机台预防保养检测方法、装置、设备及介质与流程

1.本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种机台预防保养检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质。


背景技术：

2.在集合电路和半导体技术领域，所谓pm是预防保养(preventive maintenance)的英文首字母的略语。
3.在相关技术中，机台需要执行pm时会有告警信息通知相关人员，待相关人员进行pm时，手动操作机台进行数据重置，在数据重置后，机台便不会继续发送需要pm的告警信息给相关人员。
4.但是因为数据重置的操作和执行pm的操作是独立的。例如，作业顺序可以先执行pm，再重置数据；也可以先重置数据，再执行pm。即会出现当人员误操作重置数据后，而机台未执行实际pm动作，从而导致原物料、零件(parts)等未及时更换，在此状况下继续生产(run货，即跑货)产品，会影响产品的合格率。
5.需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。


技术实现要素：

6.本公开提供一种机台预防保养检测方法、装置、设备及介质，至少在一定程度上克服相关技术中漏做pm而导致的产品合格率低的问题。
7.本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
8.根据本公开的一个方面，提供一种机台预防保养检测方法，所述方法包括：
9.获取机台运行数据；
10.根据所述机台运行数据确定机台当前已重置；
11.获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息；
12.根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
13.在本公开的一个实施例中，根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养，包括：
14.确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；
15.根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；
16.若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；
17.若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执
行所述当前机台预防保养。
18.在本公开的一个实施例中，确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
19.确定所述当前机台预防保养的当前类型；
20.根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
21.在本公开的一个实施例中，所述机台运行数据包括当前批次机台运行数据；
22.其中，确定所述当前机台预防保养的当前类型，包括：
23.根据所述当前批次机台运行数据确定所述当前类型。
24.在本公开的一个实施例中，根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
25.获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据；
26.根据所述机台的所述当前类型和所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
27.在本公开的一个实施例中，获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，包括：
28.获取所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据；
29.根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
30.在本公开的一个实施例中，根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，包括：
31.根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定在所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料；
32.将所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料作为所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
33.在本公开的一个实施例中，确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
34.获取所述机台的当前机台预防保养执行时间；
35.判断所述机台的当前机台预防保养执行时间是否符合当前机台预防保养执行规格；
36.若符合所述当前机台预防保养执行规格，则获得所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据。
37.根据本公开的另一个方面，提供一种机台预防保养检测装置，所述装置包括：
38.获取单元，用于获取机台运行数据；
39.确定单元，用于根据所述机台运行数据确定机台当前已重置；
40.所述获取单元，还用于获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息；
41.所述确定单元，还用于根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
42.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
43.确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；
44.根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；
45.若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；
46.若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执行所述当前机台预防保养。
47.在本公开的一个实施例中，机台预防保养检测装置还包括：
48.锁定单元，用于若判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养，则触发第一锁定信号以锁定所述机台。
49.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
50.确定所述当前机台预防保养的当前类型；
51.根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
52.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
53.根据所述当前批次机台运行数据确定所述当前类型。
54.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
55.获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据；
56.根据所述机台的所述当前类型和所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
57.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
58.获取所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据；
59.根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
60.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
61.根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定在所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料；
62.将所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料作为所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
63.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
64.获取所述机台的当前机台预防保养执行时间；
65.判断所述机台的当前机台预防保养执行时间是否符合当前机台预防保养执行规格；
66.若符合所述当前机台预防保养执行规格，则获得所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据。
67.在本公开的一个实施例中，所述锁定单元，还用于：
68.若不符合所述当前机台预防保养执行规格，则发送第二锁定信号以锁定所述机台。
69.在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
70.若所述当前批次机台运行数据的数据量小于所述前一批次机台运行数据的数据
量，则确定所述机台当前已重置。
71.根据本公开的再一个方面，提供一种计算机设备，包括处理器、存储器、输入输出接口；所述处理器分别与所述存储器和所述输入输出接口相连，其中，所述输入输出接口用于接收数据及输出数据，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于调用所述计算机程序，以使得所述计算机设备执行本公开任一实施例中的机台预防保养检测方法。
72.根据本公开的又一个方面，提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序适于由处理器加载并执行，以使得具有所述处理器的计算机设备执行本公开任一实施例中的机台预防保养检测方法。
73.根据本公开的又一个方面，提供一种计算机程序产品，该计算机程序被处理器执行时实现本公开任一实施例中的机台预防保养检测方法。
74.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
75.通过上述方式，获取机台运行数据，若根据机台运行数据确定机台当前已重置，则获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息来确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。即通过在判定机台当前已重置的情况下，可以根据该机台的当前机台预防保养物料领用信息确的得出机台是否已实际执行pm，从而可以在确定该机台未实际执行pm时，阻止该几天继续跑货，提高产品良率。
附图说明
76.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
77.图1示出本公开实施例中一种机台预防保养检测系统的结构示意图；
78.图2示出本公开实施例中一种机台预防保养检测方法的流程示意图；
79.图3示出本公开实施例中另一种机台预防保养检测方法的流程示意图；
80.图4示出本公开实施例中另一种机台预防保养检测装置的结构示意图；
81.图5示出本公开实施例中一种计算机设备的结构示意图；
82.图6示出本公开实施例中一种计算机可读存储介质示意图。
具体实施方式
83.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。
84.此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处
理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
85.附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的步骤。例如，有的步骤还可以分解，而有的步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
86.相关技术中，由于执行pm的过程和进行数据重置的过程是相互独立的，可能存在机台数据重置之后，但是没有实际执行pm，机台在没有执行pm作业的前提下，重置机台数据并继续进行跑货，会导致机台run货异常，从而影响产品品质，使得生产的产品合格率下降，影响生产。
87.基于此种考虑，本公开实施例通过获取机台运行数据，当根据机台运行数据确定机台当前已重置时，获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。即通过在判定机台当前已重置的情况下，可以根据该机台的当前机台预防保养物料领用信息确的得出机台是否已实际执行pm，从而可以在确定该机台未实际执行pm时，阻止该几天继续跑货，提高产品良率。
88.为了便于整体理解本公开实施例提供的技术方案，接下来先对本公开实施例提供的机台预防保养检测系统进行说明。
89.图1示出了本公开实施例提供的一种机台预防保养检测系统的系统架构图。如图1所示，机台预防保养检测系统100可以包括机台101、故障检测与分类模块102和计算机设备103。
90.其中，机台101用于生产产品。机台101可以为任意一种半导体制造设备。例如，机台101可以为蚀刻机台。
91.故障检测与分类模块102可以为故障检测与分类系统(fault detection classification，fdc)，故障检测与分类模块102可以用于上报机台101的机台运行数据给计算机设备103。
92.计算机设备103用于获取故障检测与分类模块102上报的机台运行数据，并执行本公开中的机台预防保养检测方法。
93.其中，本公开实施例中的计算机设备103包括但不限于终端设备或服务器。换句话说，计算机设备103可以是服务器或终端设备，也可以是服务器和终端设备组成的系统。其中，以上所提及的终端设备可以是一种电子设备，包括但不限于手机、平板电脑、台式电脑、笔记本电脑、掌上电脑、车载设备、增强现实/虚拟现实(augmented reality/virtual reality，ar/vr)设备、头盔显示器、智能电视、可穿戴设备、智能音箱、数码相机、摄像头及其他具备网络接入能力的移动互联网设备(mobile internet device，mid)，或者火车、轮船、飞行等场景下的终端设备等。其中，以上所提及的服务器可以是独立的物理服务器，也可以是多个物理服务器构成的服务器集群或者分布式系统，还可以是提供云服务、云数据库、云计算、云函数、云存储、网络服务、云通信、中间件服务、域名服务、安全服务、车路协同、内容分发网络(content delivery network，cdn)、以及大数据和人工智能平台等基础云计算服务的云服务器。
94.下述结合具体地的实施例对本公开中的机台预防保养检测方法进行解释说明，本公开的机台预防保养检测方法可以由一计算机设备来实现，也就是说，该计算机设备可以
执行本公开的机台预防保养检测方法中的各个步骤，在这种情况下，机台预防保养检测装置可以包含于该计算机设备中。
95.图2示出本公开实施例中一种机台预防保养检测方法的流程示意图；如图2所示，本公开中的机台预防保养检测方法包括如下步骤：
96.s202：获取机台运行数据。
97.在一种可能的实施例中，本公开中的机台可以为半导体制造设备，在机台运行时，获取机台运行数据，便于监测机台的运行情况。
98.示例性地，获取到的机台运行数据可以通过fdc上报，但本公开并不限定于此。fdc可以周期性的上报机台运行数据，也可以通过事件触发的方式进行机台运行数据的上报，例如每检测到生产完一批次的产品，或检测到产品生产过程中的故障，则自动触发机台运行数据的上报。其中，上报机台运行数据的周期可以进行预设，每隔第一预设时间段，则收集一次fdc上报的机台运行数据。例如，每十分钟收集一次fdc上报的机台运行数据，但本公开并不限定于此，这里的十分钟仅用于举例说明。
99.其中，机台运行数据是指机台在生产产品的运行过程中收集到的任意数据。例如，可以包括产品数量数据、耗材消耗数据、运行时间等中的任意一种或者多种。机台运行数据可以包括当前批次机台运行数据和前一批次机台运行数据。当前批次机台运行数据是指在当前批次的产品生产过程中收集到的相关数据。前一批次机台运行数据是指在该当前批次的前一批次的产品生产过程中收集到的相关数据。本公开中机台生产的产品可以为晶圆等半导体产品。
100.其中，产品数量数据中具体可以包括晶圆数量数据(wafer count)；耗材消耗数据具体可以包括电量消耗数据，单位为千瓦时(kwh)；膜厚消耗数据等中的任意一种或者多种。运行时间即为机台运行时间。
101.需要说明的是，当前批次机台运行数据表示距离当前时间最近且已经生产了一批产品的批次(即当前批次)对应的机台运行数据。前一批次机台运行数据是指在该当前批次之前、且与该当前批次相邻的一个批次对应的机台运行数据。
102.s204：根据机台运行数据确定机台当前已重置。
103.在一种可能的实施例中，通过机台运行数据中当前批次机台运行数据的数据量和前一批次机台运行数据的数据量进行对比，可以确定机台当前是否已重置。例如通过判断fdc上报的当前批次机台运行数据是否是机台当前进行了重置之后再运行时fdc上报的机台运行数据。
104.示例性地，当fdc上报的当前批次机台运行数据的数据量小于前一批次机台运行数据的数据量时，则可以确定机台当前已重置。在确定机台当前已重置之后，可以执行后续步骤来判断该机台当前已重置时的状态是否合理，过程是否符合标准等。
105.当判断若因重置状态不合理时，可以直接锁定机台并通知相关工作人员处理；当判断若因不合规pm作业时，一样可以锁定机台并通知相关工作人员处理。
106.进一步地，若fdc上报的当前批次机台运行数据的数据量大于或者等于前一批次机台运行数据的数据量时，则可以确定机台当前没有重置。机台若没有进行重置，则无需再判断该机台是否实际执行了pm。
107.s206：获取机台的当前机台预防保养物料领用信息。
108.在一种可能的实施例中，针对任意一台机台，在需要执行pm时，机台均需要领用执行pm的物料，领用执行pm的物料时会在机台预防保养物料领用记录中留下物料的领用信息，该领用信息可称之为机台预防保养物料领用信息。因此，若该机台在当前已重置的情况下，实际执行了pm，则可以从机台的机台预防保养物料领用记录中，获取到机台对应的当前机台预防保养物料领用信息。
109.若没有获取到机台的当前机台预防保养物料领用信息，则说明机台没有执行pm的物料的领用记录，则没有实际执行pm过程，此时可以判定机台在当前重置时未执行机台的当前预防保养，则可以触发第一锁定信号以锁定机台。锁定机台时可以通知工作人员，防止机台继续进行跑货，生产不合格的产品。
110.若获取到机台的当前机台预防保养物料领用信息，则继续执行步骤s208。
111.s208：根据当前机台预防保养物料领用信息，确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
112.在一种可能的实施例中，当前机台预防保养物料领用信息可以通过机台的物料领用申请单获取，物料领用申请单表示的是机台在执行pm前，需要申请领用执行pm时需要用到的物料，即需要开立物料领用申请单，所以，从物料领用申请单中可获取到机台预防保养物料领用信息。想获取当前机台预防保养物料领用信息，可以通过当前批次对应的物料领用申请单中获取。
113.可以通过如下方式判断机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养：确定机台的当前机台预防保养必领用物料数据，根据当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料，若未领用当前机台预防保养必领用物料，则判定机台在当前重置时未执行当前机台预防保养，若已领用当前机台预防保养必领用物料，则判定机台在当前重置时已执行当前机台预防保养。
114.进一步地，判定机台是否在当前重置时已执行当前机台预防保养，首先需要先确定出机台当前机台预防保养必领用物料数据包括哪些数据，具体方式如下：确定当前机台预防保养的当前类型，根据机台以及当前类型确定当前机台预防保养必领用物料数据。
115.在示例性实施例中，确定当前机台预防保养的当前类型的方式具体如下：根据当前批次机台运行数据确定当前类型。
116.示例性地，每台机台在执行pm的pm类型不同，领用的机台预防保养必领用物料数据也可以是不同的。通过当前批次机台运行数据即可确定出当前类型，通过当前类型，即可确定出当前机台预防保养必领用物料数据。
117.其中，通过机台在生产产品的过程中，查看其消耗了多少耗材，看机器运行了多少时间。耗材可以为机台生产产品时消耗的电量，机台生产产品消耗了多少靶材或化学品等中的任意一种或者多种。
118.例如，通过确定机台在当前批次生产了多少片产品，确定机台在当前批次消耗了多少电量、确定机台在当前批次消耗了多少膜厚等，来确定对应的是哪一种pm类型，上述数据中的每种单位都对应一种pm类型。所以，pm类型可以通过机台运行数据中的当前批次机台运行数据来进行确定。
119.上述数据中的每种单位都对应一种pm类型可以理解为：根据上述数据中的数据类型以及满足到一定的规格条件，都可以确定出一种pm类型。
120.由于机台在工作的状态下，生产出的产品数量不同，或者消耗的电量不同，其需要进行的预防保养也是不同的。例如，若当前批次生产了5000件产品，可能需要执行的pm的类型为a类型。若当前批次生产了10000件产品，可能需要执行的pm的类型为b类型。或者，若当前批次消耗的电量为50kwh，可能需要执行的pm的类型为c类型，若当前批次消耗的电量为1000kwh，可能需要执行的pm的类型为d类型。
121.根据不同的pm类型，其对应的机台预防保养必领用物料数据可以是不同的，也可以是部分相同的。例如，若当前类型为第一pm类型，其对应的当前机台预防保养必领用物料数据可以是a、b和c；若当前类型为第二pm类型，其对应的当前机台预防保养必领用物料数据是可以a、d和e。
122.确定机台在执行当前机台预防保养的当前类型之后，即可以根据当前机台预防保养的当前类型去确定机台的当前机台预防保养必领用物料数据。
123.示例性地，获得机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，根据机台的当前类型和机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，确定当前机台预防保养必领用物料数据。
124.具体地，在本公开实施例提供的机台预防保养检测方法中，可以通过自动收集的fdc上报的机台运行数据、数据处理中的系统、应用和产品(system applications products in data processing，sap)物料领用信息，构建数据库。通过构建数据库的方式整合fdc上报的机台运行数据和机台领用物料的历史数据进行分析，准确的得出每种pm类型所对应的机台预防保养必领用物料数据。
125.构建数据库的具体方式可以如下：获取机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，根据机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定机台的机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
126.示例性地，通过第一预设时间段，每隔第一预设时间段，则收集一次fdc上报的机台运行数据，以此为历史数据记录并保存，并且，收集第二预设时间段内，所有机台执行pm时的历史机台预防保养领用物料数据。例如，收集过去两年内的所有机台pm时的历史机台预防保养领用物料数据，通过将fdc上报的机台运行数据和历史机台预防保养领用物料数据进行保存，构建数据库。
127.构建完成数据库之后，分析每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据时，可以对所有机台执行pm时的历史机台预防保养领用物料数据进行统计分析处理即可。具体过程如下：根据机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定在机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料，将机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料作为机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
128.通过上述方式，根据机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，以大数据分析的方式，确定出机台在历史机台预防保养的过程中，每次都存在的预防保养领用物料，即为机台的机台预防保养必领用物料数据，提高可信度，确保通过机台预防保养必领用物料数据判断机台是否执行当前机台预防保养时的准确性。
129.示例性地，在某个机台需要执行pm时，需要的机台预防保养物料需开立物料申请领用单提前申请领用，汇总sap两年内的历史机台预防保养领用物料数据，利用统计学分析
方法，判断某个机台执行pm时，若某种物料领用率在100％，即某个机台执行pm时，每次都有领用的物料信息，即为此机台的机台预防保养必领用物料。
130.其中，物料申请领用单中的物料领用信息可以包括：领用单号、料号、申领时间、发料时间、机台等信息。
131.以物料领用信息中的料号为例，若某个机台在历史机台预防保养领用物料数据中，每次执行pm时，每次物料领用均存在的同一个料号，则该料号即为该机台pm必领用物料的料号。在后续判断中，通过此方式即可确定机台预防保养必领用物料数据。
132.通过上述方式，可以确定出机台执行不同pm类型时的对应的机台预防保养必领用物料数据，则通过判定过程中的当前机台预防保养的当前类型，能够得出当前机台预防保养必领用物料数据。
133.得出当前机台预防保养必领用物料数据之后，根据当前机台预防保养物料领用信息中的数据与当前机台预防保养必领用物料数据进行对比，若当前机台预防保养物料领用信息中已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料，则可以判定机台在当前重置时已执行当前机台预防保养，结束流程。
134.若判定机台在当前重置时未执行当前机台预防保养，则触发第一锁定信号以锁定机台，并发出告警信息通知相关工作人员。
135.进一步地，除通过上述是否获取到当前机台预防保养必领用物料数据直接判断，机台是否已经执行pm以外，还可以通过下述方式进行判断，具体包括：通过机台的当前机台预防保养执行时间，判断机台的当前机台预防保养执行时间是否符合当前机台预防保养执行规格，来判断机台重置时的状态是否合理。
136.在一些实施例中，可以预先设置当前机台预防保养执行规格(specification，spec)。即只要机台是明确的，则机台对应的当前机台预防保养执行规格就是预先设定好的，一个机台中的全部pm类型对应的当前机台预防保养执行规格相同。
137.在另一些实施例中，机台的当前机台预防保养执行时间和当前机台预防保养执行规格，均与当前机台预防保养的当前类型存在关联关系。
138.基于执行pm的预防保养类型不同，其预防保养执行时间也不同，通过上述内容已经可以判断机台对应的当前批次机台运行数据的当前类型，可以直接得到当前机台预防保养执行时间和当前机台预防保养执行规格。
139.示例性地，若当前机台预防保养执行时间不符合当前机台预防保养执行规格，则可以直接发送第二锁定信号以锁定机台。若当前机台预防保养执行时间符合当前机台预防保养执行规格，再判断机台是否已经领用当前机台预防保养必领用物料。
140.需要说明的是，当前机台预防保养执行规格表示机台执行pm作业的时间标准。机台在执行pm时，按照作业步骤是有一个标准时间的。
141.若出现当前机台预防保养执行时间小于当前机台预防保养执行规格的情况，则说明当前机台预防保养执行时间不符合当前机台预防保养执行规格。说明机台执行pm的步骤有遗漏或者只是切换了状态实际可能没有执行pm，无论哪种情况，均可能导致后续出货异常，降低产品良率。所以，需要锁定机台，不让机台继续跑货。
142.通过上述方式，不仅通过机台的当前机台预防保养物料领用信息，以及机台的当前机台预防保养必领用物料数据，还通过机台的当前机台预防保养执行时间，通过多个角
度分析机台执行pm时可能存在不合规的因素，完全阻断因机台执行pm不合规，导致生产异常的风险，杜绝因执行pm不合规而继续进行后续跑货而存在的产品不合格的问题。
143.本公开一些实施例所提供的机台预防保养检测方法，获取机台运行数据，根据机台运行数据确定机台当前已重置，获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。通过判断机台运行数据的重置情况，再根据物料领用的情况确定出执行pm的情况。可以准确的得出当前机台是否异常，若机台执行pm异常，则阻止后续继续跑货，降低不必要的损失，进而提高产品良率。
144.在一种可能的实施方式中，本公开中针对任意一个机台，一般确定机台需要执行pm的方式是通过机台发出的报警讯息，在报警讯息结束之后，判断机台是否按照正常流程，执行pm，并将机台运行数据进行了重置，若都满足情况，则机台符合正常的工作流程，可以继续跑货。
145.除上述根据告警信息判断机台需要执行pm以外，还可以包括下述两种方式：
146.(1)通过估算机台物料使用剩余天数。
147.(2)侦测机台的计划pm(schedule pm)。
148.其中，计划pm包括机台每周执行pm、机台每月执行pm等，需要定时执行的pm。
149.通过上述两种方式也可以获取到机台需要执行pm的时间。
150.图3示出了另一种详细的机台预防保养检测方法，如图3所示，包括以下步骤：
151.s302：获取机台运行数据。
152.s304：根据机台运行数据中当前批次机台运行数据的数据量和机台运行数据中前一批次机台运行数据的数据量，判断机台当前是否已经重置；若当前批次机台运行数据的数据量小于前一批次机台运行数据的数据量，则确定机台当前已重置，执行步骤s306；若当前批次机台运行数据的数据量大于或者等于前一批次机台运行数据的数据量，则确定机台当前未重置，则结束。
153.s306：判断是否获取到机台的当前机台预防保养物料领用信息；若是，则为获取到当前机台预防保养物料领用信息，则执行步骤s308；若否，则为未获取到当前机台预防保养物料领用信息，则执行步骤s322。
154.s308：根据当前批次机台运行数据确定当前机台预防保养的当前类型。
155.s310：根据当前机台预防保养的当前类型，确定当前机台预防保养执行时间和当前机台预防保养执行规格。
156.s312：判断当前机台预防保养执行时间是否小于当前机台预防保养执行规格；若是，则执行步骤s320；若否，则执行步骤s314。
157.s314：根据当前机台预防保养的当前类型，确定机台的当前机台预防保养必领用物料数据。
158.s316：根据当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；若已领用，则结束；若未领用，则执行步骤s318。
159.s318：判定机台在当前重置时，因当前机台预防保养物料领用信息不包括当前机台预防保养必领用物料，触发第一锁定信号以锁定机台。
160.s320：判定在当前重置时，因不符合当前机台预防保养执行规格，触发第二锁定信号以锁定机台。
161.s322：判定在当前重置时，因未领用当前机台预防保养物料领用信息，触发第三锁定信号以锁定机台。
162.通过上述实施例，本公开中通过不同因素导致机台未执行pm，或者执行pm不符合规定，会触发不同的锁定信号，以便于相关工作人员通过锁定信号，可以辨别出是由于哪种原因触发的锁定信号，可以更快的解决出现的问题，减少因处理锁定信号而耽误生产产品的时间。
163.基于同一种发明构思，本公开实施例中还提供了一种机台预防保养检测装置，如下面的实施例所述。由于该装置实施例解决问题的原理与上述方法实施例相似，因此该装置实施例的实施可以参见上述方法实施例的实施，重复之处不再赘述。
164.图4示出本公开实施例中一种机台预防保养检测装置的结构示意图，如图4所示，该机台预防保养检测装置40包括：
165.获取单元401，用于获取机台运行数据；
166.确定单元402，用于根据机台运行数据确定机台当前已重置；
167.获取单元401，还用于获取机台的当前机台预防保养物料领用信息；
168.确定单元402，还用于根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
169.图5是本公开实施例提供的一种计算机设备的结构示意图。如图5所示，本公开实施例中的计算机设备可以包括：一个或多个处理器501、存储器502和输入输出接口503。该处理器501、存储器502和输入输出接口503通过总线504连接。存储器502用于存储计算机程序，该计算机程序包括程序指令，输入输出接口503用于接收数据及输出数据，如用于宿主机与计算机设备之间执行数据交互，或者用于在宿主机中的各个虚拟机之间执行数据交互；处理器501用于执行存储器502存储的程序指令。
170.其中，该处理器501可以执行如下操作：
171.获取机台运行数据；
172.根据机台运行数据确定机台当前已重置；
173.获取机台的当前机台预防保养物料领用信息；
174.根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
175.在一些可行的实施方式中，该处理器501可以是中央处理单元(central processing unit，cpu)，该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(digital signal processor，dsp)、专用集成电路(application specific integrated circuit，asic)、现成可编程门阵列(field-programmable gate array，fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
176.该存储器502可以包括只读存储器和随机存取存储器，并向处理器501和输入输出接口503提供指令和数据。存储器502的一部分还可以包括非易失性随机存取存储器。例如，存储器502还可以存储设备类型的信息。
177.具体实现中，该计算机设备可通过其内置的各个功能模块执行如上述任一方法实施例中各个步骤所提供的实现方式，具体可参见上述方法实施例所示图中各个步骤所提供的实现方式，在此不再赘述。
178.本公开实施例通过提供一种计算机设备，包括：处理器、输入输出接口、存储器，通过处理器获取存储器中的计算机程序，执行上述任一实施例中所示方法的各个步骤。
179.本公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质存储有计算机程序，图6示出本公开实施例中一种计算机可读存储介质示意图，如图6所示，该计算机可读存储介质600上存储有能够实现本公开上述方法的程序产品。该计算机程序适于由该处理器加载并执行上述任一实施例中各个步骤所提供的机台预防保养检测方法，具体可参见该上述任一实施例中各个步骤所提供的实现方式，在此不再赘述。另外，对采用相同方法的有益效果描述，也不再执行赘述。对于本公开所涉及的计算机可读存储介质实施例中未披露的技术细节，请参照本公开方法实施例的描述。作为示例，计算机程序可被部署为在一个计算机设备上执行，或者在位于一个地点的多个计算机设备上执行，又或者，在分布在多个地点且通过通信网络互连的多个计算机设备上执行。
180.该计算机可读存储介质可以是前述任一实施例提供的机台pm检测装置或者该计算机设备的内部存储单元，例如计算机设备的硬盘或内存。该计算机可读存储介质也可以是该计算机设备的外部存储设备，例如该计算机设备上配备的插接式硬盘，智能存储卡(smart media card，smc)，安全数字(secure digital，sd)卡，闪存卡(flash card)等。进一步地，该计算机可读存储介质还可以既包括该计算机设备的内部存储单元也包括外部存储设备。该计算机可读存储介质用于存储该计算机程序以及该计算机设备所需的其他程序和数据。该计算机可读存储介质还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
181.本公开实施例还提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述任一实施例中的各种可选方式中所提供的方法。
182.本公开实施例的说明书和权利要求书及附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。此外，术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备没有限定于已列出的步骤或模块，而是可选地还包括没有列出的步骤或模块，或可选地还包括对于这些过程、方法、装置、产品或设备固有的其他步骤单元。
183.本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在该说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本公开的范围。
184.本公开实施例提供的方法及相关装置是参照本公开实施例提供的方法流程图和/或结构示意图来描述的，具体可由计算机程序指令实现方法流程图和/或结构示意图的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。这些计算机程序指
令可提供到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程应用显示设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程应用显示设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程应用显示设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意图一个方框或多个方框中指定的功能。这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程应用显示设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
185.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围由所附的权利要求指出。