半导体生产仿真系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体生产仿真系统。
【背景技术】
[0002]现有的半导体生产仿真系统一般均是基于统计算法(statistic algorithm)和/或实时派工系统(Real Time Dispatch,简称RTD)而进行的仿真；虽然基于统计算法的仿真系统，其应用简单且开发成本低，但其仿真结果的精准度(accuracy )很低，而仿真结果精准度很高的仿真系统一般都是基于实时派工系统的仿真系统，或是同时基于实时派工系统和统计算法的仿真系统，但是其应用均较为复杂，且开发成本很高。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的问题，本发明提供了一种半导体生产仿真系统(Product1nSimulator),应用于制造执行系统(manufacturing execut1n system,简称 MES)上，并基于常规的派工规则(base on general dispatch rule),其中，所述仿真系统包括:汇总模块(data summary module)、输入模块(input interface)、计算模块(calculat1nmodule)、报告模块(report module)和输出模块(output)；
[0004]所述MES系统将产品批次数据信息(Lot transact1n records)发送至所述汇总模块；
[0005]所述汇总模块对接收到的所述产品批次数据信息进行汇总处理后，输出标准工艺步骤运行时间(standard step run time,简称STDRT)数据和标准工艺步骤等待时间(standard step wait time,简称STDWT)数据至所述计算模块,且该STDWT的值为标准工艺步骤排队时间(standard step queue time,简称STDQT)的值与标准工艺步骤扣留时间(standard step hold time,简称 STDHT)的值之和；
[0006]所述计算模块从所述MES系统中获取当前的生产工艺流程(work in process,简称WIP)数据和产品工艺流程信息，并利用所述输入模块获取晶圆投片计划(wafer startplan,简称WSP数据)、常规派工规则(general dispatch rule,简称⑶R)数据、仿真开始时间(simulate start time,简称 SST)数据、仿真结束时间(simulate end time,简称 SET)数据、WIP 信息存储频率(store work in process informat1n frequency,简称 SWIPF)数据和仿真等待时间(simulate wait time,简称SWT)数据；
[0007]其中，所述计算模块根据预先设定的规则对接收的所有数据进行处理后，利用所述报告模块生成报告，并通过输出模块将所述报告输出。
[0008]上述的仿真系统，其中，所述报告为日报、周报和/或月报等报告。
[0009]上述的仿真系统，其中，所述报告为关键绩效指标(Key Performance Indicator,简称KPI),优选的该报告可包括WIP报告、周期(cycle time,简称CT)报告、产量(throughput,简称 TP)报告和机台组的负荷报告(machine group loading reports)等。
[0010]上述的仿真系统，其中，所述计算模块上预先设定的规则包括:
[0011]步骤SI,基于所述WIP数据生产成每个批次(lot)的下一操作(next act1n,简称NA)数据和下一操作时间(next act1n time,简称NAT)数据；其中，该NA数据包括“TI ”和“T0”两个值。
[0012]步骤S2，根据所述NA数据获取出货(track-out，简称TO )批次清单和进货(track-1n,简称TI)批次清单，并根据所述GDR数据对上述的批次清单进行排序；
[0013]步骤S3,从上述排序后的批次清单中提取NAT与仿真当前时间(simulatecurrent time,简称SCT)相等的子批次清单(sub lot list);根据NA数据值,对相应批次进行数据操作；
[0014]步骤S4，于TI批次清单和TO批次清单中获取NAT最小的值，并将SCT的值赋值为该NAT最小的值；
[0015]步骤S5，重复步骤S2?S4，直至SCT彡SET ;其中，SET为仿真结束时间(simulateend time)。
[0016]步骤S6，存储WIP信息，并输出处理后的数据，以生成所述报告。
[0017]上述的仿真系统，其中，所述步骤SI还包括:
[0018]当WIP的状态为等待，则将NA赋值为“TI” ；当STDWT-WT > O时，将NAT赋值为SST+STDWT-WT ;否则，将NAT赋值为SST。其中，WT为当前货物批次工艺步骤的等待时间(wait time)。
[0019]当WIP的状态为运行，则将NA赋值为“T0” ；当STDRT-RT > O时，将NAT赋值为SST+STDRT-RT ;否则，将NAT赋值为SST。其中，RT为当前货物批次工艺步骤的运行时间(runtime)；
[0020]然后，将SST赋值为SCT的值。
[0021]上述的仿真系统，其中，所述子批次清单包括TO子批次清单和TI子批次清单；所述步骤S3还包括:
[0022]首先，于所述批次清单中获取所述TO子批次清单时，对TO子批次清单中的每一批次，将新NA赋值为“TI ”，新NAT赋值为NAT+STDWT，CPLC赋值为CPLC-1，并根据工艺流程获取下一个工艺步骤的信息；其中，CPLC为机台组的当前工艺步骤批次数(current processlot count of machine group)；
[0023]然后，于所述批次清单中获取所述TI子批次清单时，对TI子批次清单中的每一批次，如果CPLC ( MPLC，则将新NA赋值为“T0”，新NAT赋值为NAT+STDRT，CPLC赋值为CPLC+1 ;否则，将新NAT赋值为机台组下一即将出货的批次的NAT+SWT ;其中，MPLC为机台组的最大工艺步骤批次数(Max process lot count of machine group)。
[0024]上述的仿真系统，其中，所述步骤S3还包括将批次TI和TO的历史数据进行存储。
[0025]另外，系统可将步骤6中存储的WIP数据作为输入数据，并重复步骤SI?S6，再次进行仿真运算。
[0026]综上所述，本申请的一种半导体生产仿真系统，其也是基于产品工艺流程的系统Ca flow-based system),其可应用于MES系统上，基于常规的派工规则(general dispatchrule,简称⑶R),通过利用当前CPLC数据控制仿真算法(algorithm),生成包含有每个批次数据的当前生产线上WIP数据中每个工艺步骤的ΤΙ/Τ0数据和将要投片的订单数据(Thesystem will generate a track-1n/track-out forecast for every step movementfor current inline WIP and future release orders， which include every singlelot transact1n schedule),进而能够确保最终的仿真结果均在每个机台组的产能范围之内(make sure the simulat1n result meet movement capacity of each machinegroup),即仅需要提供简单的产品工艺流程信息和历史生产数据(it only requiressimply product flow informat1n and historical product1n data),便可获得包括基于上述 GDR 的 CT 数据(long-short term cycle time)、TP 数据和 WIP 数据(line workin process)等的生产仿真结果,进而帮助工程师在短时间内快速完成对当前订单投片策略能够到达生产目标的核实操作(help planner to verify if current order releasestrategy could meet producti goal),以使得项目经理或者人力资源管理者能够提前采取措施，避免生产损失(PM or human resource management and point out the shiftbottlenecks in product1n line to take act1ns in advance to avoid throughputlost)0
[0027]具体
【附图说明】
[0028]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、夕卜形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
[0029]图1是本申请实施例中半导体生产仿真系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0030]下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。
[0031]图1是本申请实施例中半导体生产仿真系统的结构示意图；如图1所示，一种半导体生产仿真系统，可应用于MES系统上，并基于常规的派工规则，包括汇总模块(datasummary module)、输入模块(input interface)、计算模块(calculat1n module)、报告模块(report module)和输出模块(output)。
[0032]进一步的，输入模块可为常规的输入设备如键盘、触控屏等，该输入模块与上述的汇总计算模块连接，并通过该输入模块向计算模块中输入WSP数据、GDR数据、SST数据、SET数据、SffIPF数据和SWT数据等信息；汇总模块则从MES系统获取产品批次数据信息(Lottransact1n records),并进行汇总处理后，输出STDRT数据、STDffT数据和MPLC数据至计算模块；其中，上述的STDRT数据和STDWT数据均标志当前派工策略(this set of dataindicates current dispatch policy),是基于机台组(group by machine group)、工艺(technology)和批次优先级(lot pr1rty)等数据获取的；而MPLC数据则是基于机台组数据和历史数据获取的(group by machine group and generated by history data)。
[0033]其中，上述的STDWT的值为标准工艺步骤排队时间(standard step queue time,简称STDQT)的值与标准工艺步骤