信息处理装置、信息处理方法以及程序与流程

本公开涉及信息处理装置、信息处理方法以及程序。

背景技术：

1、已知一种控制多个器件的状态来制造对象物的对象物制造装置。

2、例如，作为对象物制造装置的一例的半导体制造装置制造出作为包括多个器件的对象物的半导体。在这种半导体的制造中，控制多个器件中的每一个器件的状态来制造半导体。另外，在半导体制造装置中，在制造半导体的制造过程中，能够获取声音、图像、振动等时间序列数据。

3、例如，在专利文献1中记载了监视处理装置的运转监视系统。处理装置包括多个可动部件以及控制多个可动部件中的每一个可动部件的运转的控制单元。多个可动部件设置在处理装置中，以在对处理对象物实施规定处理的处理室内形成规定的处理环境。这种运转监视系统具有振动检测部，该振动检测部对伴随多个可动部件中的每一个可动部件的运转而产生的振动的波形进行检测。在为了使多个可动部件中的任意一个运转而由控制部进行了控制的情况下，运转监视系统获取与控制部的控制相应的事件数据以及由振动检测部检测到且在那个时刻正在运转的全部可动部件的振动的波形。

4、并且，这种运转监视系统在每次选择与事件数据相应的控制时或者在获取到与和事件数据同种类的其他事件数据相应的振动的波形的情况下，监视该波形的变化。当该波形超过规定的范围而变化时，运转监视系统判断出处理装置的异常。

5、【专利文献1】国际公开第2010/010688号

6、【专利文献2】国际公开第2006/137476号

7、【专利文献3】国际公开第2010/150540号

8、然而，在现有技术中，存在着不易表示半导体制造装置中的多个器件的状态的情况。

9、特别是，对于声音、图像、振动等时间序列数据，在应用机器学习的情况下，如果不易表示多个器件的状态，则存在着难以选择机器学习中的教师数据(教師データ)等情况。

技术实现思路

1、本发明是考虑到这种情形而完成的，其课题在于提供一种信息处理装置、信息处理方法以及程序，针对按每个事件使多个器件中的每一个器件进行动作来制造对象物的对象物制造装置，能够使机器学习的处理高效化，该机器学习是关于在由该对象物制造装置进行的对象物的制造过程中检测出的时间序列的检测结果信息的机器学习。

2、本发明的一个方面所涉及的信息处理装置包括：第一获取部，对于按每个事件使多个器件中的每一个器件进行动作来制造对象物的对象物制造装置，获取针对两个以上的器件综合了用于表示所述多个器件中的每一个器件的所述事件的状态的事件状态信息而成的总事件状态信息；第二获取部，获取在由所述对象物制造装置制造所述对象物的制造过程中检测出的时间序列的检测结果信息；机器学习处理部，进行学习处理和判定处理中的一方或者双方，在所述学习处理中，针对每个由所述第一获取部获取的所述总事件状态信息，进行将由所述第二获取部获取的时间序列的所述检测结果信息作为输入的机器学习来生成学习模型，在所述判定处理中，对生成的所述学习模型输入针对每个由所述第一获取部获取的所述总事件状态信息而由所述第二获取部获取的时间序列的所述检测结果信息来进行判定。

3、在本发明的一个方面所涉及的信息处理装置中，所述总事件状态信息可以包括用于表示所述多个器件中的每一个器件的所述事件的动作结果的状态的比特值。

4、在本发明的一个方面所涉及的信息处理装置中，所述总事件状态信息可以进一步包括用于表示所述多个器件中的每一个器件的所述事件的动作过程中的状态的比特值。

5、在本发明的一个方面所涉及的信息处理装置中，所述事件状态信息被包括在所述总事件状态信息中的所述两个以上的器件可以是所述对象物制造装置所具有的所述多个器件的整体中的一部分器件。

6、在本发明的一个方面所涉及的信息处理装置中，所述机器学习处理部可以基于批次、基板、载体、配方或处理室中的任意一个，来确定成为所述学习处理或所述判定处理的对象的时间序列的所述检测结果信息的期间。

7、本发明的一个方面所涉及的信息处理方法为：通过第一获取部，对于按每个事件使多个器件中的每一个器件进行动作来制造对象物的对象物制造装置，获取针对两个以上的器件综合了用于表示所述多个器件中的每一个器件的所述事件的状态的事件状态信息而成的总事件状态信息；通过第二获取部，获取在由所述对象物制造装置制造所述对象物的制造过程中检测出的时间序列的检测结果信息；通过机器学习处理部，进行学习处理和判定处理中的一方或者双方，在所述学习处理中，针对每个由所述第一获取部获取的所述总事件状态信息，进行将由所述第二获取部获取的时间序列的所述检测结果信息作为输入的机器学习来生成学习模型，在所述判定处理中，对生成的所述学习模型输入针对每个由所述第一获取部获取的所述总事件状态信息而由所述第二获取部获取的时间序列的所述检测结果信息来进行判定。

8、本发明的一个方面所涉及的程序使计算机实现：第一功能，对于按每个事件使多个器件中的每一个器件进行动作来制造对象物的对象物制造装置，获取针对两个以上的器件综合了用于表示所述多个器件中的每一个器件的所述事件的状态的事件状态信息而成的总事件状态信息；第二功能，获取在由所述对象物制造装置制造所述对象物的制造过程中检测出的时间序列的检测结果信息；第三功能，进行学习处理和判定处理中的一方或者双方，在所述学习处理中，针对每个由所述第一功能获取的所述总事件状态信息，进行将由所述第二功能获取的时间序列的所述检测结果信息作为输入的机器学习来生成学习模型，在所述判定处理中，对生成的所述学习模型输入针对每个由所述第一功能获取的所述总事件状态信息而由所述第二功能获取的时间序列的所述检测结果信息来进行判定。

9、根据本发明所涉及的信息处理装置、信息处理方法以及程序，针对按每个事件使多个器件中的每一个器件进行动作来制造对象物的对象物制造装置，能够使机器学习的处理高效化，该机器学习是关于在由该对象物制造装置制造对象物的制造过程中检测出的时间序列的检测结果信息的机器学习。

技术特征：

1.一种信息处理装置，包括：

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

3.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，

4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

6.一种信息处理方法，其中，

7.一种程序，用于使计算机实现：

技术总结
本发明涉及信息处理装置、信息处理方法以及程序。所述信息处理装置包括第一获取部、第二获取部以及机器学习处理部。所述第一获取部对于对象物制造装置获取针对两个以上的器件综合了用于表示多个器件中的每一个器件的事件的状态的事件状态信息而成的总事件状态信息。所述第二获取部获取在所述对象物制造装置中检测出的时间序列的检测结果信息。所述机器学习处理部进行学习处理和判定处理中的一方或双方。在所述学习处理中，针对每个所述总事件状态信息，进行将所述检测结果信息作为输入的机器学习来生成学习模型。在所述判定处理中，对所述学习模型针对每个所述总事件状态信息输入所述检测结果信息来进行判定。

技术研发人员：藤井佳词
受保护的技术使用者：株式会社爱发科
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4