一种双层结构电容式触摸屏的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于触摸显示屏技术领域，特别涉及一种双层结构电容式触摸屏。
【背景技术】
[0002]触摸屏(TouchScreen)又称为“触控屏”、“触控面板”，是一种可接受触头等输入讯号的感应式显示装置，广泛应用于工业、医疗、通信领域的控制、信息查询及其他方面，被称为“指尖上的革命”。随着触控技术的发展和进步，未来触控技术必将引领车载行业的发展方向。
[0003]目前触控技术中的透明导电薄膜主流使用的为氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。而In是战略稀缺金属，价格持续攀升，面临价格昂贵、资源稀缺的危机。ITO微加工过程中，大量使用强酸、强碱，即使不考虑资源和成本问题，ITO在环境保护上形成的巨大压力，环境治理高成本也是必须要解决的。ITO相关核心专利掌握在台湾、日本等国家和地区，中国大陆缺乏知识产权支撑。
【发明内容】
[0004]鉴于上述状况，有必要提出一种制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且具有良好的导电和光学性能，产品可靠性性能更优，耐环境性能更好的新型透明导电薄膜的车载产品触控技术。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]—种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，包括:
[0007]该触摸屏从上至下，分别包括第一基板及其下表面第一导电层、光学胶层以及第二导电层及其下表面第二基板。
[0008]第一导电层和第二导电层为金属氧化锌透明导电层，是通过金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板表面制备所得。
[0009]所述第一基板为玻璃材质。
[0010]所述第一基板下表面四周设置有装饰性油墨层。
[0011]所述第一导电层通过金属化学气相沉积方式在第一基板下表面形成，并将在第一导电层表面实现感应线路。
[0012]所述第一导电层是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100
欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的感应线路与光学胶层上表面相贴合。
[0013]所述第二导电层是通过金属化学气相沉积方式在第二基板上表面形成的，并将在第二层导电层表面实现驱动线路。
[0014]所述第二导电层是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100
欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的驱动线路与光学胶层的下表面相结合。
[0015]本实用新型公开了一种双层结构电容式触摸屏，该触摸屏从上至下，分别包括第一基板及其下表面第一导电层、光学胶层以及第二导电层及其下表面第二基板。第一导电层和第二导电层为金属氧化锌透明导电层，是通过金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板表面制备所得。双层结构除了具有良好的导电和光学性能外，产品触摸效果性能更加稳定，可靠性性能更优，耐环境性能更好。由于氧化锌导电层采用全激光工艺制作感应驱动线，制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且制备用的水或锌源，资源丰富、成本低，足以解决目前基于稀有金属铟制成ITO导电膜的触控导电面板资源匮乏、制程环境不友好等问题，为产品运用在触摸屏产业发展带来新的机遇。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型一种双层结构电容式触摸屏结构示意图。
[0017]图2是本实用新型实施例公开的一种双层结构电容式触摸屏的感应线路。
[0018]图3是本实用新型实施例公开的一种双层结构电容式触摸屏的驱动线路。
【具体实施方式】
[0019]为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
[0020]一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，包括:
[0021]该触摸屏从上至下，分别包括第一基板(I)及其下表面第一导电层(2)、光学胶层
(3)以及第二导电层(4)及其下表面第二基板(5)。
[0022]第一导电层(I)和第二导电层(2)为金属氧化锌透明导电层，是通过金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板表面制备所得。
[0023]所述第一基板(I)为玻璃材质。
[0024]所述第一基板(I)下表面四周设置有装饰性油墨层(6)。
[0025]所述第一导电层(2)通过金属化学气相沉积方式在第一基板(I)下表面形成，并将在第一导电层(2)表面实现感应线路(7)。
[0026]所述第一导电层(2)是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的感应线路(7)与光学胶层(3)上表面相贴入口 ο
[0027]所述第二导电层(4)是通过金属化学气相沉积方式在第二基板(5)上表面形成的，并将在第二层导电层(4)表面实现驱动线路(8)。
[0028]所述第二导电层(4)是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的驱动线路(8)与光学胶层(3)的下表面相全士么云口口 ο
[0029]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，包括: 该触摸屏从上至下，分别包括第一基板及其下表面第一导电层、光学胶层以及第二导电层及其下表面第二基板； 第一导电层和第二导电层为金属氧化锌透明导电层，是通过金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板表面制备所得。2.如权利要求1所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第一基板为玻璃材质。3.如权利要求2所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第一基板下表面四周设置有装饰性油墨层。4.如权利要求1所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第一导电层通过金属化学气相沉积方式在第一基板下表面形成，并将在第一导电层表面实现感应线路。5.如权利要求4所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第一导电层是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的感应线路与光学胶层上表面相贴合。6.如权利要求1所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第二导电层是通过金属化学气相沉积方式在第二基板上表面形成的，并将在第二层导电层表面实现驱动线路。7.如权利要求6所述的一种双层结构电容式触摸屏，其特征在于，所述第二导电层是一种厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下的金属氧化锌薄膜层，其表面实现的驱动线路与光学胶层的下表面相结合。
【专利摘要】本实用新型公开了一种双层结构电容式触摸屏，该触摸屏从上至下，分别包括第一基板及其下表面第一导电层、光学胶层以及第二导电层及其下表面第二基板。本实用新型提出的第一导电层和第二导电层为金属氧化锌透明导电层，是通过金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板表面制备所得。双层结构除了具有良好的导电和光学性能外，产品触摸效果性能更加稳定，可靠性性能更优，耐环境性能更好。由于氧化锌导电层采用全激光蚀刻制作感应驱动线，制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且制备用的水或锌源，资源丰富、成本低，足以解决目前基于稀有金属铟制成ITO导电膜的触控导电面板资源匮乏、制程环境不友好等问题，为产品运用在触摸屏产业发展带来新的机遇。
【IPC分类】G06F3/044
【公开号】CN205281465
【申请号】CN201521037909
【发明人】刘佳慧, 鱼光楠, 徐丹婷
【申请人】深圳业际光电股份有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月15日