1.一种基于阵列分布信息引导的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述步骤3包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述步骤1采用面阵灰度相机采集晶圆图像。
4.根据权利要求1所述的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述晶粒的类型包括：背景、阴影墨点、部分阴影墨点、正常、墨点、破损、破损墨点。
5.根据权利要求1所述的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述基于组图孪生卷积transformer的分类网络的训练过程包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆晶粒检测方法，其特征在于，所述训练集和测试集按照7:3的比例进行划分。
7.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令被处理器执行时实现根据权利要求1至6中任一项所述的晶圆晶粒检测方法。