处不再赘述。图10a中与本方案有关的英文字符均在上文进行了解释，未解释的字符均为本领域技术人员根据公知常识可得到的，也不会影响本技术技术方案的实质
内容，因此，未解释的字符不会造成本技术的技术方案不清楚。
94.本技术应用例在终端上的程序代码如下：match (doeseries:doeseries) 《-[part_of]
‑ꢀ
(dut:dut) where doeseries.name in [-1,'dc_nr12_base'] with doeseries,dut match (tile:tile) 《-[:part_of]
‑ꢀ
(dut) 《-[:produced_with]
‑ꢀ
(dutinstance:dutinstance)
ꢀ‑
[:created_in]-》 (session:session) with doeseries,dut, tile, dutinstance, session match (dutinstance)
ꢀ‑
[:part_of]-》 (die:die)
ꢀ‑
[:part_of]-》 (wafer:wafer)
ꢀ‑
[:part_of]-》 (lot:lot)
ꢀ‑
[:produced_with]-》 (maskset:maskset) where maskset.name in [-1,'cumec-tqv1'] and wafer.name in [-1,'6'] and lot.name in [-1,'a1e219'] and id(die) in [-1,8107] and session.datalog in [-1,'20220308172759'] with doeseries,dut,dutinstance,die,wafer,tile,lot,session match (testprogram:testprogram)
ꢀ‑
[applied_to]-》 (dutinstance) return tile, dut, testprogram, dutinstance, die, wafer,doeseries,lot,session order by dutinstance.starttime desc limit 1。
[0095]
图11为本技术应用例在服务器上的关系图。
[0096]
上部分代码是在终端中实现过程的程序代码，在服务器中的关系图如图11所示。需要说明的是，图形数据库构建完成之后，即可得到图11的关系图，然后在终端进行查询时，图11的关系图被映射为图10b所示的结果展示示意图，即图11中每个预设节点对应图10a中第一类查询项、第二类查询项后面的具体查询内容，例如图11中a1e219这个预设节点即为图10a中的晶圆生产批号lot，其他预设节点同理，此处不再赘述。图11中未详细描述的预设节点可以根据上文中图10a的描述得到，也可结合本领域技术人员所公知的预设节点命名得到，因此，未说明的部分不会造成本技术的方案不清楚。
[0097]
本技术的有益效果：通过基于晶圆的初始测试数据构建图形数据库，可实现对晶圆测试数据的高效存储，随着测试数据量的增加，对于测试数据的管理较简单；进一步通过构建与服务器通信的终端，可实现在终端上依次触发相应的查询请求，并从图形数据库中匹配与查询请求对应的查询结果，从而完成对目标器件测试数据的高效查询，查询效率较高；同时还能实现在终端对目标器件测试数据进行展示、导出、绘制散列图等功能，便于直观分析目标器件测试数据是否合格等。
[0098]
为了方便解释，已经结合具体的实施方式进行了上述说明。但是，上述在一些实施例中讨论不是意图穷尽或者将实施方式限定到上述公开的具体形式。根据上述的教导，可以得到多种修改和变形。上述实施方式的选择和描述是为了更好的解释原理以及实际的应用，从而使得本领域技术人员更好的使用实施方式以及适于具体使用考虑的各种不同的变形的实施方式。